JPH0365909U - - Google Patents

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JPH0365909U
JPH0365909U JP12730589U JP12730589U JPH0365909U JP H0365909 U JPH0365909 U JP H0365909U JP 12730589 U JP12730589 U JP 12730589U JP 12730589 U JP12730589 U JP 12730589U JP H0365909 U JPH0365909 U JP H0365909U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係わる光学式変位測定器の信
号処理の一実施例を示す構成図、第２図は第１図
の信号処理を構成するゲイン調整回路の出力信号
を示す図、第３図は第１図の信号処理から得られ
るフオーカスエラー信号を示す図、第４図は本考
案に係わる光学式変位測定器の他の実施例を示す
構成図、第５図は第４図の装置を用いた際のスポ
ツト径と被測定物の変位量の関係を示すシユミレ
ーシヨン図、第６図は第４図の装置から得られる
フオトダイオードの出力信号を示す図、第７図は
第４図の装置から得られるフオーカスエラー信号
を示す図、第８図は従来例の構成図、第９図は第
８図の従来装置から得られるフオトダイオードの
出力信号を示す図、第１０図は第８図の従来装置
から得られるフオーカスエラー信号を示す図であ
る。 １……レーザダイオード、２……コリメータレ
ンズ、３……偏光ビームスプリツタ、４……1/4
波長板、５……対物レンズ、６……被測定物、７
……ハーフミラー、１０，１１……フオトダイオ
ード、１２，１３……ゲイン調整回路、１４……
演算回路、１５，１６……集光レンズ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 対物レンズをフオーカス方向に駆動し被測
    定物上に光スポツトを集光しその反射光の光強度
    パターンを光検出器で測定し演算処理することに
    より被測定物の微小変位を測定する光学式変位測
    定器において、 被測定物からの反射光を２方向に分岐する光学
    要素と、前記光学要素により分岐された２つの光
    をそれぞれ集光する２つの集光レンズと、前記２
    つの集光レンズの焦点前後同距離に配置され前記
    集光レンズにより集光された光がそれぞれ入射さ
    れる２つのフオトダイオードと、前記２つのフオ
    トダイオードの検出信号がそれぞれ入力されこの
    検出信号の変化の割合を等しくするための２つの
    ゲイン調整回路とを設けた構成とし、この２つの
    ゲイン調整回路の出力信号の差からフオーカスエ
    ラー信号を得るようにしたことを特徴とする光学
    式変位測定器。 (2) 前記２つの集光レンズを検出信号の変化の
    割合を等しくするための焦点距離の異なる集光レ
    ンズとし、この集光レンズにより集光された光が
    それぞれ入射される２つのフオトダイオードを前
    記２つの集光レンズの焦点前後かつ前記フオトダ
    イオードの直径とフオトダイオード上のスポツト
    径が等しくなる距離に配置した構成とし、この２
    つのフオトダイオードの検出信号の差からフオー
    カスエラー信号を得るようにしたことを特徴とす
    る光学式変位測定器。
JP12730589U 1989-10-31 1989-10-31 光学式変位測定器 Expired - Fee Related JPH084564Y2 (ja)

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JPH0365909U true JPH0365909U (ja) 1991-06-26
JPH084564Y2 JPH084564Y2 (ja) 1996-02-07

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ID=31675065

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06194125A (ja) * 1992-10-05 1994-07-15 Carl Zeiss:Fa 対物レンズの焦点から物体のずれ又は位置変化を検出する方法及び装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06194125A (ja) * 1992-10-05 1994-07-15 Carl Zeiss:Fa 対物レンズの焦点から物体のずれ又は位置変化を検出する方法及び装置

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JPH084564Y2 (ja) 1996-02-07

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