JPH02117015A - 透明電極の製造方法 - Google Patents

透明電極の製造方法

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Publication number
JPH02117015A
JPH02117015A JP63270403A JP27040388A JPH02117015A JP H02117015 A JPH02117015 A JP H02117015A JP 63270403 A JP63270403 A JP 63270403A JP 27040388 A JP27040388 A JP 27040388A JP H02117015 A JPH02117015 A JP H02117015A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductive filler
resin
transparent electrode
membrane
transparent electrodes
Prior art date
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Pending
Application number
JP63270403A
Other languages
English (en)
Inventor
Kane Watanabe
渡邊 苞
Junichi Aoyama
淳一 青山
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Miura Printing Corp
Original Assignee
Miura Printing Corp
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Publication date
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Publication of JPH02117015A publication Critical patent/JPH02117015A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

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  • Non-Insulated Conductors (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、液晶表示装置、太陽電池、透明タブレット、
液晶調光ガラス、防曇ガラス等に使用される透明電極の
製造方法に関するものである。
〈従来の技術〉 従来、透明電極の製造方法としては酸化錫等の薄膜を加
水分解を利用するスプレー法や塗布法、熱分解反応を利
用する化学的気相蒸着法(以下FCVD法」と略称する
。)等の化学的成膜法、または、酸化インジウム、酸化
錫などの半導体薄膜や金5 銀、銅、パラジウム、ロジ
ウム、アルミニウム等の金属薄膜を物理的気相体積法(
以下rPVD法Jと略称する。 )で形成していた。
〈発明が解決しようとする問題点〉 スプレー法や塗布法は一般的に処理温度が高く、基板温
度が400 ’C〜600 ’Cになることが多かった
。このため、染料及び有機顔料を発色材料としているカ
ラーフィルタを有するガラス基板に透明電極を設ける場
合は該染料及び有機顔料が退色してしまうという欠点が
あった。
CvO法は酸化錫で数多く試みられているが、原料とし
ては気化しやすい液体や固体しか用いることが出来ない
ので、原料の選択範囲が限られてしまうという欠点があ
った。
PVD法には真空蒸着法、イオンブレーティング法、ス
パッタ蒸着法、分子線結晶成長法などが含まれるが、い
ずれも真空状態での成膜処理であるためにバッチ処理に
ならざるを慢ず、生産時間を長くする原因の一つになっ
ていた。また、成膜処理温度が非常に高いために、基板
温度が2゜0℃以上に上昇することが多く、耐熱性の弱
い基板には利用できないという欠点があった。さらに、
透明電極を基板上に選択的に形成する場合には、PVD
法で全面成膜した後でパターンエツチング等の処理が必
要であった。
く問題を解決するための手段〉 重量比で樹脂]、00部に対して平均粒径が0゜4μm
以下の導電性フィラー1. O0部以上を該樹脂に分散
させたペーストを印刷方式により基板に塗布し、乾燥さ
せて透明電極を形成する。
〈発明の作用〉 本発明は、導電性フィラーの粒径を可視光の波長以下に
することにより被膜に透明性を持たせるものである。ま
た、導電性フィラーの含有量を重量比で樹脂100部に
対して導電性フィラー100部以上にすることにより、
乾燥後の被膜中で導電性フィラーが互いに接触するか、
あるいは近接した位置に存在することになり、極めて高
い導電性を持つ被膜を形成する。この時、導電性フィラ
ーが互いに接触せずに近接した位置に存在する場合の導
電性は、熱電子放出やトンネル効果によるものと考えら
れる。
〈実施例〉 重量比で、アクリル系樹脂(商品名アルマテックスD1
51 溶剤分30% 三井東圧化学(株)製造)100
部に対して、ITO微粉末(粒径0.02〜0.08μ
m)200部の割合で混ぜ合わせ、ペースト状の導電性
インキを作成した。
このインキを用いてガラス基板上にオフセット印刷法で
ストライプ状パターンを印刷した。その後、150℃の
オーブン中で30分間乾燥させた。このようにして出来
たストライプパターン状の透明電極は表面抵抗値が40
00Ω/口、光透過率が85%であった。
〈発明の効果〉 本発明によれば、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法等
全ての印刷方式が利用できるために簡単な工程でパター
ンニングされた透明電極を短時間で量産することが出来
る。また、処理温度が低いために耐熱性の弱い基板にも
透明電極を形成することが出来る。さらに、原料の導電
性フィラーの選択範囲も広いために用途に応じた原料を
用0ることか出来る。
特許出願人  三浦印刷株式会社

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)平均粒径が0.4μm以下の導電性フィラーを樹
    脂に分散させたペーストを印刷方式により基板に塗布す
    る工程と、該塗布膜を乾燥させる工程とを含むことを特
    徴とする透明電極の製造方法。
  2. (2)特許請求の範囲第1項記載の透明電極の製造方法
    において、ペーストの導電性フィラーの含有量を、重量
    比で樹脂100部に対して導電性フィラー100部以上
    にすることを特徴とする透明電極の製造方法。
JP63270403A 1988-10-26 1988-10-26 透明電極の製造方法 Pending JPH02117015A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000002891A (ja) * 1998-04-17 2000-01-07 Seiko Instruments Inc 反射型液晶表示装置及びその製造方法
JP2009509353A (ja) * 2005-09-27 2009-03-05 エルジー・ケム・リミテッド p−n接合半導体素子の埋込み接触電極の形成方法及びこれを用いた光電子半導体素子

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JP2000002891A (ja) * 1998-04-17 2000-01-07 Seiko Instruments Inc 反射型液晶表示装置及びその製造方法
JP2009509353A (ja) * 2005-09-27 2009-03-05 エルジー・ケム・リミテッド p−n接合半導体素子の埋込み接触電極の形成方法及びこれを用いた光電子半導体素子

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