JPH02118232U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02118232U JPH02118232U JP2645789U JP2645789U JPH02118232U JP H02118232 U JPH02118232 U JP H02118232U JP 2645789 U JP2645789 U JP 2645789U JP 2645789 U JP2645789 U JP 2645789U JP H02118232 U JPH02118232 U JP H02118232U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- knife edge
- output
- gate signal
- receiving element
- uniaxial table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す模式図、第２
図は第１図に示すナイフエツジ部１の詳細を示す
平面図、第３図は位置測定の原理を示す波形図、
第４図は従来の一例を示す模式図、第５図ａ〜ｃ
は第４図に示す受光素子１３出力、微分回路１４
出力、２値化回路１７出力波形を示す波形図であ
る。 １……ナイフエツジ部、２……一軸テーブル、
３……駆動素子、４……原点センサ、６……受光
素子、７………微分回路、８……ゲート信号発生
回路、９……パルス発生器、１０……パルスカウ
ンタ、１７……２値化回路、１８……演算回路。
図は第１図に示すナイフエツジ部１の詳細を示す
平面図、第３図は位置測定の原理を示す波形図、
第４図は従来の一例を示す模式図、第５図ａ〜ｃ
は第４図に示す受光素子１３出力、微分回路１４
出力、２値化回路１７出力波形を示す波形図であ
る。 １……ナイフエツジ部、２……一軸テーブル、
３……駆動素子、４……原点センサ、６……受光
素子、７………微分回路、８……ゲート信号発生
回路、９……パルス発生器、１０……パルスカウ
ンタ、１７……２値化回路、１８……演算回路。
Claims (1)
- 光ビームを垂直に遮光するＶ字形のナイフエツ
ジと、前記ナイフエツジを固定した一軸テーブル
と、前記一軸テーブルを駆動する駆動素子と、前
記一軸テーブルの原点を決める原点センサーと、
前記ナイフエツジで遮光される光ビームを受光す
る受光素子と、前記受光素子出力を微分する微分
回路と、前記微分回路出力の正・負のピーク間で
ゲート信号を発生するゲート信号発生回路と、パ
ルス発生器と、前記ゲート信号発生回路出力信号
中の前記パルス発生器信号パルス数カウント用カ
ウンタとを含むことを特徴とするビーム径測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2645789U JPH02118232U (ja) | 1989-03-07 | 1989-03-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2645789U JPH02118232U (ja) | 1989-03-07 | 1989-03-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02118232U true JPH02118232U (ja) | 1990-09-21 |
Family
ID=31248100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2645789U Pending JPH02118232U (ja) | 1989-03-07 | 1989-03-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02118232U (ja) |
-
1989
- 1989-03-07 JP JP2645789U patent/JPH02118232U/ja active Pending
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