JPH02106830U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図１は本考案の一実施例を示すウエーハー
枚数計数装置の正面図、第１図２はその側面図、
第２図は演算器４に入力する光電スイツチ１の出
力波形図、第３１〜３はウエーハー４を支持する
ウエーハーキヤリア５の溝の部分の拡大図、第３
図４，５はそれぞれ第３図３のラインｅ，ｄでの
、反対方向に傾いた隣りあつた２枚のウエーハー
間の位置関係を示す図、第４図１は発光器１ａと
受光器１ｂにそれぞれ収束器８、スリツト板９が
取り付けられた状態を示す図、第４図２はスリツ
ト板９の平面図、第４図３は収束器８の平面図、
第４図４は発光器１ａからの光が検出しようとし
ているウエーハー４の隣のウエーハー４で反射さ
れて受光器１ｂに入力する様子を示す図、第５図
１〜３、第６図１〜３は従来のウエーハー枚数計
数方法を示す図である。 １……光電スイツチ、１ａ……発光器、１ｂ…
…受光器、１ｃ……光軸、２……フレーム、３…
…演算器、４……ウエーハー、５……ウエーハー
キヤリア、５ａ……下部の開口、５ｂ……溝、６
……アーム、７……光軸１ｃとキヤリア内壁の距
離、８……収束器、９……スリツト板、９ａ……
スリツト、ａ……ウエーハーキヤリア５上の点、
ｂ……点ａを含む部分、ｃ〜ｅ……ライン、ｆ，
ｇ……ガタ、ｈ，ｉ……スキマ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 光電スイツチと、 ウエーハーキヤリアの、搭載されたウエーハー
   の正面方向から見たとき、光電スイツチの発光器
   と受光器がウエーハーキヤリアの上方と下方に位
   置し、光電スイツチの発光器と受光器を結ぶ光軸
   がウエーハーキヤリアに搭載されているウエーハ
   ーと交差し、かつ該光軸がウエーハーキヤリアの
   下部の開口を通過するように発光器と受光器を保
   持するフレームと、 ウエーハーキヤリアまたはフレームを、ウエー
   ハーキヤリアのウエーハー搭載方向に移動させる
   機構と、 光電スイツチの発光器に通電するとともに、受
   光器からの、ウエーハーによつて遮光されて生じ
   た信号を計数してウエーハーキヤリアに搭載され
   ているウエーハーの枚数を計数する演算器とを有
   するウエーハー枚数計数装置。