JPH02107681A - 光感受性粘着シート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は　活性光の作用によって発色し、粘着力の低下
をきたす光感受性粘着シートに関する。

従来の技術 従来、電子工業においては、電気絶縁用、表示ラベル用
、両面接着用、マスキング用、包装用、表面保護用、結
束固定用等の各種用途に、粘着製品が用いられている。

粘着製品の用途の一つに紙テープがある。例えば、包装
用として、プリント基板に抵抗体、コンデンサー、半導
体チップなど、各種部品を組込むために、自動挿入機（
インサーター）が使用されており、これらの部品を順番
に並べて整理するために、自動順列機（シーケンサ）か
用いられているが、その際の部品の保持には粘着剤を付
与した紙テープが用いられる。これらの紙テープの要求
特性としては、部品の保持時には、十分の粘着時を有す
るか、部品のピックアップ時には、真空パレット等の工
具で容易にピンクアップされ、フレームに組込むことが
可能なことがあげられる。

粘着製品の別の用途としては、例えば、ダイシングテー
プがある。ダイシングテープは、半導体の素子形成（パ
ターニング）を完了したシリコン等のウェハーの細分化
（ダイシング）時に、パターニング済みのウェハーの固
定に用いるものである。すなわち、まずウェハーを両面
粘着テープ或いは自己粘着フィルムに貼り付け、その後
、ウェハーをハーフカットし、ブレーキングで切り離し
てウェハーをチップに分割し、各チップを吸着方式など
によってピックアップする。

粘着製品のさらに池の用途として、フェライトやシリコ
ンウェハーなどの表面を平坦に加工するラッピング作業
、或いはシリコンウェハーの裏面を粗面に加工するグラ
インディング作業において、被加工物を固定するのに用
いる粘着テープがある。

この粘着テープは、作業時には被加工物を強く保持して
いるが、作業終了後には容易に剥離できるものである。

上記例示したような用途に使用する粘着テープ或いは粘
着フィルム等の粘着製品（以下、粘着シートと言う）は
、その使用に際して作業工程に対応して、高粘着力と低
粘着力という二つの異なる機能が適宜付与されることが
必要である。

従来、これらの機能が付与された粘着シートとしては、
紫外線感応型の粘着シートが知られている。この型の粘
着シートは、基体上に紫外線の作用によって粘着力が変
化する組成物の層を設けたものであり、例えば、ダイシ
ングの作業を行う場合、ダイシング、ブレーキングまで
の工程では、強い粘着力を保持しており、ダイシング後
のチップ化されたウェハーに対しては、ピックアップ直
前に紫外線を照射することによって、粘着力が急激に低
下するものであって、チップを取り出すことが可能にな
る。

発明が解決しようとする課題 上記紫外線感応型の粘着シートは、水銀ランプ、メタル
ハライドランプのような光源から放射される紫外線エネ
ルギーの作用によって粘着剤が光化学的に変化し、粘着
力が低下するという現象を利用するものである。

ところで、上記の櫟な光源は、それを継続して使用する
と劣化したり、またラング管壁、反射ミラー或いはフィ
ルター等の汚れが生じる結果、紫外線の放射エネルギー
（出力）の低下を来たす。

従来の粘着シートを用い、光源からの紫外線の出力の検
知又は補正を行なわずに、上記したダイシンク等の作業
を進めた場合、上記の櫟な紫外線の出力低下を来たした
結果、粘着シートに要求される粘着力の低下か充分に起
こらず、作業に支障を来たすという問題かあった。

従来、この様な紫外線の出力低下に起因して、粘着テー
プの粘着力の低下が不十分になったことを直接検知する
ことは行われておらず、したがって、粘着テープの粘着
力の低下の度合を簡単に検知する技術の開発が望まれて
いた。

本発明は、従来の技術における上記の間防点に鑑みてな
されたものである。

したがって、本発明の目的は、紫外線等の活性光の放射
エネルギーの変動か検知可能な光感応・四粘着シートを
提供することにある。

課題を解決するための手段及び作用 本発明者は、紫外線などの活性光の作用によって種々の
物性変化を来たすシートにつき、鋭意研究の結果、特定
の層構成を有するシートを使用することにより、上記の
目的が達成されることを見出だし、本発明を完成するに
至った。

本発明の第１の光感受性粘着シートは、基体上に、活性
光の作用によって発色する組成物よりなる発色層、及び
該活性光の作用によって粘着力が低下する粘着層を積層
してなることを特徴とする。

第２の光感受性粘着シートは、基体の一面に活性光の作
用によって発色する組成物よりなる発色層を設け、他面
に該活性光の作用によって粘着力が低下する粘着層を設
けてなることを特徴とする。

第３の光感受性粘着シートは、活性光の作用によって発
色する組成物を含有する基体上に、該活性光の作用によ
って粘着力が低下する粘着層を設けてなることを特徴と
する。

さらに、第４の光感受性粘着シートは、基体上に、活性
光の作用によって発色すると共に、粘着力が低下する発
色性粘着層を設けてなることを特徴とする。

以下、図面を参酌して本発明の光感受性粘着シートを説
明する。

第１図ないし第４図は、それぞれ本発明の第１ないし第
４の光感受性粘着シートの模式的断面図を示す、第１図
においては、基体１上に、活性光の作用によって発色す
る組成物よりなる発色層２及び該活性光の作用によって
粘着力が低下する粘着層３が順次積層されている。第２
図においては、基体１の一面に上記発色層２が、また他
面に上記粘着層３か設けられている。第３図においては
、活性光の作用によって発色する組成物を含有する発色
性基本４上に、該活性光の作用によって粘着力か低下す
る粘着層３が設けられている。また、第４図においては
、基体１上に、活性光の作用によって発色すると共に粘
着力が低下する発色性粘着層５が設けられている。

次に、本発明における光感受性粘着シートの各層構成に
ついて詳記する。

本発明において発色層を構成する活性光の作用によって
発色する組成物としては、従来公知のものが使用できる
。すなわち、紫外線或いは可視光線などの作用によって
フリーラジカル或いは酸のような活性種を生じる光活性
剤、及び上記活性種との相互作用によって発色する色素
前駆体の組み合わせを用いることができる。

フリーラジカルを生じる光活性剤としては、有機ハロゲ
ン化合物、例えば、４臭化炭素、ｉ、ｉ、ｉ−トリス（
ブロモメチル）プロパン、フェニルトリブロモメチルス
ルホン、ｐ−ニトロフェニルトリブロモメチルスルホン
、２．４−ジクロロフェニルトリクロロメチルスルホン
、ヘキサブロモジメチルスルホキサイド、ヘキサブロモ
ジメチルスルホン、４．４−ジブロモ−２，３−ヘキサ
ンジオン、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、０
−ニトロ−α、α。

α−トリブロモアセトフェノン、２，４−ビス（トリク
ロロメチル）−６−（ｐ−メトキシフェニル）−Ｓ−ト
リアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）　−６−
（ｐ−メトキシスチリル）−ｓ−トリアジン、２，４−
ビス（トリクロロメチル）−６−ｆナフト−１−イル）
−８−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）
−６−（アセナフト−５−イル）−Ｓ−トリアジン等が
例示される。

また、酸を生じる光活性剤としては、芳香族オニウム塩
、例えば、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレ
ート、ジフェニルヨードニウムへキサフルオロフォスフ
ェート、トリフェニルスルホニウムへキサフルオロフォ
スフェート、ビス（４−メトキシフェニル）フェニルス
ルホニウムへキサフルオロフォスフェート等が例示され
る。

また、色素前駆体としては、トリフェニルメタン系、フ
ルオラン系、ローダミンラクタム系、フェノチアジン系
、フタリド系の化合物、例えば、ビス（４−ジメチルア
ミノフェニル）フェニルメタン（ロイコマラカイトグリ
ーン）、トリス（４−ジメチルアミノフェニル）フェニ
ルメタン（ロイコクリスタルバイオレット）、ビス（４
−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）フェニルメタ
ン、ビス（４−ジエチルアミノ−２−メトキシフェニル
）フェニルメタン、トリス（４−ジエチルアミン−２−
メチルフェニル）メタン、ビス（４−ジベンジルアミノ
−２−メチルフェニル）フェニルメタン、４−メトキシ
フェニルビス（１−エチル−２−メチルインドール−３
−イル）メタン、フェニル−ビス（１−ｎ−ブチル−２
−メチルインドール−３−イル）メタン、３−ジエチル
アミノベンゾ［ａｌ−フルオラン、３−ジメチルアミノ
−６−メチルづ−クロロフルオラン、３−シクロへキシ
ルアミノ−６−クロロフルオラン、３−（Ｎ−メチルー
トフェニルアミノ）　−６−（Ｎ−エチル−Ｎ−Ｄ−ト
リルアミノ）フルオラン、３−ジエチルアミン−７−ク
ロロフルオラン、３−ジメチルアミン−６−メチル−７
−クロロフルオラン、３−（Ｎ−シクロへキシル−Ｎ−
メチルアミノ）−６−メチル−７−アニリノフルオラン
、３−ピロリジノ−６−メチル−７−アニリノフルオラ
ン、３−（Ｎ−エチルーーーイソベンチルアミノ）−６
−メチル−７−アニリノフルオラン、３−（トエチルー
Ｎ−（２−オキソラニルメチルアミン））−６−メチル
−７−アニリツフルオラン、３−ジエチルアミノづ−（
ｌ−フルオロアニリノ）フルオラン、３．６−ジニチル
アミノフルオランーω−ｐ−ニトロフェニルイミドラク
タム、３，６−シエチルアミノフルオランーω−ｐ−ク
ロロフェニルイミドラクタム、３，７−ビス（ジメチル
アミノ）−１０−ベンゾフェノチアジン、３．７−ビス
（ジメチルアミノ）−１０−アセチルフェノチアジン、
３．３−とスージメチルアミノフェニル−６−ジメチル
アミノフタリド（クリスタルバイオレットラクトン）　
、３．３−ビス−ジメチルアミノフェニルフタリド（マ
ラカイトグリーンラクトン）、３．３−ビス−（１−エ
チル−２−メチルインドール−３−イル）フタリド、３
．３−ビス−（１−ブチル−２−メチルインドール−３
−イル）フタリド、３，３−ビス〜（１−才クチル−２
−メチルインドール−３−イル）フタリド、Ｎ−ブチル
−３−Ｆビス（４−（Ｎ−メチルアニリノ）フェニル）
メチル］カルバゾール、３−（４−ジエチルアミノ−２
−エトキシフェニル）　−３−（１−エチル−２−メチ
ルインドール−３−イル）−４−アザフタリド等が例示
される。

本発明の第１及び第２の光感受性粘着シートにおいて、
発色層は、上記した光活性剤及び色素前駆体を、皮膜形
成性を有する高分子バインダー例えばエチルセルロース
、酢酸セルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、ニ
トロセルロース三酢酸セルロース、セルロースアセテー
トブチレート、セルロースアセテートプロピオネート等
のセルロース誘導体、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−Ｂ
：酸ビニル共重合体、塩化ビニル−ビニルアルコール共
重合体等の塩化ビニル共重合体類、エチレン−ビニルア
ルコール共重合体、エチレン−塩化ビニル共重合体等の
エチレン共重合体類、ポリスチレン、スチレン−ブタジ
ェン−アクリロニトリル共重合体等のスチレン重合体類
、ポリアクリル酸エステル、ポリメタクリル酸エステル
及びこれ等の共重合体等のアクリル樹脂、ブチラール樹
■ヨ、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂、フェノール樹脂
、飽和共重合ポリエステル樹脂、フッ素樹脂等の塗料用
樹脂、ポリカーボネート、ボリアリレート、ポリサルホ
ン、ポリエーテルサルホン、芳香族ポリエステル、ポリ
フェニレンエーテル、アクリロニトリル−塩素化ポリエ
チレン−スチレン共重合体のようなエンジニアリングプ
ラスチックス等と共に、溶媒（例えば、水、メタノール
、エタノール、インゾロパノール、ベンゼン、トルエン
、キシレン、酢酸エチル、酢酸イソブチル、アセトン、
２−ブタノン、４−メチル−２−ペンタノン、シクロヘ
キサノン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、塩化メチ
レン、クロロホルム、１２−ジクロロエタン、ｉ、　１
．１−　トリクロロエタン、クロロベンゼン、ヘキサン
、ヘプタン、シクロヘキサン、ジメチルアセトアミド、
ジメチルスルホキシド）に分散、ン容解させ、得られた
塗布液を基体上に塗工することによって形成される。

発色層における各構成成分の量的割合については、特に
限定はされないが、好ましい例を以下に示す。

色素前駆体　　　　　　　　　　１０部光活性剤　　　
　　　　ｏ、ｉ〜ｉｏｏ部高分子バインダー　　　　１
〜１０００部本発明の第１．２及び４の光感受性粘着シ
ートにおいて用いられる基体としては、シート形状のも
のならば、特に限定はされない。例えば、セロファン、
ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、■ＰＸ
、三ｉｔｔ［セルロース、ポリ塩化ビニル、ポリエステ
ル、ポリカーボネート、ボリアリレート、ポリスルホン
、ポリエーテルスルホン、ポリ四フヅ化エチレン、ポリ
アミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、シリコーン等
の高分子フィルム、紙、繊維の不繊布或いは織布、木質
シート。

ガラスシート、セラミックシート、アルミニウム箔、鉛
箔等の金属箔、アルミニウム、クロム、錫、インジウム
、金、銀、銅等の合間を蒸着した高分子フィルム、紙−
ポリエステル、アセテート布ポリエステル等の二種類の
材料を複合した複合シート材料等をあげることができる
。しかしながら、本発明においては、基体は、活性光に
対して透明であることが好ましい。

本発明の第３の光感受性粘着シートにおいては、基体と
して、上記のような光活性剤と色素前駆体とを含む組成
物を含有する発色性基体が用いられる。この発色性基体
は活性光に対して透明であることが好ましく、活性光の
照射によって発色するものである。

その櫟な発色性基体を作成するためには、シート形成性
を有する材料、例えばセロファン、ポリエチレン、ポリ
スチレン、ポリプロピレン、ＴＰＸ、三酢酸セルロース
、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリエステル
、ポリカーボネート、ボリアリレート、ポリスルホン、
ポリエーテルスルホン、シリコーン等の高分子材料、或
いは、紙、繊維の不織布或いは織布、木質シート等のシ
ート状多孔質材料、紙−ポリエステル、アセテート布ポ
リエステル等の二種類の材料を複合した複合シート材料
等を用いることかできる。

これ等のシート形成材料を用いて発色性基体を作成する
には、従来公知の技術を採用することができる４例えば
、シート形成性高分子材料を使用する場合、高分子材料
と色素前駆体及び光活性剤を、各種溶剤に溶解して得た
塗布液を、回転する平坦で均一な金属支持体上に流延し
て、薄いフィルムとする溶液流延法、高分子材料と色素
前駆体及び光活性剤を加熱溶融して得た溶融液を、Ｔタ
イ或いは円形タイから押出してフィルムに成形する溶融
押出法、高分子材料と色素前駆体及び光活性剤を充分に
混練した後、２本以上のロールの間で圧延してフィルム
とするカレンダー法等を用いることができる。

高分子材料と色素前駆体及び光活性剤の量的割合は、特
に限定されないか、好ましい例を以下に示す。

シート形成性高分子材料　　　　　１００部色素前駆体
　　　　　　　　　０．１〜１０部光活性剤　　　　　
　　　０．００１〜１００部また、シート状多孔性材料
を使用する場合には、活性光の作用によって発色する組
成物及び必要に応じてフィルム形成性高分子バインダー
を各種溶剤に溶解して得た塗布液を、シート状多孔質材
料に塗工、浸漬或いは含浸させて、基体を形成すること
かできる。

この場合、活性光の作用によって発色する組成物を構成
する各成分の量的割合については、特に限定はされない
が、好ましい例は次の通りである。

色素前駆体　　　　　　　　　　１０部光活性剤　　　
　　　　０．１〜１００部高分子バインダー　　　　１
〜１０００部本発明の第１．２及び３の光感受性粘着シ
ートにおける、活性光の作用によって粘着力が低下する
粘着層としては、ヨーロッパ特許出９　ＥＰ４６．０８
３（１９８２）、画際特許出ｆＡＰｃＴ８１−００，３
０９（１９８１）、Ｆｒ、Ｄｅｍａｎｄｅ　ＦＲ２，４
８０，７６２（１９８１）等に記載の技術をそのまま適
用することかできる。例えば、３′−メトキシベンゾイ
ンオクタデカノエートの様な活性光の作用によって光分
解して界面活性剤を生成する化合物を配合した組成物を
使用するもの、グリシジルメタクリレート−イソオクチ
ルアクリレート共重合体のような長鎖アクリル系共重合
体と、トリフェニルスルホニウムへキサフルオロアンチ
モネート、ジフェニル（チオフェノキシフェニル）スル
ホニウムヘキサフルてロアンチモネート、４−クロロフ
ェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモ
ネートのような光イオン反応開始剤等との配合物を使用
するもの、炭素数８〜２８個のエポキシ基含有ポリオレ
フィン化合物、３４−エポキシシクロヘキシルメチル−
３，４−シクロヘキサンカーボキシレートのような指環
式エポキシ化合物、ジ−ｔ−ブチル−４，４′−ジフェ
ニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートの様な
光イオン反応開始剤等の配合１勿を使用するもの等をあ
けることができる。

本発明の第４の光感受性粘着シートにおいては、基体上
に、活性光の作用によって発色すると共に、粘着力が低
下する発色性粘着層か設けられる。このような発色性粘
着層は、上記した発色層と粘着層の構成成分を適宜混合
することによって形成することができる。

実施例 以下、本発明を実施例によって説明する。なお、部は全
て重量部を意味する。

実施例１ 厚さ７５圃のポリエステルフィルムの一方の側に、下記
配合組成よりなる光発色性組成物塗布機を塗工して、膜
厚１０ａ＋の発色層を形成した６ビス（４−ジエチルア
ミノ−２−メチルフェニル）フェニルメタン　　　　　
８部１〜リメチルブロモフエニルスルホン　　２部飽和
ポリエステル樹脂のトルエン／ ２−ブタノン（重量比８０／２０） １０重量％溶液　　　　　　　　　　１００部次に、ポ
リエステルフィルムの他の一方の側に、下記配合組成よ
りなる粘着層塗布液を塗工して、膜厚３０−の粘着層を
形成し、光感受性粘着シート（以下、単にシートという
）を得た。

グリシジルメタクリレート ２−エチルへキシルアクリレート （２０／８０）共重合体　　　　　　　　１００部ジフ
ェニルチオフェノキシフェニル へ升すフルオロアンチモネート　　　３部内Ｙ酸エチル
　　　　　　　　　　　　４００００部イソプロピルア
ルコール　　　　１００部２−ブタノン　　　　　　　
　　　　　２００部得られたシートの活性光照射前の色
相は、無色透明であった。

このシートを、バターニング済みのシリコンウェハーの
裏面に貼り付け、高圧水銀灯（ウシオ電機■製、出力８
０−／■）を用いて、２５ＣＩ１１の距離から３０秒間
活性光照射を行なった。

照射の結果、シートの色相は鮮明な緑色になった６次い
で、シートに、テープ幅１０ｍｍの粘着テープを貼り付
け、３０ｃｏ／Ｓｅｃの剥離速度で１８０°剥離を行な
い、剥離強度を測定した。その結果、活性光未照射のシ
ートでは、剥離強度は３００　ｇ　／　ｃ！１１であっ
たが、照射後は１０ｚ／ａｎに低下した。

実施例２ 下記配合組成よりなる配合物を用い、溶液流延法によっ
て、発色性基体である厚さ１００加の光発色性シートを
得た。

３酢酸セルロースフレーク　　　　　　５０部メチルフ
タリルエチルグリコレート　　５部リン酸トリフェニル
　　　　　　　　　１０部塩化メチレン　　　　　　　
　　　　２００部エチルアルコール　　　　　　　　　
２０部Ｎ−ブチル−３［ヒス＋４−（Ｎ−メチルアニリ
ノ）フェニル）メチル］ カルバゾール　　　　　　　　　　　５部２４−ビス（
トリクロロメチル）−６−（ナフト−１−イル）−ｓ−
トリアジン　　１部次に、上記の光発色性シートの上に
、下記配合組成よりなる粘着層塗布液を塗工して、膜厚
２５ジの枯＠層を形成し、光感受性粘着シートを得た。

グリシジルメタクリレート インオクチルアクリレート （２５／７５）共重合体　　　　　　　　１００部３．
４−エポキシシクロヘキシル メチル−３，４−シクロヘキサン カーボキシレート　　　　　　　　　１０部（１−６−
η−クメン）（η−シクロ ペンタジェニル）鉄（１＋） ヘキサフルオロフォスフェート　　　３部酢酸エチル　
　　　　　　　　　　　９０部イソプロピルアルコール
　　　　　　６０部アントラセン　　　　　　　　　　
　０．５部得られたシートの活性光照射前の色相は、無
色透明であった５ このシートを、パターニング済みのシリコンウェハーの
裏面に貼り付け、実施例１におけると同一の染件で、但
し照射時間を５秒間にして活性光照射を行なった。

照射の結果、シートの色相は鮮明な青色になった０次い
で、実施例１と同様の手順で剥離強度の測定を行なった
。その結果、未照射時の剥離強度は２５０ｇ／■であっ
たが、活性光照射により、剥離強度は５ｇ／ａ１１に低
下した。

実施例３ 下記配合組成の組成物を用いてＴタイ溶融押出法によっ
て、発色性基体である厚さ１２５μｍの光発色性シート
を得た ポリ塩化ビニル　　　　　　　　　　１００部ジオクチ
ルフタレート３５部 ジオクチルアジペート　　　　　　　　５部３−（Ｎ−
エチルート（２−オキソラニルメチルアミン）−６−メ
チル−７− アニリツフルオラン　　　　　　　　１０部ビス（４−
メトキシフェニル） フェニルスルホニウム ヘキサフルオロフォスフェート　　　２部次に、上記の
光発色性シートの上に、下記配合組成よりなる粘着層塗
布液を塗工して、膜厚１５引の粘着層を形成し、光感受
性粘着シートを得た。

飽和ポリエステル樹脂（Ｔ（１＝−２０℃）の酢酸エチ
ル／トルエン （重量比８０／２０）１０重量％溶液　　　１００部３
′−メトキシベンゾインオクタ テカノエート　　　　　　　　　　　５部得られたシー
トの活性光照射前の色相は、無色透明であった。

このシートを、パターニング済みのシリコンウェハーの
裏面に貼り付け、実施例１におけると同一の条件で、但
し照射時間を６０秒間にして活性光照射を行なった。

照射の結果、シートの色相は鮮明な黒色になった６次い
で、実施例１と同様の手順でに■離強度の測定を行なっ
た。その結果、未照射時の剥！強度は２５０　ｚ　／　
ａｎであったが、活性光照射により、剥離強度は１０ｇ
／■に低下した。

実施例４ 実施例１において光発色性組成物の色素前駆体として、
３．３−ヒス（１−オクチル−２−メチルインドール−
３−イル）フタリドを用いた以外は、実施例１における
と同様の手順にしたがって光感受性粘着シートを得た。

このシートの色相は無色透明であった。

次いで、実施例１におけると同様の手順にしたがって、
活性光照射を行なった。照射の結果、シートは鮮明な赤
色に発色した。次いで、実施例１と同様の手順で剥離強
度の測定を行なった。その結果、実施例１におけると同
じ剥離強度が得られた。

実施例５ 実施例２において、色素前駆体として３−シクロへキシ
ルアミノ−６−クロロフルオランを含有する塗布液を使
用し、また、粘着層塗布液として下記配合組成のものを
用いた以外は、実施例２におけると同様にして光感受性
粘着シートを得た。

ヒスフェノールＡ型エポキシ樹脂　　５０部１．２−エ
ポキシ−１６−オクタデセン　　　　５０部３．４−エ
ポキシシクロヘキシルメチル−３，４−シクロヘキサン カーボキシレート　　　　　　　　　２０部ジフェニル
チオフェノキシフェニル スルホニウムへキサフルオロ フォスフェート　　　　　　　　　　２０部ペリレン　
　　　　　　　　　　　　１部このシートの活性光照射
前の色相は無色透明であった。

次いで、実施例１におけると同様の手順で活性光照射を
行ない、色相及び剥離強度の測定を行なった。その結果
、活・１光照射によって、シートは鮮明な橙色に発色し
た。また、剥離強度の値は、活性光照射前は３５０ｇ／
■、照射後は１０ｇ／ａ！Ｉであった。

実施例６ 実施例３において、色素前駆体として３，６−ジニチル
アミノフルオランーω−叶二トロフェニルイミドラクタ
ムを使用し、また、粘着層塗布液として下記配合組成の
ものを用いた以外は、実施例３におけると同様にして光
感受性粘着シートを得た。

イソオクチルアクリレート−アクリル アミド共重合体（共重合比９０／１０）　　２０部２−
ニトロペンジルヘキサテカン スルホネート　　　　　　　　　　　２部酢酸エチル　
　　　　　　　　　　　４０部トルエン　　　　　　　
　　　　　　４０部このシートの活性光照射前の色相は
無色透明であった。

次いで、実施例３におけると同様の手、順で活性光照射
を行ない、色相及び剥離強度の測定を行なった。その結
果、活性光照射によって、シートは鮮明な桃色に発色し
た。また、剥離強度の値は、活性光照射前は４００　ｇ
／　ａｎ　、　照射後は１５ｇ／ｃｍであった。

実施例７ 実施例１において、粘着層塗布液をポリエステルフィル
ムの他の側に塗工する代わりに、発色層の上に塗工した
以外は、実施例１と同様にして光感受性粘着シートを作
成した。このシートの活性光照射前の色相は無色透明で
あった。

次いで、実施例１におけると同様の手順にしたかって、
活・注光照射を行なった。照射の結果、シートは鮮明な
緑色に発色した。また、実施例１と同様の手順で剥離強
度の測定を行なった結果、実施例１におけると同じ剥離
強度が得られた。

実施例８ 厚さ７５ｍのポリエステルフィルムに、実施例１におけ
る光発色性組成物塗布液と粘着層塗布液とを等量混合し
て得た発色性粘着層形成用塗布層を塗工して、膜厚３０
層の発色性粘着層を形成し、光感受性粘着シートを得た
。このシートの活性光照射前の色相は無色透明であった
。

次いで、実施例１におけると同様の手、順にしたかって
、活性光照射を行なった。照射の結果、シートは鮮明な
緑色に発色した。また、実施例１と同様の手ＩＩＮで剥
離強度の測定を行なった結果、実施例１におけると同じ
剥離強度が得られた。

発明の効果 本発明の光感受性粘着シートは、上記の構成を有するか
ら、活性光を照射した場合に、粘着層の粘着力の低下に
対応して、着色層の色相が変化し、粘着層の粘着力の変
化が容易に検知できる。したかつて、本発明の光感受性
粘着シートは、作業工程の途中で粘着層の粘着力の低下
か望まれる用途。

例えば半導体チップその他の電子部品をフレーム等に組
み込む際に使用する粘着テープ、或いはグイシングテー
プとして極めて有用である。即ち、本発明の光感受性粘
着シートを使用すると、紫外線等の活性光出力の低下な
どにより、粘着層の粘着力が所定の粘着力にまで低下し
ていない場合に、色相の変化によって簡単に検知するこ
とができるので、作業工程に支障を来すことがなくなる
。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は、それぞれ本発明の光感受性粘着
シートの実施例の模式的断面図である。 １・・・基体、２・・・発色層、３・・・粘着層、４・
・・発色性基体、５・・・発色性粘着層。 １・・・基イ本 ２・・・発色１ ３・・・オ占着層 ４・・・発色性基イ本 特許出頼人　　株式会社巴川製紙所 代理人　　　　弁理士　　液部　剛 第１図 第２図 第３図 第４図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）基体上に、活性光の作用によって発色する組成物
   よりなる発色層、及び該活性光の作用によって粘着力が
   低下する粘着層を積層してなることを特徴とする光感受
   性粘着シート。
2. （２）基体の一面に活性光の作用によって発色する組成
   物よりなる発色層を設け、他面に該活性光の作用によっ
   て粘着力が低下する粘着層を設けてなることを特徴とす
   る光感受性粘着シート。
3. （３）活性光の作用によって発色する組成物を含有する
   基体上に、該活性光の作用によって粘着力が低下する粘
   着層を設けてなることを特徴とする光感受性粘着シート
   。
4. （４）基体上に、活性光の作用によって発色すると共に
   、粘着力が低下する発色性粘着層を設けてなることを特
   徴とする光感受性粘着シート。