JPH02105305A - ダブルアジマス磁気ヘッド - Google Patents

ダブルアジマス磁気ヘッド

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JPH02105305A
JPH02105305A JP25748988A JP25748988A JPH02105305A JP H02105305 A JPH02105305 A JP H02105305A JP 25748988 A JP25748988 A JP 25748988A JP 25748988 A JP25748988 A JP 25748988A JP H02105305 A JPH02105305 A JP H02105305A
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JP
Japan
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thin film
magnetic
head
double azimuth
magnetic head
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Application number
JP25748988A
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English (en)
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Masahiro Nakada
正宏 中田
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Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3103Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
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    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3163Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
    • G11B5/3166Testing or indicating in relation thereto, e.g. before the fabrication is completed

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は2つのギャップが所定の間隔を有し、互いに逆
方向に傾斜したギャップをもつダブルアジマス磁気ヘッ
ドに関する。
(ロ)従来の技術 近年、VTR(ビデオテープレコーダ)では、スロー、
スチル再生等の特殊再生時における画質の劣化を防止す
るために特開昭60−70511号公N (Gl I 
B5153)等に開示されているようなダブルアジマス
磁気ヘッドが用いられている。第1O図は従来のダブル
アジマス磁気ヘッドの要部斜視図、第11図は上記磁気
ヘッドをテープ摺接面側から観た図である。
図中、(1)(2)は夫々へラドベース(3)に装着さ
れるヘッドチップで、各々の作動ギャップ(4)(5)
は互いに+α、−αの逆のアジマス角を有している。前
記へラドチップ(1)(2ユ)は夫々、センダストより
なる主コア(6)(7)と、該主コア(6)(7)を挟
持する補強コア(8)(9)(10)(11)とから成
る。尚、(12)(13)は巻線溝、(14)(15)
(1,6)(17)は巻線である。
しかし乍ら、上記構造のダブルアジマス磁気ヘッドでは
、各ヘッドチップ仕ハ又)が夫々独立してヘッドベース
(3)に取付けられているので、前記へッドチップロ〕
信」間の距離eを所定寸法通りにすることが困難であり
、また、前記各ヘッドチノブロ〕信」のへ7ドベース(
3)に対する突出量に段差が生じ、テープの安定走行が
妨げられ、信頼性の低下を招いた。
また、ダブルアジマス磁気ヘッドは一方のへッドチンプ
で 172フイール(1セグメント)の映像信号を記録
再生し、他方のヘッドチップで残りの172フイールド
の映像信号を記録再生する高品位V T Rに用いられ
る。
この高品位VTRは第12図に示すように回転シリンダ
(18)の180°対向した位置に第1、第2ダブルア
ジマス磁気ヘツド(19)(20)が取付けられている
。前記第1、第2ダブルアジマス磁気ヘツド(19)(
20)は夫々、ヘッドチップ間のギャップ間距離2が3
,979μmになるようにヘッドベース(21)(22
)に取付られな第1、第2へッドチノプ(23)(24
)(25)(26)からなる。また、前記第1ダブルア
ジマス磁気ヘツド(19)の第1、第2へラドチップ(
23)(24)間には第14図に示すようにトラック段
差t  (t=23μm)がある。また、前記第2ダブ
ルアジマス磁気ヘツド(20)の第1、第2へラドチッ
プ(25)(26)間にも同様にトラック段差tがある
この高品位VTRでは、回転シリンダ(18)は540
0 rpmと通常の3倍で回転し、1回転当り4本のト
ラックを記録するため、1フレーム当り12本の信号ト
ラックに映像音声信号を記録し解像度を向1−させてい
る。そして、このトラック走査は第13図に示すように
第1ダブルアジマス磁気ヘツド(19)の第1、第2へ
ラドチップ(23)(24)が同時に磁気テープ(31
)の第1、第2トラツク(27)(28)を走査し、こ
の走査が終了すると第2ダブルアジマス磁気ヘツド(2
0)の第1、第2ヘツドチツプ(25)(26)が同時
に第3、第4トラツク(29)(30)を走査する。
しかし乍ら、このような高品位VTR用のダブルアジマ
ス磁気ヘッドにおいて、前述と同様にヘッドチップ間の
距離2やトラック段差tが狂ったり、ヘッドチップの突
出量に段差が生じた場合、特殊再生のみならず通常再生
における互換性等の基本性能を低下させてしまう。
(ハ)発明が解決しようとする課題 本発明は上記従来例の欠点に鑑み為されたものであり、
記録媒体の走行性が悪化するのを防止すると共に第1の
作動ギャップと第2の作動ギャップとの位置関係を高精
度に設定することが出来るダブルアジマス磁気ヘッドを
提供することを目的とするものである。
(ニ)課題を解決するための手段 本発明のダブルアジマス磁気ヘッドは、非磁性基板上に
厚膜部と薄膜部とを備える非磁性薄膜を被着し、前記厚
膜部上に第1の作動ギャップを有する第1のヘッド素子
を被着し、前記薄膜部上にアジマス角が前記第1の作動
ギャップと異なる第2の作動ギャップを有する第2のヘ
ッド素子を被着したことを特徴とする。
更に、本発明のダブルアジマス磁気ヘッドは、前記厚膜
部と前記薄膜部との膜厚差が前記第1の作動ギャップと
前記第2の作動ギャップとのトラック段差に等しいこと
を特徴とする。
(ホ)作用 上記構成に依れば、第1のヘッド素子と第2のヘッド素
子とが非磁性基板上に一体に形成されているので、前記
第1のヘッド素子と前記第2のヘッド素子の媒体側への
突出量には段差は生じない。また、第1の作動ギャップ
と第2の作動ギャップとの相対位置のズレを押さえるこ
とが出来、特に、前記第1の作動ギャップと前記第2の
作動ギヤングとのトラック段差を非磁性薄膜の厚膜部と
薄膜部との膜厚差により高精度に設定することが出来る
(へ)実施例 以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を詳細に説明
する。
第1図は本実施例のダブルアジマス磁気ヘッドの外観を
示す斜視図、第2図は上記磁気ヘッドをテープ摺接面側
から観た図である。
第1図中、(31)は厚さ約Q、3mmの非磁性基板で
あり、該非磁性基板(31)上にはTi等よりなる非磁
性薄膜(32)が被着形成されている。前記非磁性薄膜
(32)は厚さ25μmの厚膜部(32a)と厚さ21
tmの薄膜部(32b)とからなる。前記厚膜部(32
a) −、)、にはセンダスト等の強磁性金属薄膜より
なる第1、第2磁性コア(33)(34)間に−αのア
ジマス角を有する第1の作動ギャップ(35)を備える
第1のヘッド素子(45)が形成されている。前記薄膜
部(32b) 、1−にはセンダスト等の強磁性金属薄
膜よりなる第3、第4磁性コア(36)(37)間に十
αのアジマス角を有する第2の作動ギャップ(38)を
備える第2のヘッド素子(46)が形成されている。(
39)は非磁性基板(31)、非磁性薄膜(32)の厚
膜部(32a)及び第1磁性コア(33)に亘って形成
されているを線孔であり、該巻線孔(39)の前記第1
磁性コア(33)領域での上端が前記第1の作動ギャッ
プ(35)のギヤ/プ深さを規定する。また、(40)
は非磁性基板(31)、非磁性薄膜(32)の薄膜部(
32b)及び第3磁性コア(36)に亘って形成されて
いる巻線孔であり、該巻線孔(40)の前記第3磁性コ
ア(36)領域での上端が前記第2の作動ギャップ(3
8)のギャップ深さを規定する。第2図に示すように前
記第1の作動ギャップ(35)と前記第2の作動ギャッ
プ(38)とのギャップ間距離はl、トラック段差はt
であり、このギヤツブ間段差tは前記非磁性薄膜(32
)の厚膜部(32a)と薄膜部(32b)との膜厚差に
等しい 次に、上記ダブルアジマス磁気ヘッドの製造方法につい
て説明する。
先ず、第3図に示すように巻線孔となる貫通孔(長辺的
350μm、短辺的150μm) (44a)(41b
)を備える厚さ約0.3μmの非磁性基板(31)」二
にTi等の非磁性薄膜(32)を蒸着又はスパッタリン
グ等により被着形成する。前記非磁性薄膜(32)の膜
厚は所望のトラック幅(本実施例では20μm)より大
きい。
次に、前記非磁性薄膜(32)のうち、一方の貫通孔(
41b)が形成されている半分の領域にイオンミリング
等のエツチングを施して、第4図に示すように前記非磁
性薄膜(32)を前記両頁通孔(41a)(41b)の
中央部で厚膜部(32a)と薄膜部(32b)とに分断
する。尚、前記厚膜部(32a)と前記薄膜部(32b
)との膜厚の差が所望のトラック段差(実施例では23
 It m )になるようにエツチング量は調整されて
いる。
次に、第5図に示すように前記非磁性薄膜(32)ト、
にトラック幅に相当する厚さの第1の磁性薄膜(42)
をスパッタリング等により被着形成する。前記第1の磁
性薄膜(42)はセンダスト、Co系アモルファス合金
等よりなる2〜7μm厚の強磁性金属薄膜を810. 
等よりなる約0.1  μm厚の非磁性薄膜で絶縁する
積層構造である。
次に、第6図に示すように前記第1の磁性薄膜(42)
のうち貫通孔(41a)(41b)を含む両性側の部分
をイオンミリング等のエツチングにより除去して第2、
第4磁性コア(34)(37)を形成し、その後、該第
2、第4磁性コア(34)(37)の外側端面にダイヤ
モンドバイト等の切削加工を施すことによりギャップ形
成面(43)(44)を形成する。前記ギャップ形成面
(43)(44)は夫々前記非磁性基板(31)の法線
方向に対して所定のアジマス角−α、+α(実施例では
a=15°)だけ傾斜している。
次に、前記ギャップ形成面(43)(44)上にSiO
等のギャップスペーサを0.2〜0.3μm厚スパッタ
リング等により被着形成し、その後前記非磁性基板(3
1)上全域に第2の磁性薄膜をスパッタリング等により
被着した後、前記第2、第4磁性コア(34)(37)
上に被着した余分な第2の磁性薄膜をエツチング等によ
り除去して第7図に示すように第1、第3磁性コア(3
3)(36)を形成する。前記第2の磁性薄膜は前記第
1の磁性薄膜(42)と同様に強磁性金属薄膜と非磁性
薄膜との積層構造である。(35)(38)は前記ギャ
ップスペーサにより形成される第1、第2の作動ギャッ
プである。その後、前記第1、第2、第3、第4磁性コ
ア(33)(34)(36)(37)(7)うち、前記
貫通孔(41a)(41b)の周りをイオンミリング等
のエツチングにより除去して巻線孔(39)(40)を
形成し、前記第1、第2の作動ギャップ(35)(38
)のギャップ深さを規定する。
そして最後に、前記第1、第2、第3、第4磁性コア(
33)(34)(36)(37)上にアルミナ等の非磁
性材料よりなる厚さ40〜50μmの保護膜(図示せず
)を高速スパッタリング等により被着し、その後テープ
摺接側の端面にR付加工を行い、巻線溝(39)(40
)に巻線を施して第1図に示す本実施例のダブルアジマ
ス磁気ヘッドが完成する。
」二連のようなダブルアジマス磁気ヘッドでは、第1の
作動ギャップ(35)を有する第1のヘッド素子(並)
と第2の作動ギャップ(38)を有する第2のヘッド素
子(46)とが同一の非磁性基板(31)上に一体に形
成されているので、前記第1のヘッド素子(45)のテ
ープ摺接部と前記第2のヘッド素子(46)のテープ摺
接部との突出量は均一であり、テープの走行性は悪化し
ない。また、上記構造のダブルアジマス磁気ヘッドでは
、前記第1、第2の作動ギャップ(35)(38)間の
距離!は第6図のエツチング工程により規定され、前記
第1、第2の作動ギャップ(35)(38)間のトラッ
ク段差tは第4図のエツチング量により規定されるので
、前記第1、第2の作動ギャップ(35)(38)間の
距離!及びトラック段差tを高精度に設定出来る。この
ため、この磁気ヘッドを高品位VTR装置に用いた場合
、通常再生における画質及び互換性の低下を防止出来る
第8図は他の実施例のダブルアジマス磁気ヘッドの斜視
図であり、第1図と同一部分には同一符号を付しである
。第9図はテープ摺接面の要部を示す図である。
この実施例のダブルアジマス磁気ヘッドでは第2磁性コ
ア(34)と第4磁性コア(37)とは段差部(47)
で分断されており、第1のヘッド素子(45)と第2の
ヘッド素子(46)との間のタロストークは防止される
。この磁気ヘッドは、上述の第7図に示す工程で、第1
、第3磁性コア(33)(36)を形成した後、1fi
i記段差部(47)に被着している磁性薄膜をイオンミ
リング等のエツチングにより除去して非磁性溝III(
32)を露出させ、その後保護膜を被着することにより
形成される。
(ト)発明の効果 本発明に依れば、テープ走行を安定させると共に第1の
作動ギャップと第2の作動ギャップの位装 置ズレを防止したダブルアジマス磁気ヘッドを提供し得
る。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第9図は本発明に係り、第1図はダブルアジ
マス磁気ヘッドの外観を示す斜視図、第2図はダブルア
ジマス磁気ヘッドのテープ摺接面を示す図、第3図、第
4図、第5図、第6図及び第7図は夫々ダブルアジマス
磁気ヘッドの製造方法を示す図、第8図は他の実施例の
ダブルアジマス磁気ヘッドの外観を示す斜視図、第9図
は他の実施例のダブルアジマス磁気ヘッドのテープ摺接
面の要部を示す図である。第10図は従来のダブルアジ
マス磁気ヘッドの要部斜視図、第11図はL記グブルア
ジマス磁気ヘッドをテープ摺接面側から観た図、第12
図は回転シリンダを示す図、第13図は走査トラックを
示す図、第14図はへラドチップの段差を示す図である

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)非磁性基板上に厚膜部と薄膜部とを備える非磁性
    薄膜を被着し、前記厚膜部上に第1の作動ギャップを有
    する第1のヘッド素子を被着し、前記薄膜部上にアジマ
    ス角が前記第1の作動ギャップと異なる第2の作動ギャ
    ップを有する第2のヘッド素子を被着したことを特徴と
    するダブルアジマス磁気ヘッド。
  2. (2)前記厚膜部と前記薄膜部との膜厚差が前記第1の
    作動ギャップと前記第2の作動ギャップとのトラック段
    差に等しいことを特徴とする請求項(1)記載のダブル
    アジマス磁気ヘッド。
JP25748988A 1988-10-13 1988-10-13 ダブルアジマス磁気ヘッド Pending JPH02105305A (ja)

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