JPH02109357A - プラスチックモールド用クラッド板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 利用産業分野 この発明は、プラスチックモールド用クラッド板の製造
方法に係り、特に、ＣｕまたはＣｕ合金板からなる基板
表面の中央部長手方向に、連続的にまたは非連続的にＮ
ｉ３０〜５０％含有Ｆｅ合金板を被着してなるプラスチ
ックモールド用クラッド板の製造方法に関する。

背景技術 プラスチックモールド用封着合金には、一般的に４２％
Ｎｉ−Ｆｅ合金が用いられ、大容量用としてはＣｕ合金
板が用いられている。

前記４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金は、半導体のＳｉチップと熱
膨張係数が近似していることにより、よく使用されてい
るが、封着されるプラスチックとの熱膨張係数差が大き
く、また熱伝導性があまりよくない欠点がある。

また、ＣｕあるいはＣｕ合金は、プラスチックとの熱膨
張係数が近似し、熱伝導性のすぐれている利点はあるが
、Ｓｉチップと熱膨張係数差が大きい問題がある。

そこで、かかる熱膨張差問題を解消する目的で、従来、
４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金板または３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金を
芯材とし、その両面にＣｕまたはＣｕ合金を被着したク
ラッド板が提案されている。

今日ではさらに、前記クラッド板の低コスト化がとみに
要望されるようになり、最近、４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金、
及びＣｕまたはＣｕ合金の特性、利点を兼備えたリード
フし・−ム４；Ａとして、半導体のＳｉチップ載置部に
Ｓｉの熱膨張係数の近似するＮｉ−Ｆｅ系合金を、それ
以外の部分にＣｕまたはＣｕ合金を用いたプラスチック
モールド用リードフレーム材が提案（特開昭６２−１３
６０５９号公報）されている。しかし、このリードフレ
ーム材を安価に提供する製造方法は提案されていなかっ
た。

発明の目的 この発明は、Ｓｉチップ載置部にＮｉ−Ｆｅ系合金τ、
それ以外の部分にＣｕまたはＣｕ合金を用いたリードフ
レーム旧に用いられるクラッド板を１氏コストで、かつ
能率良く製造する方法を提供することを目的としている
。

発明の概要 この発明は、 ＣｕまたはＣｕ合金からなる基板の少なくとも１主面の
中央部の長手方向に、 被着利科のＮｉ３０〜５０％含有Ｆｅ合合板の断面寸法
にほぼ等しい大きさの溝部を機械加工またはロール加工
等により、連続的にまたは非連続的に形成し、 その後、前記溝部内に被着月料のＮｉ３０〜５０％含有
Ｆｅ合金板を挿入して冷間圧接し。

さらに、６００℃〜１０５０℃に加熱して拡散焼鈍する
ことを特徴とするプラスチックモールド用クラッド板の
製造方法である。

この発明にて得られたクラッド板は、これを所要寸法に
打抜加工、あるいはエツチング加工してリードフレーム
材を得ることができる。

例えば、前ｊ己被着材料が連続的に基板に配設された縞
状クラッド板の場合は、被着材料にり・１して直角方向
に２方向に多数のリードビンをとるＤＩＰ（ｄｕａｌ　
１ｎｌｉｎｅ　ｐａｃｋａｇｅ　）用のリードフレーム
材を得ることができる。

また、非連続的に被着材料を配設した島状クラッド板か
らは、被着材料に対して直角方向に４方向に多数のり−
ドピンをとるＱＦＰ（ｑｕａｄ　ｆｌａｔｐａｃｋａｇ
ｅ　）用のリードフレーム材を得ることができる。

発明の構成 この発明において、破着イ］料をＮｉ３０〜５０％含有
Ｆｅａ金とするのは、Ｎｉ３０％未満では熱膨張係数が
大きくなり、また、Ｎｉ５０％を超えるとやはり同様で
、Ｓｉチップの熱膨張との差が大きくなるためであり、
好ましいＮｉ−Ｆｅ合金は、４２％Ｎ１−Ｆｅ合金であ
る。

また、基板表面に形成される溝部寸法は、被着月科の断
面寸法にほぼ等しいことが好ましい。

冷間圧延時の圧下率は３０％〜７０％、好ましくは５０
％〜６０％である。

また、拡散焼鈍条件としては、 ６００　”（、’〜］０５０℃に１分〜６０分が好まし
く、６００”Ｃ未満では接合が不十分であり、１０５０
’Ｃを超えると、Ｃｕが溶けるので好ましくない。

この発明によるクラッド板は、打抜加工してリードフレ
ーム材を得る場合、基板表面に被着する異材質による打
抜歪発生を防止するため、被着材料は基板の両面に被着
することが好ましい。

発明の効果 この発明の製造方法により、ＤＩＰ、　ＱＦＰ用リーす
フレーム材に最適の縞クラッド板を効率よく安価に製造
することができる。

また、この発明によるクラッド板は、基板のＣｕまたは
Ｃｕ合会合板プラスチックとの熱膨張係数差が、従来用
いられた４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金に比し、小さいため、熱
歪が少なく、温度によるプラスチックとの密着性の変化
が小さく、さらに、熱伝導率も良好のため熱放敗性も大
きい利点があり、また、Ｓｉチップの載１４部となるＮ
ｉ３０〜５０％含有Ｆｅ合金は、Ｓｉチップとの熱膨張
係数が近似し、めっき性も良好なため、理想的なリード
フレーム材を得ることができる。

図面に基づ〈発明の開示 第１図はこの発明の製造方法を示す合金帯の長手方向の
工程説明図である。ここでは被着材料が連続的に基板に
配設された縞状のクラッド板の場合について説明する。

第１図において、まず、巻戻したＣｕ合金帯（１）の両
面の中央部に、被着材料の断面とほぼ同一の寸法溝部を
加工ロール（２）にて圧延加工するか、あるいは図示し
ないが、機械加工して形成する。

その後、加熱炉（３）にて還元雰囲気中で焼鈍し、前記
合金帯表面の清浄化処理を施す。

さらに、冷間圧接すべき被着旧料の被着予定部分を′ツ
イヤブラシ（４）にてｒｒｒ［摩して清浄化する。

溝清浄後、被着利科の３０〜５０％Ｎｉ含有Ｆｅ合金板
（５）を舟戻しながら前記溝部内に挿入し、圧接ロール
（６）にて冷間圧延して接合を完了する。

そ［−で、加熱炉（７）に′Ｃ１６００”Ｃ〜１０５０
”Ｃの温度範囲で拡散焼鈍を行い、Ｃｕ合金帯（１）の
両面の中央部の１そ手方向に前記Ｎｉ−Ｆｅ合金板の接
合を完全にし′Ｃ縞状のクラッド板（８）得る。

また、さらに、得られたクラッド板を所要の；１法、形
状に調整するため、少なくとも１回の冷間圧延を施し、
その後、クラッド板内に不均一に残存する内部歪を除去
するため、８００℃以下で熱処理したり、８００℃以下
で加熱しながら、縞状クランド仮に張力を付り、して、
矯正を行うこともできる。

実施例 板厚０．８ｍｍＸ幅４０ｍｍのＣｕ合金板を巻戻しなが
ら、所要凸状を有する加工ロールによる圧延で、前記Ｃ
ｕ合金板両面の中央部に被着材料の４２％Ｎｉ−Ｆｅ合
金板の断面寸法に近似する溝寸法０．１５ｍｍＸ　１５
．５ｍｍの溝形成を行った。

その後、還元雰囲気中で焼鈍後、表面を清浄化処理した
。

次に、前記Ｃｕ合金板の溝部に、板厚０．］、５ｍｍＸ
輻１５ｍｒｎの４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金を巻戻しながら挿
入し、圧接ロールにより、圧下率６０％にて冷間圧接を
行く）な。

その後、雰囲気Ｈ２ガスまたはＦｒ２十Ｎ２混合ガス中
にて、１０００℃、３分の拡散焼鈍を行い、縞状クラッ
ド板を得た。

この発明による縞クラッド板は、Ｃｕ基板−４Ｌに４２
％Ｎｉ−Ｆｅ合金を圧接するが、その圧接部（Ｎ７．の
熱膨張係数は２０℃〜３００Ｃの範囲内で、８．０〜１
１．０ｘｌＯ−６であり、Ｃｕ基４反は１６〜１８ｘｌ
Ｏ−６であった。

一方、Ｓｉチップの熱膨張係数は９〜ｌ１ｘｌＯ−６、
プラス千ツクの熱膨張係数は１６〜１．８ｘｌＯ−６で
アＦ）、この発明の製造方法による”縞状クラッド板を
用いることにより、特性のすぐれたリードフレーム材が
７１られることか明らかである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の製造方法を示す合金帯の長Ｔノｊ向
の工程説明図である。 ｌ・・Ｃｕ合金）ｉｒ、２・・・加工ロール、３・・・
加熱炉、４・・ワイー′フラジ、５・・・３０〜５０％
Ｎｉ含有Ｆｅ合金板、６山圧接ロール、７・・・加熱炉
、８山クラッド板。 第１コ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ＣｕまたはＣｕ合金からなる基板の少なくとも１主面の
   中央部の長手方向に、被着材料のＮｉ３０〜５０％含有
   Ｆｅ合金板の断面寸法にほぼ等しい溝部を連続的または
   非連続的に形成し、その後、前記溝部に前記被着材料を
   挿入して冷間圧接し、さらに、拡散焼鈍することを特徴
   とするプラスチックモールド用クラッド板の製造方法。