JPH0448363B2 - - Google Patents
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- JPH0448363B2 JPH0448363B2 JP63180941A JP18094188A JPH0448363B2 JP H0448363 B2 JPH0448363 B2 JP H0448363B2 JP 63180941 A JP63180941 A JP 63180941A JP 18094188 A JP18094188 A JP 18094188A JP H0448363 B2 JPH0448363 B2 JP H0448363B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plzt
- electrode
- display device
- state display
- solid
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は光変調器、プロジエクシヨンTV等に
用いられる固体表示装置の製造方法およびプロジ
エクシヨンシステムに関するものである。
用いられる固体表示装置の製造方法およびプロジ
エクシヨンシステムに関するものである。
「従来の技術」
近年、PLZT（例えばPb0.91La0.09）（Zr0.65
Ti0.35）0.9775O3）を用いた光シヤツタやデイスプ
レイの研究開発が盛んになつてきた。このPLZT
をライトバルブとして用いたイメージプロジエク
ターは高輝度、高精細化が期待されているが、そ
の電極構造が問題となつていた。
Ti0.35）0.9775O3）を用いた光シヤツタやデイスプ
レイの研究開発が盛んになつてきた。このPLZT
をライトバルブとして用いたイメージプロジエク
ターは高輝度、高精細化が期待されているが、そ
の電極構造が問題となつていた。
一般に、PLZTのプレートを形成するには、第
６図に示すように、PbO，La2O3，ZrO2，TiO2
の各粉末を出発原料として混合し、仮焼結した
後、粉砕してPLZT粉末を得、これに圧力をかけ
ながら特殊な炉で焼成してPLZTプレートまたは
ウエハーを形成する。このようなPLZTプレート
またはウエハーに電極を形成する方法として、第
７図に示すように、平板状のPLZT１の表面に電
極２，３を形成する表面電極法と、第８図に示す
ように、PLZTのウエハー１を作成し、これを
200μｍ程度にカツトし、両面に電極２，３を形
成し、これをガラス基板４上に固着し、ワイヤリ
ング板からなるリード線５を銀接着剤６で取り付
ける平行板電極法があつた。
６図に示すように、PbO，La2O3，ZrO2，TiO2
の各粉末を出発原料として混合し、仮焼結した
後、粉砕してPLZT粉末を得、これに圧力をかけ
ながら特殊な炉で焼成してPLZTプレートまたは
ウエハーを形成する。このようなPLZTプレート
またはウエハーに電極を形成する方法として、第
７図に示すように、平板状のPLZT１の表面に電
極２，３を形成する表面電極法と、第８図に示す
ように、PLZTのウエハー１を作成し、これを
200μｍ程度にカツトし、両面に電極２，３を形
成し、これをガラス基板４上に固着し、ワイヤリ
ング板からなるリード線５を銀接着剤６で取り付
ける平行板電極法があつた。
「発明が解決しようとする課題」
表面電極法は加工が比較的単純であるが、
PLZT内部の電界分布が不均一になつてクロスト
ークやコントラストの低下が生じるという問題が
あつた。
PLZT内部の電界分布が不均一になつてクロスト
ークやコントラストの低下が生じるという問題が
あつた。
平行板電極法は加工工程が複雑でしかも高い加
工精度が要求されるという問題があつた。
工精度が要求されるという問題があつた。
本発明は電極をPLZTの内部に埋設した内部電
極型とし、かつ電界が均一になり、作製が容易な
ものを得ることを目的とするものである。
極型とし、かつ電界が均一になり、作製が容易な
ものを得ることを目的とするものである。
「課題を解決するための手段」
本発明はPbO，La2O3，ZrO2，TiO2の各粉末
を混合し、仮焼結した後、粉砕してPLZT粉末と
し、これに圧力をかけながら焼成して透明な
PLZT焼結体を得、これを短冊状に切断し、上下
面を光学研摩した光透過面とし、両側面を電極面
とし、この電極面の一方の面に複数個に分割した
垂直電極パターンを、他方の面に一連の水平電極
パターンを形成し、垂直電極パターン同士、水平
電極パターン同士が互いに接合するように重合
し、前記光透過面に、前記垂直電極を各行毎に短
絡するできるだけ細い外部電極を形成してなる固
体表示装置の製造方法である。
を混合し、仮焼結した後、粉砕してPLZT粉末と
し、これに圧力をかけながら焼成して透明な
PLZT焼結体を得、これを短冊状に切断し、上下
面を光学研摩した光透過面とし、両側面を電極面
とし、この電極面の一方の面に複数個に分割した
垂直電極パターンを、他方の面に一連の水平電極
パターンを形成し、垂直電極パターン同士、水平
電極パターン同士が互いに接合するように重合
し、前記光透過面に、前記垂直電極を各行毎に短
絡するできるだけ細い外部電極を形成してなる固
体表示装置の製造方法である。
「実施例」
以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明す
る。
る。
第１図は本発明の製造方法により作られた固体
表示装置で、この固体表示装置１０は厚さが例え
ば1.5または2.0mmの透明なPLZTセラミツクプレ
ート（以下PLZTプレートという）１１に、光軸
（光線の入射する方向）と平行な垂直走査内部電
極群１２……と、水平走査内部電極群１３……が
一定間隔で埋設されており、これらのうち垂直走
査内部電極群１２……は外部電極１４……を介し
て端子１５……に結合され、前記水平走査内部電
極群１３……は直接端子１６……に結合されてい
る。そして、水平走査内部電極１３とその両側の
垂直走査内部電極１２，１２で囲まれた部分が１
つの画素１７……を構成している。
表示装置で、この固体表示装置１０は厚さが例え
ば1.5または2.0mmの透明なPLZTセラミツクプレ
ート（以下PLZTプレートという）１１に、光軸
（光線の入射する方向）と平行な垂直走査内部電
極群１２……と、水平走査内部電極群１３……が
一定間隔で埋設されており、これらのうち垂直走
査内部電極群１２……は外部電極１４……を介し
て端子１５……に結合され、前記水平走査内部電
極群１３……は直接端子１６……に結合されてい
る。そして、水平走査内部電極１３とその両側の
垂直走査内部電極１２，１２で囲まれた部分が１
つの画素１７……を構成している。
つぎに製造方法を第２図により説明する。
(1) 従来公知の方法により第２図ａに示すような
PLZTプレート焼結体１８を作る。なお、この
PLZTプレート焼結体１８は後述のように共沈
法による粉末を常圧で焼成したものであつても
よい。
PLZTプレート焼結体１８を作る。なお、この
PLZTプレート焼結体１８は後述のように共沈
法による粉末を常圧で焼成したものであつても
よい。
(2) このPLZTプレート１８の両面を光学研摩し
て上下面を光透過面１９ａ，１９ｂとする。こ
のときの厚さｔが例えば1.5〜2.0mmとする。
て上下面を光透過面１９ａ，１９ｂとする。こ
のときの厚さｔが例えば1.5〜2.0mmとする。
(3) 得られたPLZTプレート１８を例えば長さｌ
が40mm、巾ｄが1.0または0.8mmの短冊状に切断
して各ピース２０……の切断面を粗研摩して、
両側面を電極面１９ｃ，１９ｄとする。
が40mm、巾ｄが1.0または0.8mmの短冊状に切断
して各ピース２０……の切断面を粗研摩して、
両側面を電極面１９ｃ，１９ｄとする。
(4) 電極面１９ｃ，１９ｄのうち、一方の面１９
ｃが上になるようにして第２図ｃのように並
べ、ガラスなどの位置合せダミーピース２１
ａ，２１ｂ，２１ｃで押圧しながら固定する。
ｃが上になるようにして第２図ｃのように並
べ、ガラスなどの位置合せダミーピース２１
ａ，２１ｂ，２１ｃで押圧しながら固定する。
(5) 第２図ｆのような複数の垂直電極１２，１２
……を形成するため、第２図ｄのように長さ方
向と直交して一定間隔でマスキングテープ２２
ａでマスクする。例えばマスキングテープ２２
ａの巾を0.8mm、電極面を2.2mmとする。そして
Agペーストを塗布し、充分乾燥（100℃で10分
間）すると垂直電極１２，１２……となる。
……を形成するため、第２図ｄのように長さ方
向と直交して一定間隔でマスキングテープ２２
ａでマスクする。例えばマスキングテープ２２
ａの巾を0.8mm、電極面を2.2mmとする。そして
Agペーストを塗布し、充分乾燥（100℃で10分
間）すると垂直電極１２，１２……となる。
(6) 第２図ｇのような１本づつの水平電極１３，
１３……を形成するため第２図ｅのように、長
さ方向と平行で、かつ相隣る接合部が同じ巾
（例えば0.5mm）ずつ１行おきにマスキングされ
るように巾1.0mmのマスキングテープ２２ｂで
マスクする。そしてAgペーストを塗布し、充
分乾燥すると水平電極１３，１３……となる。
１３……を形成するため第２図ｅのように、長
さ方向と平行で、かつ相隣る接合部が同じ巾
（例えば0.5mm）ずつ１行おきにマスキングされ
るように巾1.0mmのマスキングテープ２２ｂで
マスクする。そしてAgペーストを塗布し、充
分乾燥すると水平電極１３，１３……となる。
(7) 以上のようにして一方の面１９ｃに第２図ｆ
に示すような垂直電極１２……が形成され、他
方の面１９ｄに第２図ｇに示すような水平電極
１３……が形成される。
に示すような垂直電極１２……が形成され、他
方の面１９ｄに第２図ｇに示すような水平電極
１３……が形成される。
(8) 以上のような１個１個のピース２０，２０…
…を重ね合せる。このとき、第２図ｈに示すよ
うに、垂直電極１２，１２同士、水平電極１
３，１３同士が互いに向き合うようにして炉内
で400℃で乾燥する。
…を重ね合せる。このとき、第２図ｈに示すよ
うに、垂直電極１２，１２同士、水平電極１
３，１３同士が互いに向き合うようにして炉内
で400℃で乾燥する。
(9) 400℃で約30分間の乾燥後、第２図ｉのよう
にPLZTからなる２個の上下のダミーピース２
４ａ，２４ｂで重合したピース群２０……をは
さみ、ジルコニアプレート２５上に前記ダミー
ピース２４ａ，２４ｂを接着し、さらに左右の
ダミーピース２４ｃ，２４ｄで押圧してこのダ
ミーピース２４ｃ，２４ｄも接着する。そして
750℃の炉内で約30分間焼成する。
にPLZTからなる２個の上下のダミーピース２
４ａ，２４ｂで重合したピース群２０……をは
さみ、ジルコニアプレート２５上に前記ダミー
ピース２４ａ，２４ｂを接着し、さらに左右の
ダミーピース２４ｃ，２４ｄで押圧してこのダ
ミーピース２４ｃ，２４ｄも接着する。そして
750℃の炉内で約30分間焼成する。
(10) このようにして一体化された積層PLZT１０
の上下面をダイモンドペーストで軽く研摩し、
アルコールで超音波洗浄する。
の上下面をダイモンドペーストで軽く研摩し、
アルコールで超音波洗浄する。
(11)ｊのように、同一列の垂直電極１２……を例
えば0.4mm巾の外部電極１４で短絡する。この
とき、マスキングテープ２２ｃでマスクする。
また、この外部電極１４を形成するのは水平電
極１３……が表面に露出していない面とする。
外部電極１４にはコンダクテイブペーストが用
いられ、50℃の24時間または400℃の５時間恒
温槽にて形成する。
えば0.4mm巾の外部電極１４で短絡する。この
とき、マスキングテープ２２ｃでマスクする。
また、この外部電極１４を形成するのは水平電
極１３……が表面に露出していない面とする。
外部電極１４にはコンダクテイブペーストが用
いられ、50℃の24時間または400℃の５時間恒
温槽にて形成する。
(12) 第２図ｋに示すように、各垂直電極１２…
…に垂直端子１５……を接続する。このとき、
スライドガラスをダミーピース２７ａとしてホ
ルダー２６に固定し、このダミーピース２７ａ
上に、コンダクテイブペーストと導電性ラツカ
ーでランド２８ａを形成し、垂直端子１５を接
続する。
…に垂直端子１５……を接続する。このとき、
スライドガラスをダミーピース２７ａとしてホ
ルダー２６に固定し、このダミーピース２７ａ
上に、コンダクテイブペーストと導電性ラツカ
ーでランド２８ａを形成し、垂直端子１５を接
続する。
(13) 第２図ｌに示すように、各水平電極１３…
…についても第２図ｋと同様にランド２８ｂに
水平端子１６……を接続する。
…についても第２図ｋと同様にランド２８ｂに
水平端子１６……を接続する。
(14) 以上のようにして第２図ｍおよび第１図
ａ，ｂに示すような素子１０が得られる。
ａ，ｂに示すような素子１０が得られる。
以上のようにして構成されたPLZTの固体表示
装置をプロジエクシヨンシステムに応用した例が
第３図に示される。この第３図において、２９は
キセノンランプの光源、３０，３１はブルー反射
のダイクロイツクミラー、３２はグリーン反射の
ダイクロイツクミラー、３３はレツド反射のダイ
クロイツクミラー、３４，３５，３６は全反射ミ
ラー、３７はプロジエクシヨンレンズ、３８はス
クリーンである。このような構成において、ブル
ー、グリーン、レツドの各径路中にそれぞれ前記
積層型PLZTからなる固体表示装置１０，１０，
１０を配置する。そして、各固体表示装置１０，
１０，１０の垂直走査内部電極１２……と水平走
査内部電極１３……で構成される各画素１７……
毎に電圧を変化させることによりマトリツクスラ
イトバルブとして作用する。
装置をプロジエクシヨンシステムに応用した例が
第３図に示される。この第３図において、２９は
キセノンランプの光源、３０，３１はブルー反射
のダイクロイツクミラー、３２はグリーン反射の
ダイクロイツクミラー、３３はレツド反射のダイ
クロイツクミラー、３４，３５，３６は全反射ミ
ラー、３７はプロジエクシヨンレンズ、３８はス
クリーンである。このような構成において、ブル
ー、グリーン、レツドの各径路中にそれぞれ前記
積層型PLZTからなる固体表示装置１０，１０，
１０を配置する。そして、各固体表示装置１０，
１０，１０の垂直走査内部電極１２……と水平走
査内部電極１３……で構成される各画素１７……
毎に電圧を変化させることによりマトリツクスラ
イトバルブとして作用する。
前記実施例ではPLZTプレートは、予め得られ
た４種類の粉末を用いて加圧焼成してなる公知の
方法によるものを利用したが、これに限られるも
のではなく、以下に説明するような共沈法により
形成したものを利用することもできる。
た４種類の粉末を用いて加圧焼成してなる公知の
方法によるものを利用したが、これに限られるも
のではなく、以下に説明するような共沈法により
形成したものを利用することもできる。
共沈法によるPLZTプレートの製造方法を説明
すると、 硝酸鉛（Pb（NO3）2）溶液、硝酸ランタン鉛
（La（（NO3）3）溶液、硝酸ジルコニウム（Zr
（NO3）2）溶液，チタンアルコキシド（Ti（ｎ−
ｏ−C4H9）4）溶液を所定の割合で混合する。例
えばPLZT（９／65／35）すなわちPb0.91La0.09
Zr0.65Ti0.35O3となるように各溶液の割合を予め設
定して混合する。このとき、PH調整のためNH4
OHを混合して約１時間混合する。混合した後、
静止すると微粒子が共沈するので、これを紙に
て過する。このとき、沈澱物は水酸化物となる
ので脱イオン水で洗浄しながら過する。微粒子
を約120℃で約５時間乾燥した後、ポリエチレン
ポツトにジルコニアボールとアセトンを入れてボ
ールミルで約20時間攪拌し、これをフイルターで
過し、再度約120℃で約５時間乾燥する。乾燥
した微粉末を高純度（99.5％以上）のアルミナの
るつぼに入れて約800℃で約２時間仮焼成する。
再び前記アセトンを入れボールミルで攪拌過し
乾燥するという工程を繰返えす。すると、PLZT
の粉末が得られる。このときの粉末の特性は、比
重7.8ｇ／cm3、１次粒子径（最小径）約0.1μｍ、
２次粒子径（最大径）約0.92μｍ、比表面積約8.4
m2／ｇであつた。
すると、 硝酸鉛（Pb（NO3）2）溶液、硝酸ランタン鉛
（La（（NO3）3）溶液、硝酸ジルコニウム（Zr
（NO3）2）溶液，チタンアルコキシド（Ti（ｎ−
ｏ−C4H9）4）溶液を所定の割合で混合する。例
えばPLZT（９／65／35）すなわちPb0.91La0.09
Zr0.65Ti0.35O3となるように各溶液の割合を予め設
定して混合する。このとき、PH調整のためNH4
OHを混合して約１時間混合する。混合した後、
静止すると微粒子が共沈するので、これを紙に
て過する。このとき、沈澱物は水酸化物となる
ので脱イオン水で洗浄しながら過する。微粒子
を約120℃で約５時間乾燥した後、ポリエチレン
ポツトにジルコニアボールとアセトンを入れてボ
ールミルで約20時間攪拌し、これをフイルターで
過し、再度約120℃で約５時間乾燥する。乾燥
した微粉末を高純度（99.5％以上）のアルミナの
るつぼに入れて約800℃で約２時間仮焼成する。
再び前記アセトンを入れボールミルで攪拌過し
乾燥するという工程を繰返えす。すると、PLZT
の粉末が得られる。このときの粉末の特性は、比
重7.8ｇ／cm3、１次粒子径（最小径）約0.1μｍ、
２次粒子径（最大径）約0.92μｍ、比表面積約8.4
m2／ｇであつた。
PLZTの共沈粉末に、有機バインダ（ポリビニ
ルブチラール）、可塑剤（ジブチルフタレート）、
有機溶剤（メチルエチルケトンとトルエンの50％
ずつの混合液）を加え、ボールミルで攪拌し、ス
ラリー状物を作る。これを真空脱泡器で溶剤を除
去し、粘度10000〜30000c.pとする。このスラリ
ー状物を約80℃の雰囲気中を30cm／min程度で囲
動するテープ上にドクターブレードシート成型機
を用いて所定厚さのPLZTのグリーンシート（生
シート）を形成する。この生シートを加熱しバイ
ンダを除去しながら雰囲気焼成してPLZT焼結体
を得る。
ルブチラール）、可塑剤（ジブチルフタレート）、
有機溶剤（メチルエチルケトンとトルエンの50％
ずつの混合液）を加え、ボールミルで攪拌し、ス
ラリー状物を作る。これを真空脱泡器で溶剤を除
去し、粘度10000〜30000c.pとする。このスラリ
ー状物を約80℃の雰囲気中を30cm／min程度で囲
動するテープ上にドクターブレードシート成型機
を用いて所定厚さのPLZTのグリーンシート（生
シート）を形成する。この生シートを加熱しバイ
ンダを除去しながら雰囲気焼成してPLZT焼結体
を得る。
「発明の効果」
(1) 走査電極間の印加電圧の変化に対し、光強度
が第４図のように略直線的に変化する特性が得
られ、光の制御が容易かつ精密になる。
が第４図のように略直線的に変化する特性が得
られ、光の制御が容易かつ精密になる。
(2) 走査電極への駆動電圧の立上りと下立りに対
して光強度の変化のレスポンスが第５図に示す
ように10μsecと極めて早い。
して光強度の変化のレスポンスが第５図に示す
ように10μsecと極めて早い。
(3) 光軸に対し、走査電極の方向が一致している
ので走査電極によつて透過光量がほとんど妨げ
られることがない。
ので走査電極によつて透過光量がほとんど妨げ
られることがない。
(4) 電界分布が均一になるので、クロストークや
コントラストの低下がほとんどない。
コントラストの低下がほとんどない。
(5) 短冊状ピースの積層によつて形成するので、
同一品質のものが多数、しかも簡単に製造でき
る。
同一品質のものが多数、しかも簡単に製造でき
る。
第１図は本発明による固体表示装置の一実施例
を示すもので、ａは正面図、ｂは側面図、第２図
ａ〜ｌは製造工程の説明図、第３図は本発明装置
を用いたプロジエクシヨンシステムの説明図、第
４図は印加電圧−光強度特性図、第５図はレスポ
ンスの特性図、第６図は従来品の製造工程のフロ
ーチヤート、第７図は従来品の斜視図、第８図は
他の従来品の製造工程の説明図である。 １……従来のPLZTプレート、２，３……電
極、４……ガラス基板、５……リード線、６……
銀接着剤、１０……固体表示装置、１１……本発
明によるPLZTプレート、１２……垂直走査内部
電極、１３……水平走査内部電極、１４……外部
電極、１５，１６……端子、１７……画素、１８
……PLZT焼結体、１９ａ，１９ｂ……光透過
面、１９ｃ，１９ｄ……電極面、２０……ピー
ス、２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ……ダミー
ピース、２２ａ，２２ｂ，２２ｃ……マスキング
テープ，２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ……ダ
ミーピース、２６……ホルダー、２７ａ，２７ｂ
……ダミーピース、２８ａ，２８ｂ，２９……光
源、３０，３１……ブルー反射ダイクロイツクミ
ラー、３２……グリーン反射ダイクロイツクミラ
ー、３３……レツド反射ダイクロイツクミラー、
３４，３５，３６……全反射ミラー、３７……プ
ロジエクシヨンレンズ、３８……スクリーン。
を示すもので、ａは正面図、ｂは側面図、第２図
ａ〜ｌは製造工程の説明図、第３図は本発明装置
を用いたプロジエクシヨンシステムの説明図、第
４図は印加電圧−光強度特性図、第５図はレスポ
ンスの特性図、第６図は従来品の製造工程のフロ
ーチヤート、第７図は従来品の斜視図、第８図は
他の従来品の製造工程の説明図である。 １……従来のPLZTプレート、２，３……電
極、４……ガラス基板、５……リード線、６……
銀接着剤、１０……固体表示装置、１１……本発
明によるPLZTプレート、１２……垂直走査内部
電極、１３……水平走査内部電極、１４……外部
電極、１５，１６……端子、１７……画素、１８
……PLZT焼結体、１９ａ，１９ｂ……光透過
面、１９ｃ，１９ｄ……電極面、２０……ピー
ス、２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ……ダミー
ピース、２２ａ，２２ｂ，２２ｃ……マスキング
テープ，２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ……ダ
ミーピース、２６……ホルダー、２７ａ，２７ｂ
……ダミーピース、２８ａ，２８ｂ，２９……光
源、３０，３１……ブルー反射ダイクロイツクミ
ラー、３２……グリーン反射ダイクロイツクミラ
ー、３３……レツド反射ダイクロイツクミラー、
３４，３５，３６……全反射ミラー、３７……プ
ロジエクシヨンレンズ、３８……スクリーン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ PbO，La2O3，ZrO2，TiO2の各粉末を混合
焼成して透明なPLZT焼結体を得、これを短冊状
に切断し、上下面を光学研摩した光透過面とし、
両側面を電極面とし、この電極面の一方の面に複
数個に分割した垂直電極パターンを、他方の面に
一連の水平電極パターンを形成し、垂直電極パタ
ーン同士、水平電極パターン同士が互いに接合す
るように重合し、前記光透過面に、前記垂直電極
を各行毎に短絡するできるだけ細い外部電極を形
成してなることを特徴とする固体表示装置の製造
方法。 ２ PLZT焼結体はPbO，La2O3，ZrO2，TiO2
の各粉末を混合し、仮焼結した後、粉砕して
PLZT粉末を得、これに圧力をかけながら焼成し
たものからなる請求項１記載の固体表示装置の製
造方法。 ３ PLZT焼結体は共沈法により得られたPLZT
の共沈粉末を用いて加熱焼結したものからなる請
求項１記載の固体表示装置の製造方法。 ４ ブルー光線径路、グリーン光線径路、レツド
光線径路にそれぞれ積層PLZTを介在させた後プ
ロジエクシヨンレンズ系へ供給するようにしたプ
ロジエクシヨンシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63180941A JPH0229717A (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | 固体表示装置の製造方法およびその装置を用いたプロジェクションシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63180941A JPH0229717A (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | 固体表示装置の製造方法およびその装置を用いたプロジェクションシステム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0229717A JPH0229717A (ja) | 1990-01-31 |
| JPH0448363B2 true JPH0448363B2 (ja) | 1992-08-06 |
Family
ID=16091955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63180941A Granted JPH0229717A (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | 固体表示装置の製造方法およびその装置を用いたプロジェクションシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229717A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102728671B1 (ko) * | 2018-12-18 | 2024-11-08 | 아이피지 포토닉스 코포레이션 | 패터닝된 SrB4BO7 및 PbB4O7 결정의 제조 방법 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6325692A (ja) * | 1986-07-18 | 1988-02-03 | 松下電器産業株式会社 | カ−ソル制御装置 |
| JP2521452B2 (ja) * | 1987-01-22 | 1996-08-07 | コニカ株式会社 | 放射線画像読取装置 |
-
1988
- 1988-07-20 JP JP63180941A patent/JPH0229717A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0229717A (ja) | 1990-01-31 |
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