JPH02113255U - - Google Patents
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- JPH02113255U JPH02113255U JP2117489U JP2117489U JPH02113255U JP H02113255 U JPH02113255 U JP H02113255U JP 2117489 U JP2117489 U JP 2117489U JP 2117489 U JP2117489 U JP 2117489U JP H02113255 U JPH02113255 U JP H02113255U
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- Japan
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- electrode
- metal plate
- ion source
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- electrode metal
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- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 1
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- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例のイオン源チヤン
バへの設置状態の断面図、第２図はそのイオン源
電極の正面図、第３図は同じくその部分拡大断面
図、第４図は同じくその分解状態の部分断面図、
第５図および第６図は各々他の実施例の部分断面
図、第７図は従来のイオン源の部分断面図、第８
図はそのイオン源電極の正面図である。 １……電極金属板、１ａ……電極部、１ｂ……
取付フランジ部、２……イオン源チヤンバ、３…
…処理室、４……絶縁物、６，７……分割電極板
、８……冷却パイプ。
バへの設置状態の断面図、第２図はそのイオン源
電極の正面図、第３図は同じくその部分拡大断面
図、第４図は同じくその分解状態の部分断面図、
第５図および第６図は各々他の実施例の部分断面
図、第７図は従来のイオン源の部分断面図、第８
図はそのイオン源電極の正面図である。 １……電極金属板、１ａ……電極部、１ｂ……
取付フランジ部、２……イオン源チヤンバ、３…
…処理室、４……絶縁物、６，７……分割電極板
、８……冷却パイプ。
Claims (1)
- イオンビーム引出し孔を有する電極部に中央部
が形成されかつ外周部が取付フランジ部となる電
極金属板を設け、この電極金属板の前記電極部内
に冷却媒体路を設けたイオン源電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2117489U JPH02113255U (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2117489U JPH02113255U (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02113255U true JPH02113255U (ja) | 1990-09-11 |
Family
ID=31238173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2117489U Pending JPH02113255U (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02113255U (ja) |
-
1989
- 1989-02-23 JP JP2117489U patent/JPH02113255U/ja active Pending