JPH02110517A - 固体表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は光学セラミックスシャッタを用いたクロストー
クのない固体表示装置に関するものである。

「従来の技術」 近年、ＰＬＺＴ（例えば（Ｐ　ｂｏ−ｑｌＬａａ、ｏｑ
）＜７−ｒａ−６”ｌ０ＨＩＫ）。＋ｇ７７Ｓ○、）を
用いた光シャッタやデイスプレィの研究開発が盛んにな
ってきた。このＰＬ　Ｚ　Ｔをライトバルブとして用い
たイメージプロジェクタ−は高輝度、高精細化が期待さ
れているが、その電極構造が問題となっていた。

本出願人は第５図（ａ）（ｂ）に示すような全く新しい
製造方法により作られた光学セラミックスシャッタをす
でに提案した。この光学セラミックスシャッタ（１０）
は厚さが約１　、０ｍｍの透明なＬ）　Ｌ　Ｚ　Ｔセラ
ミツタプレート（以下ＰＬＺＴプレートという）（１１
）に、光軸（光線の入射する方向）と平行な垂直走査内
部電極群（１２）・・・と、水平走査内部電極群（］３
）・・・が一定間隔で埋設されており、これらのうち垂
直走査内部電極群（１２）・・・は外部５ｂｉｏ４）・
・・を介して垂直端子（１５）・・・に結合され、前記
水平走査内部電極群（１３）・・・は直接、水平端子（
１６）・・・に結合されている。そして、水平走査内部
電極（１３）とその両側の垂直走査内部電極（１２）　
（１２）で囲まれた部分が１つの画素（１７）・・・を
構成している。

この光学セラミックスシャッタ（１０）の製造方法を第
６図の製造工程と第７図のフローチャートにより説明す
る。

（１）硝酸鉛（Ｐｂ（Ｎｏ３）２）溶液、硝酸ランタン
鉛（Ｌａ（Ｎｏ、）、）溶液、硝酸ジルコニウム（Ｚｒ
（Ｎ。

、）２）溶液、チタンアルコキシド（’ｌ’　１（ｎ−
ｏ　−Ｃ４Ｈ９）４）溶液を所定の割合で混合する。例
えばＰＬＺＴ　（９／６５／３５）すなわちＰ　ｂｏ＋
ｑｘ　Ｌａ、、ｏｇＺｒｏｔｓｓ　”ｒｉｏ。

１．Ｏｌとなるように各溶液の割合を予め設定して混合
する。このとき、ｐＨ調整のためＮＨ４ＯＨを混合して
約１時間混合する。

（２）混合した後、静止すると微粒子が共沈するので、
これを濾紙にて濾過する。このとき、沈澱物は水酸化物
となるので脱イオン水で洗浄しながら濾過する。

（３）微粒子を約１２０℃で約５時間乾燥した後、ポリ
エチレンポットにジルコニアボールとアセトンを入れて
ボールミルで約２０時間撹拌し、これをフィルターで濾
過し、再度約１２０℃で約５時間乾燥する。

（４）乾燥した微粉末を高純度（９９，５％以上）のア
ルミナのるつぼに入れて約８００℃で約２時間仮焼成す
る。

（５）再び前記（３）の工程を繰返えす。すると、ＰＴ
、ＺＴの粉末が得られる。このときの粉末の特性は、比
重７．８　ｇ　／ｃ１１．１次粒子径（最小径）約０．
１μＩＩ＋、２次粒子径（最大径）約０．９２μｍ、比
表面積約８．４ｍ／ｇであった。

（６）ＰＬＺＴの共沈粉末に、有機バインダ（ポリビニ
ルブチラール）、可塑剤（ジブチルフタレート）、有機
溶剤（メチルエチルケトンとトルエンの５０％ずつの混
合液）を加え、ボールミルで撹拌し、スラリー状物を作
る。これを真空脱泡器で溶剤を除去し、粘度１０　、０
００−３０　、０ＯＯｃ　、　ｐ、とする。

（７）この人ラリー状物を第６図の（ａ）に示すように
、約８０℃の雰囲気中を３０国／ｎ＋ｉｎ程度で移動す
るテープ（１８）上にドクターブレードシート成型機を
用いてＰＬＺＴのグリーンシート（生シート）（１９）
を形成する。このときの生シート（１９）は厚さ約１４
０Ｐｍ、比誘電率約４８００の特性を有するものが得ら
れる。

（８）第６図（ｂ）に示すように、生シート（１９）を
フィルム（１８）付きのまま所定の大きさの正４角形に
型抜きする。そして第６図（ｃ）に示すように白金）Ｖ
膜ペーストで電極を印刷する。このとき、生シート（１
９）の４隅には位置合せ孔（１９ｃ）を穿設するととも
に、左上隅の１個所にブランキング目印（１９ｄ）をつ
ける。そして、第６図（ｄ）に示すようにこの目印（１
９ｄ）が左上に位置したものを垂直走査内部’ａ　ｈｌ
Ａ　（１２）　トＬ、、また、生シート（１９）を９０
度回転して右上隅に位置したものを水平走査内部電極（
１３）とする。

（９）これら垂直走査内部電極（１２）を印刷した生シ
ート（１９ａ）と水平走査内部電極（１３）を印刷した
生シート（１９ｂ）を、テープ（１８）を剥して交互に
積層し、約７０℃、約３０００ｐｓｉで約３０分間熱圧
着し、さらに５００〜６００℃で数時間加熱し、バイン
ダを除去しながら雰囲気焼結する。すると、第６図（ｅ
）のような積層型１）　Ｌ　Ｚ　Ｔ　（２２）が゛形成
される。

（１０）コノ積層型Ｐ　Ｌ　Ｚ　Ｔ　（２２）を第６図
（ｆ）＋７）ようにダイヤモンドブレードで厚さ約１．
０閣に切断してプレートを形成する。このとき、水平走
査内部電極（１３）が略中央で切断される位置で切断し
て一端面を露出させる。この切断されたプレートの両面
を鏡面に研磨し、さらに、垂直走査内部電極（１２）・
・・に外部電極（１４）をできるだけ細く導電性接着剤
で形成し、最後に、垂直端子（１５）と水平端子（１６
）を接ネ）ｌする。

「発明が解決しようとする課題」 以上のようにして構成された光学セラミックスシャッタ
（１０）は本質的にクロストークの少ないものであるが
、依然として若干のクロストークが残る。例えば第３図
（ａ）において、各画素（１７）？。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ＰＬＺＴの光学セラミックスプレートの内部に垂
   直走査内部電極群と水平走査内部電極群を埋設してなる
   ものにおいて、前記垂直走査内部電極と前記水平走査内
   部電極とを方向性を有する半導体で分離してなることを
   特徴とする固体表示装置。
2. （２）水平走査内部電極の両面を方向性を有する半導体
   膜で被膜してなる請求項（１）記載の固体表示装置。
3. （３）方向性を有する半導体はＭＳ接合ダイオードを形
   成してなる請求項（１）または（２）記載の固体表示装
   置。