JPH0242060U - - Google Patents
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- JPH0242060U JPH0242060U JP11990788U JP11990788U JPH0242060U JP H0242060 U JPH0242060 U JP H0242060U JP 11990788 U JP11990788 U JP 11990788U JP 11990788 U JP11990788 U JP 11990788U JP H0242060 U JPH0242060 U JP H0242060U
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- JP
- Japan
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- film thickness
- cathode
- target
- anode
- sample chamber
- Prior art date
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- Pending
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本案の一実施例の構成図である。
１……シールド板、２……ターゲツトベース材
（カソード）、３……ターゲツト、４……ガラス
、５……膜厚センサ、６……試料、７……試料台
、８……アノード。
（カソード）、３……ターゲツト、４……ガラス
、５……膜厚センサ、６……試料、７……試料台
、８……アノード。
Claims (1)
- 試料室と、この試料を排気する排気系と、前記
試料室内に配置された一対のアノード、カソード
と、このカソードに装着されたターゲツトと、前
記アノード付近に配置された膜厚計センサと、こ
のセンサからの信号を処理する膜厚計と、前記ア
ノード、カソード間に電圧を印加する電源とを備
えたものにおいて、前記膜厚計でコーテイングレ
ートの変化からターゲツトの寿命を検知すること
を特徴とするターゲツト寿命表示付イオンスパツ
タリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11990788U JPH0242060U (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11990788U JPH0242060U (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0242060U true JPH0242060U (ja) | 1990-03-23 |
Family
ID=31365549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11990788U Pending JPH0242060U (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0242060U (ja) |
-
1988
- 1988-09-14 JP JP11990788U patent/JPH0242060U/ja active Pending
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