JPH02106455U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02106455U JPH02106455U JP1326289U JP1326289U JPH02106455U JP H02106455 U JPH02106455 U JP H02106455U JP 1326289 U JP1326289 U JP 1326289U JP 1326289 U JP1326289 U JP 1326289U JP H02106455 U JPH02106455 U JP H02106455U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electrode
- vacuum
- vacuum vessel
- film forming
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案による被膜形成装置構成の一実
施例を示す、要部の断面を含む正面図、第２図は
第１図に示す被膜形成装置の平面図、第３図は第
１図に示す被膜形成装置の要部の拡大断面図、第
４図は第３図のＡ―Ａ位置において矢印の方向に
見た要部の上面図、第５図は気密端子構造の一実
施例を示す断面図、第６図は被膜を形成した試料
の電気抵抗の従来の測定方法を示す図である。 ２…気密端子、３…試料、５…電極、６…真空
容器。
施例を示す、要部の断面を含む正面図、第２図は
第１図に示す被膜形成装置の平面図、第３図は第
１図に示す被膜形成装置の要部の拡大断面図、第
４図は第３図のＡ―Ａ位置において矢印の方向に
見た要部の上面図、第５図は気密端子構造の一実
施例を示す断面図、第６図は被膜を形成した試料
の電気抵抗の従来の測定方法を示す図である。 ２…気密端子、３…試料、５…電極、６…真空
容器。
Claims (1)
- 真空容器内で気体放電を発生させるために該真
空容器内に平行に対向して配された、一方の電極
を構成するターゲツトと他方の電極との間に、該
対向方向と直角の方向に対向して配された２つの
電極の間に分析用試料などを置きその表面に金属
被膜を形成させる装置において、前記真空容器が
その容器壁に該容器壁を貫通して前記２つの電極
をそれぞれ該真空容器の外側へ引き出す気密端子
を備えていることを特徴とする被膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1326289U JPH02106455U (ja) | 1989-02-07 | 1989-02-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1326289U JPH02106455U (ja) | 1989-02-07 | 1989-02-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02106455U true JPH02106455U (ja) | 1990-08-23 |
Family
ID=31223419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1326289U Pending JPH02106455U (ja) | 1989-02-07 | 1989-02-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02106455U (ja) |
-
1989
- 1989-02-07 JP JP1326289U patent/JPH02106455U/ja active Pending
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