JPH02110814U - - Google Patents

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JPH02110814U
JPH02110814U JP1970089U JP1970089U JPH02110814U JP H02110814 U JPH02110814 U JP H02110814U JP 1970089 U JP1970089 U JP 1970089U JP 1970089 U JP1970089 U JP 1970089U JP H02110814 U JPH02110814 U JP H02110814U
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light
displacement measuring
output
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vibration
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係わる光学式変位測定器の一
実施例を示す構成図、第２図はその動作波形図、
第３図は本発明の他の実施例の動作波形図、第４
図は従来例を示す図、第５図はフオトダイオード
上での反射率むらを示す図である。 １０…レーザダイオード、１１…コリメータレ
ンズ、１２…偏光ビームスプリツタ、１３…λ／
４板、１４…対物レンズ、１５…被測定物、１７
…ビームスプリツタ、１８…集光レンズ、１９…
ピンホール、２０…ＰＺＴ、２２…フオトダイオ
ード、２４…自動利得制御回路。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 対物レンズをフオーカス方向に駆動し被測
    定物上に光スポツトを集光しその反射光の光強度
    パターンを光検出器で測定し演算処理する事によ
    り被測定物の微小変位を測定する光学式変位測定
    器において、 被測定物からの反射光を２方向に分岐するビー
    ムスプリツタと、このビームスプリツタにより分
    岐された一方の光を集光する集光レンズと、集光
    レンズを通過した光の焦点位置に設置されたピン
    ホールと、ピンホールを共振点で振動させる為の
    振動装置と、ピンホールを通過した光が入射され
    るフオトダイオードとを設けた構成とし、前記振
    動装置からの振動出力と前記フオトダイオードか
    らの出力を乗算する事によりフオーカスエラー信
    号を得る様にした事を特徴とする光学式変位測定
    器。 (2) 前記振動装置からの振動出力と前記フオト
    ダイオードからの出力を同期整流する事によりフ
    オーカスエラー信号を得るようにした事を特徴と
    する実用新案登録請求の範囲第１項記載の光学式
    変位測定器。 (3) 前記ビームスプリツタにより分岐された他
    方の光から得られる信号が入力される自動利得制
    御回路からの出力信号により前記フオーカスエラ
    ー信号を補正する様にした事を特徴とする実用新
    案登録請求の範囲第１項記載の光学式変位測定器
    。
JP1970089U 1989-02-22 1989-02-22 Pending JPH02110814U (ja)

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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS506359A (ja) * 1973-05-14 1975-01-23
JPS5111463A (en) * 1974-07-18 1976-01-29 Matsushita Electric Industrial Co Ltd Ichikenshutsusochi
JPS52107855A (en) * 1976-03-05 1977-09-09 Koito Mfg Co Ltd Noncontact type position detector
JPS58120111A (ja) * 1982-01-13 1983-07-16 Hitachi Denshi Ltd アナログ映像信号の二値化器
JPS61240113A (ja) * 1985-04-17 1986-10-25 Canon Inc 焦点調節のための信号処理装置

Patent Citations (5)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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