JPH02106337A - 炭素強化用繊維を含む複合材料及びその製造方法 - Google Patents

炭素強化用繊維を含む複合材料及びその製造方法

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JPH02106337A JP1226340A JP22634089A JPH02106337A JP H02106337 A JPH02106337 A JP H02106337A JP 1226340 A JP1226340 A JP 1226340A JP 22634089 A JP22634089 A JP 22634089A JP H02106337 A JPH02106337 A JP H02106337A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、低空気圧下で1800℃の温度までは酸化し
ない炭素−炭素型の複合材料及びこの複合材料の製造方
法に関する。
この複合材料は特に、高速で大気圏に再突入する際に空
気の摩擦で生じる熱に抗しなければならない宇宙車両(
スペースシャトル又は航空機)用に高耐熱性材料として
の使用が企図されている。
しかしながら、本発明は、腐食性媒質中において110
0℃を越える温度下での高い機械的応力に抗し得る構造
の使用を必要とする他の産業分野にも適用され得る。特
に高温(1300〜1400℃)で作動する効率の改良
されたタービンエンジン及びある産業蓄熱器に適用され
得る。
炭素−炭素型の複合材料の主な問題点はこの複合材料が
高温大気中で酸化を受け、これにより炭素はCO又はC
O2に変わり、複合材料は劣化し更には破壊されること
である。この酸化を防止するために、複合材料部分の外
面上に形成した炭化ケイ素(SiC)被膜を使用して炭
素含有材料を保護する種々の方法が既に考案されている
このSiC外被膜は、材料の外側部分の炭素のケイ化物
への変換即ちケイ化(siliciding)により得
られ得る。ケイ化は米国特許第3095316号に記載
の如くバックセメンチージョン(pack cemen
ta−tion)又は化学蒸着(cVD/CVPD)に
より行われる。
CVDによるSiCの付着は、米国特許第340604
4号及び米国特許第3925577号に記載の如く、ケ
イ素被膜を材料の外側部分に付着させ、次いでケイ素を
溶融させ材料内に拡散させて材料の炭素と反応させてS
iCを生成することにより行われる。
また、このSiC外被膜は、S、^udistoの論文
(八cLualit6  Chimique、  Se
ptember  19781pp25−33)に記載
の如く、クロロシラン蒸気単独又はクロロシラン蒸気と
水素若しくは炭化水素との組み合わせをクラッキングし
てSiCを付着させることにより直接得ることができる
複合材料の表面炭素のケイ化と化学蒸着を結び付けた方
法もある(米国特許第3406044号、米国特許第4
425407号及び米国特許第4476178号参照)
炭素−炭素型の複合材料上にSiC被膜を製造するため
の前記方法ではすべて、炭素と炭化ケイ素との間の膨張
率が異なる結果、亀裂の入った被膜が得られる。更にほ
この欠点を是正するために、SiC被膜の亀裂の封止用
シリカ被膜がSiC外被膜と組み合わされている(”W
eight uncertaintyanalysis
 for 5pace 5huttle reinfo
rced carboncarbon”sawepap
er 1275−37th AnnualConfer
enee 8−10 Hay 1978参照)。
SiC被膜の亀裂の封止を改善するために、米国特許第
4500602号及び米国特許第4565777号に記
載の如(、SiC粉末及び必要に応じてホウ酸ナトリウ
ムを加え得るケイ酸ナトリウムベースのガラスを主体と
する被膜又はリン酸アルミニウム及びアルミナ粉末を主
体とする被膜の使用についても考慮されている。これら
のガラスの目的は、1200〜1300℃からSiC被
膜の亀裂の封止が効果的となる800℃まで温度を下げ
ることである。
バックセメンチージョンによるSiC被膜の形成の間に
ホウ素を加えることにより同様の結果が得られる(米国
特許第4476164号参照)9例えば宇宙車両が大気
圏に再突入する際に大気中で加熱されたSiC上で自然
に形成されるガラスは、二酸化ケイ素より融点の低いホ
ウケイ酸塩である。
更には、二酸化ケイ素、次いでケイ酸塩及びホウ酸塩ベ
ースのガラスによるSiC外被膜の封止は特にヨーロッ
パ特許公開第133315号に記載されている。
上記した如く、前記保護材料はすべて、B20. 。
Ha20及びP2O5を含むシリカガラスを施したSi
C外被膜の使用に基づくものである。
これらの保護材料は大気圧下において約1700℃の温
度までは適正に作用するが、減圧下ではこれらの材料の
作用温度は以下の式: %式% に対応する炭化ケイ素上でのシリカ(SiO□)の反応
により限定される。
従って、生じた圧力が外気圧、即ち1500℃で2.9
KPa、1600℃で10KPa、1700℃で32.
6KPa、1800℃で92.0KPaを越えると、発
生した一酸化ケイ素及び−酸化炭素の蒸気は粘性のある
シリカ被膜に穴をあける。
これらの条件はシリカ単独の場合にあてはまる。
本発明は減圧下でより高温、例えば2.8KPaで18
00℃又は20KPaで2000℃に耐え得る材料で封
止した炭化ケイ素外層でコーティングした炭素強化用線
維を含む複合材料に関する。
特に、本発明材料は、宇宙車両のより応力のかかる部分
、例えば機首、補助翼及び翼の前縁の装備に使用され、
他の部分は従来技術に基づき製造される。
本発明は、より詳細には、マトリックス中に埋封した炭
素繊維基質、炭化ケイ素外層及びこの外層の被覆部(c
overing)を有する複合材料に関し、この複合材
料の被覆部がTh0z、Zr0z、H[lz、La2O
5゜Y2O,及びAl2O3の中から選択した酸化物の
外被膜と、炭化ケイ素と酸化物との間の反応バリヤーと
して機能するケイ素を含まない化合物の中間被膜とから
なることを特徴とする。
酸化物の目的は、密封性の良さと高い耐火特性′により
高温減圧下において酸素の通過を妨げることである。
酸素より拡散係数が良いためにアルミナを使用するのが
好ましい。アルミナ中での酸素の拡散係数は1200℃
で3・1〇−目cm2/sであり、≠耕3・10−”a
m”/、sのシリカより百倍低い。
炭化ケイ素及び前記酸化物と殆ど反応せず、これらの酸
化物との粘着性が良好な材料を中間層として使用するこ
とができる。このために炭化物、窒化物、ホウ化物、更
には若干の貴金属(Ir)を挙げることができる。窒化
物、炭化物及びホウ化物、例えばHfC,TaC,Zr
C,W2C,NbC,ThC2、ZrB2.I(fB2
゜TiBz、BN、HfN、ZrN、^IN並びにプラ
チナ型の若干の貴金属、例えばPt、Ir、Os、Rh
及びRuを使用するのが好ましい。
本発明は更に、マトリックス中に埋封した炭素繊維基質
、炭化ケイ素外層及びこの外層の被覆部を有する複合材
料に関し、この複合材料の被覆部が酸化物外被膜と、炭
化ケイ素と酸化物との間の反応バリヤーとして機能する
ケイ素を含まない中間被膜とからなり、この中間被膜を
1lfc、TaC,ZrC14zc、NbC,The2
,2rB2.HfB2.TiB2.BN、1lfN、Z
rN、^IN。
Pt、Ir、Os、Rh及びRuの中から選択すること
を特徴とする。
ケイ素を含まない化合物とは意図的にケイ素を含まない
化合物を指すと理解されたい。特にバリヤー(遮@)層
は、ケイ素又は窒化ケイ素若しくは炭化ケイ素若しくは
ホウ化ケイ素から構成されない。更に、酸化物被膜はS
iO又はSin2から構成されない。
本発明のアルミナ外被膜及び中間被膜の使用により、シ
リカガラスのみを使用する従来技術システムに比する圧
力で300℃増加させ得る。従って、これらのシステム
により^120.を用いるインターフェースでの気体の
全圧を下げることができる。
例えば、これらの化合物は1800℃で以下のような圧
力値を有する。
イン −フェース     胆競りで久旦」ZrC2,
25KPa ZrB20.11KPa HfC2KPa HfN           2  KPaTaC1,
2KPa &42(:           0.29KPaTi
B20.06KPa [111KPa ^IN           2.7 KPa中でも特
に^IN−^120.を使用すれば、異なる温度で以下
の圧力値が得られる。
1500℃で0.1KPa以下 1700℃で0.72KPa 1800℃で2.8KPa 1900℃で9KPa 2000℃で20KPa。
窒化ハフニウム中間被膜の使用は窒化アルミニウム被膜
より僅かに好ましい(1800℃で圧力は2KPaであ
る)。しかしながら、窒化ハフニウムの膨張率は僅かで
はあるが^INより劣り、即ち4・10−6/℃に対し
て6.2・10−’/’C:である。
高温で形成され、厚さが多くとも600ミクロメートル
で、複合材料の外面全体を被覆する炭化ケイ素外層が、
酸化ガス、特に酸素の侵入に対して複合材料の封止を確
実にする。この層に亀裂が入ったときは、バリヤー層と
SiC外層との間に前記外層の亀裂に有効な封止を炭化
ケイ素を用いて低温で行うことができる。
複合材料71〜リツクスは、必要に応じて微細な炭化ケ
イ素を加えたガラス状炭素又はグラファイトからなり得
る。後者の場合、マトリックスは多くとも20重量%の
、好ましくは2〜10重量%の炭化ケイ素を含んでいる
。このようにマトリックス中でのSiCの割合は低いが
、尚有効的な酸化防止を果たしながら、炭素マトリック
スの物理的特性を何等変えることはない。
本発明は、前述する複合材料の製造方法に関する。従っ
て、主な特徴に基づく該方法は、以下の段階を含む。
(a>  炭素繊維からなる変形し得る多孔質基質の生
成。
(b)  基質の成形。
(c)  マトリックスを形成するための成形した基質
の緻密化(densification)。
(d)  炭化ケイ素外層によるマトリックス外面の被
覆。
(e)  炭化ケイ素と酸化物との間の反応バリヤーと
して機能するケイ素を含まない中間被膜の付着。
(f)  Th02.ZrO2,HfO2,La20.
、Y2O,−及びAl2O3の・中から選択した酸化物
の外側被膜による外層の被覆。
本発明は更に、マトリックス中に埋封した炭素繊維の基
質を有する複合材料の製造方法に関し、該方法が以下の
段階からなることを特徴とする。
(a)  炭素繊維からなる変形し得る多孔質基質の生
成。
(b)  基質の成形。
(c)  マトリックスを形成するための成形した基質
の緻密化。
(d)  炭化ケイ素外層によるマトリックス外面の被
覆。
(e)  炭化ケイ素と酸化物との間の反応バリヤーと
して機能する中間被膜の付着。該中間被膜は、HfC、
TaC、ZrC、LC、NbC、ThC2,ZrB2.
Hf B2.TiB2.BN 。
11fN、ZrN、^IN、Pt、Ir、Os、Rh及
びRuの中から選択する。
(f>  ケイ素を含まない酸化物被膜による外層被覆
複合材料の繊維基質は、任意の前駆体、特にポリアクリ
ロニトリル(PAN)、ピッチ又はレーヨンから得られ
る黒鉛又は炭素繊維から生成し得る。
更には、複合材料のために探求された最終特性に応じて
、前記繊維は短くても長くてもよいし、強度又は弾性が
高くても良いし、魚釣化処理を受けていてもよい。繊維
基質は、1つ、2つ、3つ又はN個の方向への炭素繊維
の製織又はフィラメント巻きにより得られる。
本発明方法の好ましい具体例では、炭化ケイ素外層は、
緻密構造体の外面のケイ化により形成する。このケイ化
により、マトリックスに完全に付着するSiC被膜の形
成が可能となる。特にケイ化はバックセメンチージョン
、即ち加熱によりケイ素及び/又は−酸化ケイ素のよう
なケイ化物の蒸気を発生する粉末混合物に、ケイ化すべ
き材料を浸漬することにより行う。
ケイ素及びSiOの供給に使用し得る粉末混合物は、炭
化ケイ素と、炭化ケイ素と反応して一酸化ケイ素を生成
し得る少なくとも1つの任意の酸化物とからなる。使用
する酸化物は特に、シリカ又はアルミナである。
SiC+ SiO□の混合物では、約1650℃でSi
Oが生成し、約1800℃でSiO蒸気とケイ素との混
合物が生成する。場合によって、この混合物に過剰の炭
化ケイ素を加えて反応要素を希釈することによって、溶
融中にシリカが混合物を凝集するのを防止することがで
きる。シリカの量は、シリカが完全に消費するように設
定し得る。
SiC+ Si十八へ20.の混合物ではケイ素とSi
Oとの蒸気を得るが、明らかにケイ素蒸気が圧倒的に多
い、この混合物は一般に8〜10重量%のアルミナ、2
5〜35重量%のケイ素及び55〜60重量%の炭化ケ
イ素を含んでいる。
粉末混合物の選択は使用する複合材料の種類による。僅
かに黒鉛化した繊維及びガラス状マトリックス(又は僅
かに黒鉛化したマトリックス)からなる僅かに稠密(緻
密)な材料では、一般的に50〜75重量%のSiC及
び50〜25重量%のSi02を含むSiC÷Si+^
1□03が好ましい混合物である。
この差はゲイ化蒸気の各々とかかわるケイ化反応と関係
している。ケイ素ではSi + C−+SiCとなり、
−酸化ケイ素ではSiO+2C−+SiC+ COとな
る。これらの式はSiOの場合の容量変化がケイ素の場
合の半分であることを示している。
例えば密度が1.4の複合材料は、ケイ素で1.45の
、SiOで0.73の膨張又は膨潤度を有する。後者の
場合、層は多孔質であり、ケイ素蒸気とSiO蒸気との
混合物の使用が好ましい。
複合材料の表面のケイ化は、ヘリウム、アルゴン等のよ
うな中性の気体の存在下で行う。
緻密化構造体を粉末混合物中に選択した温度で浸漬する
ことにより、SiC被膜の厚さを定めることができる。
このSiC被膜の厚さは200〜600JIII+であ
る。
マトリックスの炭素の好ましいケイ化により、厚さが2
00〜600μmのSiC表面層及び厚さが40〜20
0μmの炭素/炭化ケイ素複合物下層を形成することが
できる。繊維の炭素は部分的にしかケイ化されていない
。この下層によりマトリックスの炭素へのSiC外層の
粘着が良くなり、従って外層からの分離が妨げられる。
マトリックスの炭素と外層のSiCとの膨張率に差があ
るために、外層に亀裂が生じる。
化学蒸着により、従ってケイ化の場合より低温(即ち6
00〜1000℃)で直接付着する炭化ケイ素でこれら
の亀裂を封止して、低温での保護材料の密封性を改善す
ることも考えられ得る。プラズマCVD蒸着により約e
 o o ’cでの封止が可能となる。
これらの化学蒸着は、必要に応じて1個以上の気体炭化
水素及び/又は水素と一緒にハロゲン置換した又は置換
していない1個以上のオルガノシランのクラッキングに
より行う。
使用し得るオルガノシランは特に、 (c11,)、SiC+、、、、、 (0≦n≦4)の
形態のクロロシラン゛である0例えばl・ジクロロメチ
ルシラン、テトラメチルシラン及びジクロロジメチルシ
ランが挙げられる。使用し得る炭化水素は特に、メタン
、エタン、プロパン及びブタンである。[11□]:[
CH:+SiC1s]比が4=12のトリクロロメチル
シランと水素とを含む気体混合物の使用が好ましい。
しかしながら、トリクロロメチルシランのような他の混
合物を[H2]:[CII:+SiC1,l比が1=8
、[C<H+o]:[CH3SiC1i]比が1;5の
ブタンと水素との存在下で、又はトリクロロメチルシラ
ンのみを使用することができる。
気体の拡散を良くし亀裂底部での付着を可能にするよう
に、温度を600〜1000°Cに、圧力を0,5〜1
0KPaに定める。
CVDにより付着したSiCの厚さは、2〜10μ箱で
ある。この厚さはSiC外層の亀裂及び亀裂底部の炭素
の穴を塞ぐのに十分である。これにより低温(600℃
から)でさえ気密性の高い保護が行われる。
本発明に基づけば、SiCによる封止の場合より高圧高
温く通常1100°C110KPa)で、前記気体混合
物からCVDによりSiC外層を付着させることが可能
となる。
本発明に基づけば、SiC外層とアルミナのような酸化
物との間にバリヤー層を付着させるためにあらゆる公知
の方法を使用することができる。窒化アルミニウムの特
定例の場合、窒化物被膜は約950℃でのCVDにより
、従って封止に使用したSiCの場合と同一の条件下で
簡単に付着され得る。更には、この材料はSiCに近い
膨張率を有する。^IN付着は好ましくはCVDにより
行われる。窒化アルミニウムの化学蒸着は0.5〜10
KPaの減圧下でヘリウム又はアルゴンのような中性気
体を掃去して行つ。
アルミナ層の窒化のような他の窒化アルミナ付着法又は
物理蒸着(physical vapour phas
edeposition)(PVD)も使用し得る。従
って、反応カソードスパッタリング、反応蒸発及び窒化
アルミニウムの噴霧のようなPVD法により窒化アルミ
ニウム薄膜を得ることができる。しかしながら、これら
の方法にはく室温に近い)低温で層を供給するので、高
温で使用すると高圧縮されるという欠点を示す。
窒化アルミニウムの付着に使用される方法の如何を問わ
ず、窒化アルミニウムは0.5〜5μmの厚さを有する
窒化アルミニウムの場合と同様の理由により、^INの
代わりにCVD又はPV[lにより窒化ハフニウム被膜
の付着が可能となる。
本発明に基づくアルミナ外層はα形態でCVDにより、
特に塩化アルミニウムの気相加水分解により付着する。
加水分解の水は、水素と二酸化炭素ガスとの反応により
反応器内のその場で生成される。以下の反応が進行する
3 Co□ + 3  II2  → 3  Co  
+  11202 ^1cI3 +  3  H2O→
 八1□O,+  6 8CI反応は主に、塩化アルミ
ニウムの加水分解に関与する水の生成に左右される。1
に近い水素/二酸化炭素の分圧比で付着を行う。
塩化アルミニウムの温度及び分圧は、付着の反応論にお
いて表面へのアルミナ生成の反応論と比べて反応物の拡
散を助長するように、できるだけ低く遷定する。従って
、付着速度は単に材料の表面上での化学反応速度により
制御する。
アルミナは下層材料の表面のあらゆる不規則性に完全に
適合することができるために、これらの条件により非常
に均一で粘着性の高いアルミナ層を得ることができる。
これらの条件を最も良く満たすパラメータの値は、全圧
4 KPa、塩化アルミニウム圧0.1KPa及び温度
1000℃である。
冷却中SiC外層に存在する亀裂が再び生じるが、この
亀裂は温度が1000°Cに達するとすぐに複合材料を
使用する間に再び塞がる。付着したアルミナの厚さは、
複合材料の使用条件に応じて2〜100μmの間である
本発明に基づく多孔買基質の緻密化は、炭素マトリック
スを得るためには炭素含量の多い熱硬化性樹脂の熱分解
若しくは気体炭化水素のクラッキングにより、又はSi
Cを添加した炭素マトリックスを得るためにはこれらの
公知の方法を僅かに変更することにより行い得る。
このために、熱硬化性樹脂の熱分解による緻密化の場合
、マトリックスに供給される炭化ケイ素は、Si−Q結
合を有する重合体官能基の分子上でグラフトさせて得ら
れ、このSi−0結合が熱分解処理中に分子のレベルに
分割されて炭化ケイ素を供給する。6〜25重量%(S
iOzで測定)、特に10%のケイ素型官能基(Si−
0結合)を有する炭素含有重合体を使用するのが好まし
い。
熱分解重合体の例としては、ケイ素官能基が化学反応に
よりグラフトされているレゾール型フェノール樹脂及び
フラン樹脂を挙げることができる。
改質した熱硬化性樹脂による緻密化は、幾つかのサイク
ルを含み、各サイクルは樹脂による含浸、重合及びそれ
に続く樹脂の熱安定化処理、樹脂を硬貫コークスに変え
るための熱分解次いでSi−0基を炭化ケイ素に変える
ための高温熱処理からなる。
少なくとも1個の炭化水素と、少なくとも1個のハロゲ
ンにより置換若しくは未置換の少なくとも1個のオルカ
ッシランとにより生成される混合物の高温クラッキング
を含むCVDにより、C/SiC複合マトリックスを形
成することもできる。前述の炭化水素及びオルガノシラ
ンを使用し得る。オルガノシランの割合は1〜8重量%
の間である。この割合は気体又は蒸気の各反応性並びに
/又は使用する温度(980〜1100℃)及び圧力(
0,5〜50KPa)に左右される。
厚さが100〜200nmの炭化ケイ素薄膜を基質の各
繊維にコーティングして、成形の際の基質の変形性を保
持するのが有利である。従って、成形はSiCが繊維上
に付着する前に行うことができるが、一般にはSiCを
uII維上に付着させた後に行う。繊維上でのこのSi
C被膜は、外層のSiC封止で使用した気体混合物及び
条件を使用してCVDにより付着させる。
基質繊維の表面上及びマトリックス中の炭化ケイ素の使
用は、SiC外層の偶発的破壊又はフレーキングの場合
に、炭素−炭素複合材料の6部の酸化を大幅に遅らせて
酸化防止に役立つ。従って、複合材料の特徴及び有効性
は少なくとも問題の使命を果たすまでは保証される。従
って、特に困難な条件下では、SiC外層は例えば宇宙
分野の特殊な場合において宇宙車両の飛行中に生ずる衝
撃、振動又は摩擦の作用下で破損することがあり得る。
偶発的な酸素の侵入の場合酸素のマトリックス中への侵
入の減速は特に、炭素と比べて炭化ケイ素の高温(約1
600℃以上)での好ましい酸化に起因する。このSi
Cの酸化により二酸化ケイ素が発生し、これはマトリッ
クス中のSiCのレベルに比例してマトリックスの容量
が増加することを意味している。シリカの溶融(約13
00℃以上)と関係するこの容量の増加により、炭素マ
トリックス中に存在し得る亀裂及び孔が塞がり、複合材
料の中心への酸素の侵入即ち複合材料の酸化が大幅に遅
れる。
SiCが非常に微細な形態(粒子の寸法は各粒子を被覆
するSiO□被膜の厚さとほぼ同じ大きさ、即ち50n
m未満でなければならない)にある場合にのみマトリッ
クスのSiCの好ましい酸化が進行する。
本発明に基づく各炭素繊維の表面には、これらの繊維を
被覆するSiC薄膜と接触する熱分解炭素被膜を備えて
いなければならない、この熱分解炭素被膜は、SiC膜
が繊維を被覆する前に又はこの膜付着の後に付着させ得
る。この熱分解炭素被膜は複合材料の機械的特性を保持
し更には改善するためのインターフェースを構成する。
本発明の他の特徴及び利点を、添付図面に基づき例示的
、非制限的にこれから説明する。
第1図に、炭素マトリックスの酸化性を大幅に低下させ
る多くとも20重量%の、例えば2〜10重量%の炭化
ケイ素を含む熱分解炭素マトリックス4中に埋封した炭
素強化用繊維2を有する炭素−炭素複合材料を示す。繊
維2は3つの直交する方向(ディメンション)に製織さ
れ、約8μIの厚さを有する。
各繊維2は厚さが多くとも1100nに等しい、好まし
くは50〜1100nの極めて薄い異方性熱分解炭素W
A6でコーティングされている。更には、厚さが約10
0〜200nmの炭化ケイ素被WA8が酸素の拡散を遅
延させて各繊維2の酸化を防止している。この炭化ケイ
素被膜は繊維2に直接接触するように置いても、゛又は
熱分解炭素被膜6に被覆してもよい。
本発明の複合材料は、厚さが200〜600μ飛の炭化
ケイ素外層10で被覆される。前記外層10がケイ化に
より得られるときは、厚さが20〜200μmの炭素繊
維=SiCマトリックス複合物の下層13とつながって
いる。換言すれば、外層10は混合線の形で示すマトリ
ックス4の繊維の第1列(又は第2列)を越えて伸びて
いる。
炭素−炭素複合物から炭素−炭化ケイ素複合物へと漸進
的に通過する複合材料のこの連続性により、SiC外層
10の良好な粘着性が得られる。
SiC外層10の亀裂12は、厚さが2〜10μ悄のS
iC被膜14で封止する。このSiC封止被膜14の上
に、窒化物被膜16、特に窒化アルミニウム、窒化ホウ
素又は窒化ハフニウムの被膜を、使用する材料に応じて
200〜300r+nの厚さで施す。
本発明の複合材料は厚さが2〜100μmのαアルミナ
最終層18でコーティングされる。
これから第1図に示す本発明の複合材料の製造゛実施例
を述べる。
火見■ユ 第2図を参考にして本製造実施例を述べる。
ブロック20に示す方法の第1段階は、炭素ll!維の
芯を公知の方法で3つの直交する方向に製織して、変形
し得る多孔質炭素構造体を形成することからなる。これ
らの繊維の芯は、約3000の840−Toray型の
高弾性PANフィラメントがら形成する。
ブロック22に示す方法の第2段階は、厚さが80n…
の熱分解炭素の異方性被膜を各繊維に付着させることか
らなる。メタンが1.5KPaの圧力下で1時間にわた
って循環する1100℃に加熱した等温炉内で、この熱
分解炭素被膜を化学蒸着により生成する。
ブロック24に示す方法の次の段階は、900℃に上昇
させた[82]:[CIl、SiC+31比が8のトリ
クロロメチルシランと水素との混合物を使用して10m
Paの圧力下で10時間CVDを行って、厚さが約15
0nmのSiC被gf(付着させることからなる。
このようにして得た基質をその後25に示す如く成形し
、次いでブロック26に示す如(、SiCを添加した炭
素マトリックスを形成するために緻密化する。このため
に、基質に10%のケイ素官能基を化学的にグラフトシ
たレゾール型のフェノール樹脂を真空含浸させる。この
含浸は真空(IKPa未溝の圧力)下で行う。
次いで含浸した構造を200℃の温度に達するまで大気
圧下で重合させ、外皮(crust)を除去して過剰樹
脂を取り除く。次いで約800’Cの中性媒貫中で樹脂
を熱分解して架橋重合体を硬質コークス(ガラス質炭素
)に変える。後続の1200〜1800’Cの熱処理に
より、重合体のSi−0結合をSiCに変えることがで
きる。
含浸、重合、熱分解及びその後の熱処理を含むこの処理
段階は5回連続して行う。その後、複合材料の密度は1
.45〜1.5に達する。
機械加工後、ケイ化すべき部分(成形した基質)を10
重量%の^1□0.と30重量%のSiと60重量%の
SiCとを含む粉末混合物に浸漬する。これらの粉末は
30〜60μmの大きさの粒子が分散したものであり、
圧縮後に見掛密度1を有する。ケイ化は黒鉛るつぼで行
う。
るつぼは装填材料と共に、アルゴン雰囲気下で1時間に
わたり1700℃で熱処理を受ける。このようにして、
厚さが300〜500μmのSiC表面1toを形成す
る。このケイ化段階を第2図のブロック28に示す。
SiC14の化学蒸着を受ける前に、粉末マトリツ西 クス除去後の部品を洗浄、検査(重量測定及び過電流に
よりSiC外層の厚さ測定)する。
このために、950 ’Cに維持した前記等温炉内に部
品を置き、炉内に[H4F:[C1l、SiCl:+コ
比が8のトリクロロメチルシランと水素との混合物を1
KPaの圧力下で2時間ずつ2回循環させる。最初の2
時間後に部品を逆にして、部品の可視表面全体に約5μ
mのSiC16を付着させる。この段階を第2図のブロ
ック30に示す。
このサイクルの後、窒化アルミニウム被膜16を部品に
化学蒸着させる。この段階を第2図のブロック32に示
す。
この付着は、前述炉と同一の等温炉内においてアルゴン
掃去下、炉内に塩化アルミニウム(Δ1c13)と水素
とアンモニアとの混合物を5KPa下で循環させながら
950℃で行う。各気体の分圧を以下に示す。
3   KPa O,6KPa O,IKPa 1.3KPa クルを2回繰り返して付着を行う。
N11゜ 八1C1゜ ^r 2時間のサイ 窒化アルミニウム被膜の平均厚さは1,5μmである。
次いで、この窒化アルミニウムバリヤー被膜上にアルミ
ナ保護外被膜18をCVDにより付着させる。
この段階をブロック34に示す。1容量%の^1c1.
と49.5容量%の1(20と49.5容量%のco2
との混合物を使用し、5KPaの前記類において950
℃で反応を行う。3時間のサイクルを2回繰り返して約
51tmのアルミナの付着が得られる。
膿vu この実施例は窒化アルミニウム被膜の代わりに窒化ハフ
ニウム被膜を付着させる点が実施例1と異なる。他の段
階は実施例1と同様に実施する。
II f Hの付着は、窒素雰囲気下において反応噴霧
又はスパッタリングにより行う。これにより、炭化ケイ
素に完全に付着する500nmの窒化ハフニウム被膜が
得られる。
夾」口I旦 この実施例は、多孔質基質の種層が実施例1と異なる。
他の作業は実施例1と同一である。この実施例は、フェ
ノール樹脂であらかじめ含浸させたM 40 Tora
yの炭素繊維布帛をドレープ成形して形成した2次元基
質を使用している。型でのドレープ成形後、その部分を
真空状態になる袋の下に置く。オートクレーブ内におい
てIMPaで150℃まで焼き付けする。型から取り外
し、約200°Cで後焼きした後、得られた構造体を熱
分解し、その後実施例1で既に記載の熱処理を加える。
次いで、得られた部分を実施例1の第5段階により緻密
化する。
火見1 この実施例では、3つの直交方向にToray T30
0型の高力繊維を製織することにより形成した多孔質基
質を使用する。
実施例1に記載の如く、繊維上に炭素被膜及びSiC被
膜を付着させた後、コールタール中へ浸漬し、次いで8
00℃で1008Paの等圧下で熱分解することにより
基質を緻密化する。これにより炭素だけからなるマトリ
ックスが得られる。このコークスマトリックスは黒鉛化
していない。従って、緻密化を6回繰り返し行った後の
複合材料の最終密度は1.8である。
機械加工後、75重1%のSiCと25重1%のSiO
zとを含む粉末混合物中で部品をケイ化する。ケイ化は
実施例1に記載の如(,1650℃の窒素雰囲気下で1
時間にわたって行う。他の作業は実施例1の場合と同一
である。
火1書5 この実施例は、窒化アルミニウムバリヤー被膜の付着方
法が実施例1と異なる。
この実施例では、まず反応カソードスパッタリングによ
り厚さが1μmのアルミニウム被膜の付着を行う0次い
でこの部分を窒化炉内に置き、窒素雰囲気下で段階的な
加熱を行う。窒化は約600℃で始まり、次いでこの部
分を段階的に1200℃まで加熱する。1200℃とは
窒化アルミニウム被膜の完全な団結固[(consol
idation)が起こる温度である。
前記実施例は高速で大気圏に再突入する航空機の熱保護
に関する。明らかに、本発明の複合材料は、1100℃
を越えても腐食媒質、特に酸化媒質中で優れた機械特性
を保持する耐火性または耐食性材料を希求しているあら
ゆる産業分野で使用され得る。更には、適用されるもの
に応じて、付着及び熱処理の時間、被膜の厚さ及び数を
変えることができる。その上、方法の段階の順序を変え
ることもできる。特に基質の成形は、熱分解炭素及び/
又はSiCの繊維上への付着の前であれ後であれ行うこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の複合材料の横断面図、第2図は本発明
の材料の製造方法の種々の段階を例示する線図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)マトリックス中に埋封した炭素繊維基質、炭化ケ
    イ素外層及びこの外層の被覆部を組み込む複合材料であ
    って、該被覆部がThO_2、ZrO_2、HfO_2
    、La_2O_3、Y_2O_3及びAl_2O_3の
    中から選択した酸化物の外被膜と、炭化ケイ素と酸化物
    との間の反応バリヤーとして機能するケイ素を含まない
    化合物の中間被膜とからなることを特徴とする複合材料
    。 (2)マトリックス中に埋封した炭素繊維基質、炭化ケ
    イ素外層及びこの外層の被覆部を組み込む複合材料であ
    って、該被覆部がケイ素を含まない酸化物の外被膜と、
    炭化ケイ素と酸化物との間の反応バリヤーとして機能す
    る中間被膜とからなり、この中間被膜がHfC、TaC
    、ZrC、W_2C、NbC、ThC_2、ZrB_2
    HfB_2、TiB_2、BN、HfN、ZrN、Al
    N、Pt、Ir、Os、Rh及びRuの中から選択され
    ることを特徴とする複合材料。 (3)マトリックス中に埋封した炭素繊維基質、炭化ケ
    イ素外層及びこの外層の被覆部を組み込む複合材料であ
    って、該被覆部がThO_2、ZrO_2、HfO_2
    、La_2O_3、Y_2O_3及びAl_2O_3の
    中から選択した酸化物の外被膜と、炭化ケイ素と酸化物
    との間の反応バリヤーとして機能する中間被膜とからな
    り、この中間被膜がHfC、TaC、ZrC、W_2C
    、NbC、ThC_2、ZrB_2、HrB_2、Ti
    B、BN、IrN、ZrN、AlN、Pt、Ir、Os
    、Rh及びRuの中から選択されることを特徴とする複
    合材料。 (4)酸化物がアルミナであることを特徴とする請求項
    1又は2に記載の複合材料。 (5)バリヤー層が窒化物からなることを特徴とする請
    求項1又は2に記載の複合材料。(6)バリヤー層が、
    窒化アルミニウム及び窒化ハフニウムの中から選択した
    材料からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の
    複合材料。 (7)外層の封止が炭化ケイ素の封止被膜をも含むこと
    を特徴とする請求項1又は2に記載の複合材料。 (8)外層の被覆部が主に、炭化ケイ素封止被膜と、窒
    化ハフニウム又は窒化アルミニウムのバリヤー層と、材
    料の最外層を構成するアルミナ被覆部とからなることを
    特徴とする請求項1又は2に記載の複合材料。 (9)マトリックスが、必要に応じて非晶質炭化ケイ素
    を加えた炭素マトリックスであることを特徴とする請求
    項1又は2に記載の複合材料。 (10)各繊維が炭化ケイ素膜でコーティングされてい
    ることを特徴とする請求項1又は2に記載の複合材料。 (11)各繊維が熱分解炭素膜でコーティングされてい
    ることを特徴とする請求項1又は2に記載の複合材料。 (12)炭素−炭化ケイ素複合物の下層が外層の下に備
    わっていることを特徴とする請求項1又は2に記載の複
    合材料。 (13)以下の段階、即ち (a)炭素繊維からなる変形し得る多孔質基質の生成と
    、 (b)基質の成形と、 (c)マトリックスを形成するための成形した基質の緻
    密化と、 (d)炭化ケイ素外層によるマトリックス外面の被覆と
    、 (e)炭化ケイ素と酸化物との間の反応バリヤーとして
    機能するケイ素を含まない化合物の中間被膜の付着と、 (f)ThO_2、ZrO_2、HfO_2、La_2
    O_3、Y_2O_3及びAl_2O_3の中から選択
    した酸化物被膜による外層の被覆 とからなることを特徴とするマトリックス中に埋封した
    炭素繊維基質を有する複合材料の製造方法。 (14)以下の段階、即ち (a)炭素繊維からなる変形し得る多孔質基質の生成と
    、 (b)基質の成形と、 (c)マトリックスを構成するための成形した基質の緻
    密化と、 (d)炭化ケイ素外層によるマトリックス外面の被覆と
    、 (e)炭化ケイ素と酸化物との間の反応バリヤーとして
    機能し、且つHrC、TaC、ZrC、W_2C、Nb
    C、ThC_2、ZrB_2、HfB_2、TiB_2
    、BN、HfN、ZrN、AlN、Pt、Ir、Os、
    Rh及びRuの中から選択する中間被膜の付着と、 (f)ケイ素を含まない酸化物の被膜による外層被覆 とからなることを特徴とするマトリックス中に埋封した
    炭素繊維基質を組み込む複合材料の製造方法。 (15)以下の段階、即ち (a)炭素繊維からなる変形し得る多孔質基質の生成と
    、 (b)基質の成形と、 (c)マトリックスを構成するための成形した基質の緻
    密化と、 (d)炭化ケイ素外層によるマトリックス外面の被覆と
    、 (e)炭化ケイ素と酸化物との間の反応バリヤーとして
    機能し、且つHfC、TaC、ZrC、W_2C、Nb
    C、ThC_2、ZrB_2、HfB_2、TiB_2
    、BN、HfN、ZrN、AlN、Pt、Ir、Os、
    Rh及びRuの中から選択する中間被膜の付着と、 (f)ThO_2、ZrO_2、HfO_2、La_2
    O_3、Y_2O_3及びAl_2O_3の中から選択
    した酸化物の被膜による外層の被覆とからなることを特
    徴とするマトリックス中に埋封した炭素繊維基質を組み
    込む複合材料の製造方法。 (16)必要に応じて微細な炭化ケイ素を含む炭素ベー
    ス材料で基質を緻密化することを特徴とする請求項13
    又は14に記載の製造方法。 (17)緻密化がSi−O結合を備える官能基を有する
    炭素含有重合体の熱分解からなることを特徴とする請求
    項16に記載の製造方法。 (18)緻密化構造体の外面のケイ化により外層を得る
    ことを特徴とする請求項13又は14に記載の製造方法
    。 (19)窒化アルミニウム、窒化ホウ素及び窒化ハフニ
    ウムの中から選択した材料でバリヤー被膜を製造するこ
    とを特徴とする請求項13又は14に記載の製造方法。 (20)酸化物がアルミナであることを特徴とする請求
    項13又は14に記載の製造方法。 (21)外層が炭化ケイ素で封止されていることを特徴
    とする請求項13又は14に記載の製造方法。 (22)少なくとも1個のハロゲンと置換した又は置換
    していない少なくとも1個のオルガノシランと、必要に
    応じて水素と炭化水素との中から選択した少なくとも1
    個の化合物とを含む混合物を、必要に応じてプラズマ化
    学蒸着させることにより炭化ケイ素封止被膜を得ること
    を特徴とする請求項21に記載の製造方法。 (23)多孔質基質の各繊維が炭化ケイ素膜で被覆され
    ていることを特徴とする請求項13又は14に記載の製
    造方法。 (24)多孔質基質の各繊維が熱分解炭素膜で被覆され
    ていることを特徴とする請求項13又は14に記載の製
    造方法。
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