JPH021194A - エキシマレーザ装置 - Google Patents
エキシマレーザ装置Info
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- JPH021194A JPH021194A JP7952988A JP7952988A JPH021194A JP H021194 A JPH021194 A JP H021194A JP 7952988 A JP7952988 A JP 7952988A JP 7952988 A JP7952988 A JP 7952988A JP H021194 A JPH021194 A JP H021194A
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- gas
- pressure
- chamber
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザガス漏洩時に迅速にレーザガスの排出
を行なうことのできるエキシマレーザ装置に関する。
を行なうことのできるエキシマレーザ装置に関する。
従来のエキシマレーザ装置では、レーザガスがレーザチ
ャンバ等から漏洩した場合には、ガス洩れセンサあるい
は人間がこれを検出した後、手動で排気用のバルブおよ
び真空ポンプを操作して、レーザチャンバ内のレーザガ
スを外部に排出するようにしている。
ャンバ等から漏洩した場合には、ガス洩れセンサあるい
は人間がこれを検出した後、手動で排気用のバルブおよ
び真空ポンプを操作して、レーザチャンバ内のレーザガ
スを外部に排出するようにしている。
このように従来にあっては、手動で排気操作を行なうの
で、特に未熟練なオペレータが操作する場合には、操作
に時間がかかるという欠点がある。それがために操作に
緊急を要する場合には、ガス洩れによる人体への悪影響
が発生する虞れがあった。
で、特に未熟練なオペレータが操作する場合には、操作
に時間がかかるという欠点がある。それがために操作に
緊急を要する場合には、ガス洩れによる人体への悪影響
が発生する虞れがあった。
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたもので、熟練
、未熟連の別なく迅速に排気操作を行なうようにして、
安全度の高いエキシマレーザ装置を提供することを目的
とする。
、未熟連の別なく迅速に排気操作を行なうようにして、
安全度の高いエキシマレーザ装置を提供することを目的
とする。
そこで、本発明では、レーザチャンバに連通して設けら
れ、上記レーザチャンバ内のレーザガスを排出する排気
用管路と、上記排気用管路の途中に設けられた排気用バ
ルブおよび排気用ポンプと、上記レーザチャンバ内のレ
ーザガスの圧力を検出する圧力センサと、上記レーザガ
スの漏洩情報が人力されると、上記レーザ発振を停止さ
せるとともに、上記圧力センサによって上記レーザチャ
ンバ内のレーザガスの圧力か少なくとも大気圧に達した
ことが検出されるまで、上記排気用バルブの開弁および
上記排気用ポンプの作動のうち少なくとも排気用バルブ
の開弁を行ない、上記レーザチャンバ内のレーザガスの
排出を行なう手段とをそれぞれ具えるようにする。
れ、上記レーザチャンバ内のレーザガスを排出する排気
用管路と、上記排気用管路の途中に設けられた排気用バ
ルブおよび排気用ポンプと、上記レーザチャンバ内のレ
ーザガスの圧力を検出する圧力センサと、上記レーザガ
スの漏洩情報が人力されると、上記レーザ発振を停止さ
せるとともに、上記圧力センサによって上記レーザチャ
ンバ内のレーザガスの圧力か少なくとも大気圧に達した
ことが検出されるまで、上記排気用バルブの開弁および
上記排気用ポンプの作動のうち少なくとも排気用バルブ
の開弁を行ない、上記レーザチャンバ内のレーザガスの
排出を行なう手段とをそれぞれ具えるようにする。
すなわち、レーザガスの漏洩情報が人力されると、レー
ザチャンバ内のレーザガスの圧力が少なくとも大気圧に
達するまで、つまりレーザチャンバから大気にガスが洩
れなくなるまで、排気用バルブが開き、排気が自動的に
行なわれる。すなわち、一連の排気操作が熟練、未熟連
の別なく自動的に行なわれる。
ザチャンバ内のレーザガスの圧力が少なくとも大気圧に
達するまで、つまりレーザチャンバから大気にガスが洩
れなくなるまで、排気用バルブが開き、排気が自動的に
行なわれる。すなわち、一連の排気操作が熟練、未熟連
の別なく自動的に行なわれる。
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
。
。
第１図は、本発明に係るエキシマレーザ装置の実施例を
概念的に示すブロック図、第２図は、第１図に示す制御
装置で行なわれる処理手順を示すフローチャート、第３
図は、第１図のエキシマレーザ装置の配管の構成を例示
した図である。
概念的に示すブロック図、第２図は、第１図に示す制御
装置で行なわれる処理手順を示すフローチャート、第３
図は、第１図のエキシマレーザ装置の配管の構成を例示
した図である。
第３図において、Ｖ、Ｖ、〜Ｖ７は手動バルブ、Ｅ１〜
Ｅ” Ｉｆｆは後述する制御装置１で開閉制御される電
磁バルブを示す。ここで、手動バルブＶ３ｖ４およびＶ
ｓは常時開かれているバルブである。
Ｅ” Ｉｆｆは後述する制御装置１で開閉制御される電
磁バルブを示す。ここで、手動バルブＶ３ｖ４およびＶ
ｓは常時開かれているバルブである。
同図において給気用管路２は、レーザチャンバ３内に新
鮮なガスを供給するための管路であり、管路２の分岐管
２ａ、２ｂ、２ｃおよび２ｄの各先端には、それそこれ
ハロゲン、希ガス、希釈用の２種のバッファガスのガス
ボンベがそれぞれ配設されている。そして、管路２の他
方の先端は、レーザチャンバ３の両端に手動バルブ■を
介して接続している。管路２の途中には、手動バルブＶ
。
鮮なガスを供給するための管路であり、管路２の分岐管
２ａ、２ｂ、２ｃおよび２ｄの各先端には、それそこれ
ハロゲン、希ガス、希釈用の２種のバッファガスのガス
ボンベがそれぞれ配設されている。そして、管路２の他
方の先端は、レーザチャンバ３の両端に手動バルブ■を
介して接続している。管路２の途中には、手動バルブＶ
。
Ｖ２．Ｖ６およびＶ７、電磁バルブＥｌ、ＥコＥ４．Ｅ
５．Ｅｙ、Ｅ８１ Ｅ９１ ＥｇｏおよびＥ Ｉ＋、ダ
イヤフラムポンプ４、フィルタＦ、、Ｆ２およびタンク
５，６がそれぞれ配設されている。
５．Ｅｙ、Ｅ８１ Ｅ９１ ＥｇｏおよびＥ Ｉ＋、ダ
イヤフラムポンプ４、フィルタＦ、、Ｆ２およびタンク
５，６がそれぞれ配設されている。
一方、排気用管路７は、レーザチャンバ３内で行なわれ
るレー、ザ発振によって疲労したレーザガスを排出する
ための管路である。その管路の途中には、手動バルブＶ
、、Ｖ４およびＶｓ 、２磁バルブＥ１２．Ｅ１３、フ
ィルタＦ３ ハロゲンフィルタ８、圧力センサ９、フォ
アライントラップ１０、ロータリポンプ１１が配設され
ている。
るレー、ザ発振によって疲労したレーザガスを排出する
ための管路である。その管路の途中には、手動バルブＶ
、、Ｖ４およびＶｓ 、２磁バルブＥ１２．Ｅ１３、フ
ィルタＦ３ ハロゲンフィルタ８、圧力センサ９、フォ
アライントラップ１０、ロータリポンプ１１が配設され
ている。
また、レーザチャンバ３内でレーザガスを放電励起する
ための電気回路にスイッチ素子として使用されるサイラ
トロン１２には、サイラトロン冷却用管路１３が連通し
て設けられている。管路１３には、タンク１４、オイル
ポンプ１５、フロースイッチ１６およびオイルクーラ１
７かそれぞれ配設されている。すなわち、オイルポンプ
１５が作動すると、タンク１４内に溜められているオイ
ルが吸い出され、管路１３を介してサイラトロン１２に
送出されて、該サイラトロン１２が油冷却される。一方
、オイルクーラ１７は、サイラトロン１２を通過し高温
となった管路１３内のオイルを冷却してサイラトロン１
２が常に低温のオイルによって冷却されるようにするも
のである。フロースイッチ１６は管路１３の流量を検出
するセンサであり、同スイッチ１６の出力に基づいて、
オイルポンプ１４が制御される。
ための電気回路にスイッチ素子として使用されるサイラ
トロン１２には、サイラトロン冷却用管路１３が連通し
て設けられている。管路１３には、タンク１４、オイル
ポンプ１５、フロースイッチ１６およびオイルクーラ１
７かそれぞれ配設されている。すなわち、オイルポンプ
１５が作動すると、タンク１４内に溜められているオイ
ルが吸い出され、管路１３を介してサイラトロン１２に
送出されて、該サイラトロン１２が油冷却される。一方
、オイルクーラ１７は、サイラトロン１２を通過し高温
となった管路１３内のオイルを冷却してサイラトロン１
２が常に低温のオイルによって冷却されるようにするも
のである。フロースイッチ１６は管路１３の流量を検出
するセンサであり、同スイッチ１６の出力に基づいて、
オイルポンプ１４が制御される。
レーザガス冷却用管路１８は、レーザチャンバ３内のレ
ーザガスを冷却するための管路であり、その管路１８の
途中にはラジェータ１つ、フロースイッチ２０およびサ
ーマルスイッチ２１がそれぞれ配設されている。すなわ
ち、管路２０内を水か導通すると、レーザチャンバ３内
のレーザガスが適正な温度に冷却される。この際、ラジ
ェータ１９は、管路１８の水を冷却するために用いられ
、スイッチ２０．２１は同管路１８の流量制御に用いら
れる。
ーザガスを冷却するための管路であり、その管路１８の
途中にはラジェータ１つ、フロースイッチ２０およびサ
ーマルスイッチ２１がそれぞれ配設されている。すなわ
ち、管路２０内を水か導通すると、レーザチャンバ３内
のレーザガスが適正な温度に冷却される。この際、ラジ
ェータ１９は、管路１８の水を冷却するために用いられ
、スイッチ２０．２１は同管路１８の流量制御に用いら
れる。
なお、同図において一点鎖線で示す部分は、レーザヘッ
ド部を、二点鎖線で示す部分は、電源・補写部をそれぞ
れ示す。
ド部を、二点鎖線で示す部分は、電源・補写部をそれぞ
れ示す。
第１図に示すガス洩れセンサ２０は、レーザチャンバ３
等からレーザガスの洩れかあるか否かを検出するセンサ
であり、同センサ２０によってガス洩れか検出された場
合には、信号Ｐか制御装置１に加えられる。また圧力セ
ンサ２１は、レーザチャンバ３内の圧力を検出するセン
サであり、同センサ２１の検出値は制御装置１に加えら
れる。
等からレーザガスの洩れかあるか否かを検出するセンサ
であり、同センサ２０によってガス洩れか検出された場
合には、信号Ｐか制御装置１に加えられる。また圧力セ
ンサ２１は、レーザチャンバ３内の圧力を検出するセン
サであり、同センサ２１の検出値は制御装置１に加えら
れる。
レーザ駆動電源２２は、レーザ発振を行なうための電源
であり、前記ダイヤフラムポンプ４、ロークリポンプ１
１およびオイルポンプ１５とともに制御装置１の出力に
基づき駆動制御される。 レーザ発振の本格的な運転前
にはいわゆるガスフロー運転が行なわれる。
であり、前記ダイヤフラムポンプ４、ロークリポンプ１
１およびオイルポンプ１５とともに制御装置１の出力に
基づき駆動制御される。 レーザ発振の本格的な運転前
にはいわゆるガスフロー運転が行なわれる。
すなわち、このガスフロー運転時には、排気用管路７の
各バルブを所要に閉じるとともに、ダイヤフラムポンプ
４を作動させる。そして、給気用管路２の各バルブを所
要に開き、上記ハロゲン、希ガス、２種のバッファガス
をそれぞれ所定の比率で混合しつつ、レーザチャンバ３
内にレーザガスを供給する。この際、圧力センサ２１が
所定の適正圧（２〜３ａｔｍ）を検出した時点で、上記
ポンプ４の作動を停止させる。
各バルブを所要に閉じるとともに、ダイヤフラムポンプ
４を作動させる。そして、給気用管路２の各バルブを所
要に開き、上記ハロゲン、希ガス、２種のバッファガス
をそれぞれ所定の比率で混合しつつ、レーザチャンバ３
内にレーザガスを供給する。この際、圧力センサ２１が
所定の適正圧（２〜３ａｔｍ）を検出した時点で、上記
ポンプ４の作動を停止させる。
やがて、制御装置１から、レーザ駆動電源２２を作動さ
せるための信号が出力されると、レーザチャンバ３内の
図示していない電極間で放電が行なわれ、チャンバ３内
のレーザガスが励起して、レーザ発振が行なわれる。
せるための信号が出力されると、レーザチャンバ３内の
図示していない電極間で放電が行なわれ、チャンバ３内
のレーザガスが励起して、レーザ発振が行なわれる。
このレーザ発振が行なわれている間は、レーザ発振の出
力を維持するために、部分的ガス交換がなされる。すな
わち、ダイヤフラムポンプ４を作動させるとともに、給
気用管路２の各バルブを所要に開いて、レーザチャンバ
３内に新鮮なレーザガスを供給する。一方、ロータリポ
ンプ１１を作動させるとともに、排気用管路７の各バル
ブを所要に開いて、レーザチャンバ３内の疲労したガス
を排出させる。なお、レーザ発振が行なわれている間は
、オイルポンプ１５等も作動して、安定した運転が行な
われる。
力を維持するために、部分的ガス交換がなされる。すな
わち、ダイヤフラムポンプ４を作動させるとともに、給
気用管路２の各バルブを所要に開いて、レーザチャンバ
３内に新鮮なレーザガスを供給する。一方、ロータリポ
ンプ１１を作動させるとともに、排気用管路７の各バル
ブを所要に開いて、レーザチャンバ３内の疲労したガス
を排出させる。なお、レーザ発振が行なわれている間は
、オイルポンプ１５等も作動して、安定した運転が行な
われる。
ところでレーザチャンバ３等からレーザガスが洩れると
、このガス中のハロゲンガスは人体に悪影響を与える。
、このガス中のハロゲンガスは人体に悪影響を与える。
そこで、この実施例では、こうしたガス洩れが発生した
場合には、レーザチャンバ３内のレーザガスを排気用管
路７を介して迅速に排出する処理が行なわれる。
場合には、レーザチャンバ３内のレーザガスを排気用管
路７を介して迅速に排出する処理が行なわれる。
以下、第２図のフローチャートを参照してこの処理につ
いて説明する。
いて説明する。
すなわち、制御装置１では、前記したような安定した正
常な運転の制御が行なわれる（ステップ１０１）ととも
に、随時ガス洩れセンサ２０から信号Ｐが入力されてい
るか否かが判断される（ステップ１０２）。ステップ１
０２の判断結果がＹＥＳの場合、つまりガス洩れセンサ
２０によって、ガス洩れが発生したことが検出された場
合には、手順はステップ１０３に移行する。
常な運転の制御が行なわれる（ステップ１０１）ととも
に、随時ガス洩れセンサ２０から信号Ｐが入力されてい
るか否かが判断される（ステップ１０２）。ステップ１
０２の判断結果がＹＥＳの場合、つまりガス洩れセンサ
２０によって、ガス洩れが発生したことが検出された場
合には、手順はステップ１０３に移行する。
ステップ１０３では、すべての電磁バルブＥ１〜Ｅ １
２を閉じる処理が実行されるとともに、レーザ駆動電源
２２に対して停止指令信号が出力されて、この結果レー
ザ発振が停止する。
２を閉じる処理が実行されるとともに、レーザ駆動電源
２２に対して停止指令信号が出力されて、この結果レー
ザ発振が停止する。
つぎに、ロータリポンプ１１に対して駆動指令信号が出
力されて、該ポンプ１１が駆動する（ステップ１０４）
。
力されて、該ポンプ１１が駆動する（ステップ１０４）
。
そして、電磁バルブＥ１２．ＥＩ３を開弁する処理が実
行される。この結果、レーザチャンバ３内のレーザガス
が排気用管路７を介して外部に排出される（ステップ１
０５）。
行される。この結果、レーザチャンバ３内のレーザガス
が排気用管路７を介して外部に排出される（ステップ１
０５）。
つぎにレーザチャンバ３内の圧力が随時圧力センサ２１
によって検出され、同センサ２１の検出値か真空を示す
圧力（約Ｉ Ｔｏｒｒ以下）に達したか否かが判断され
る（ステップ１０６）。
によって検出され、同センサ２１の検出値か真空を示す
圧力（約Ｉ Ｔｏｒｒ以下）に達したか否かが判断され
る（ステップ１０６）。
同ステップ１０６の判断結果がＹＥＳの場合、つまりレ
ーザチャンバ３内が真空になった場合には、上記電磁バ
ルブＥ １２ ＋ Ｅ １３を閉じる処理が実行され
（ステップ１０７）、このエキシマレーザ装置すべての
運転を停止する処理が実行される（ステップ１０８）。
ーザチャンバ３内が真空になった場合には、上記電磁バ
ルブＥ １２ ＋ Ｅ １３を閉じる処理が実行され
（ステップ１０７）、このエキシマレーザ装置すべての
運転を停止する処理が実行される（ステップ１０８）。
なお、上記排気処理が実行されている間、ハロゲンフィ
ルタ８によってレーザガス内のハロゲンが中和されるの
でロークリポンプ１１に対して悪影響を与えることはな
い。
ルタ８によってレーザガス内のハロゲンが中和されるの
でロークリポンプ１１に対して悪影響を与えることはな
い。
なお、上記実施例では、レーザチャンバ３等からガス洩
れが発生したことをセンサ２０で検出するようにしてい
るが、ガス洩れが発生したことを示す信号を制御装置１
に入力するスイッチ等の人力手段を設け、オペレータが
ガス洩れを直接検出し、上記スイッチを押すこと等によ
って、ガス洩れが発生したことを示す信号を制御ｖｔｆ
ｉｌに加える実施も当然可能である。
れが発生したことをセンサ２０で検出するようにしてい
るが、ガス洩れが発生したことを示す信号を制御装置１
に入力するスイッチ等の人力手段を設け、オペレータが
ガス洩れを直接検出し、上記スイッチを押すこと等によ
って、ガス洩れが発生したことを示す信号を制御ｖｔｆ
ｉｌに加える実施も当然可能である。
また、実施例では、レーザチャンバ３内が真空になるま
で、レーザガスの排気を行なうようにしているが、レー
ザチャンバ３内の圧力が少なくとも大気圧になれば、レ
ーザチャンバ３から大気中にガスが洩れる可能性はほぼ
なくなり、初期の目的は達成されるので、チャンバ３内
の圧力が大気圧になったときをもって、上記排気処理を
終了する実施も当然可能である。
で、レーザガスの排気を行なうようにしているが、レー
ザチャンバ３内の圧力が少なくとも大気圧になれば、レ
ーザチャンバ３から大気中にガスが洩れる可能性はほぼ
なくなり、初期の目的は達成されるので、チャンバ３内
の圧力が大気圧になったときをもって、上記排気処理を
終了する実施も当然可能である。
さらにまた、排気用管路７の途中に設けられる各バルブ
の配設態様は、同管路がレーザチャンバ内のレーザガス
を有効に排気できるものであれば任意である。
の配設態様は、同管路がレーザチャンバ内のレーザガス
を有効に排気できるものであれば任意である。
第４図は、他の実施例を概念的に示すブロック図であり
、第５図は、第４図の制御装置で行なわれる排気処理の
フローチャートを示す。
、第５図は、第４図の制御装置で行なわれる排気処理の
フローチャートを示す。
第４図において、第１図および第３図に示す符号と同一
符号は、同一機能を示すものとする。
符号は、同一機能を示すものとする。
なお、この実施例の配管系統は、第４図に示すように排
気用管路７において、ロークリポンプ１１の両端を連通
ずるバイパス管２ｅが設けられ、その途中には電磁バル
ブＥＩ４が配設されている他は前の実施例と同様の構成
とする。
気用管路７において、ロークリポンプ１１の両端を連通
ずるバイパス管２ｅが設けられ、その途中には電磁バル
ブＥＩ４が配設されている他は前の実施例と同様の構成
とする。
ガス洩れ検出スイッチ２３は、押圧されると、レーザチ
ャンバ３等においてガス洩れが発生したことを示す信号
Ｐが制御装置１′に加えられるスイッチである。
ャンバ３等においてガス洩れが発生したことを示す信号
Ｐが制御装置１′に加えられるスイッチである。
第５図に示すように、制御装置１′では、前記したよう
な安定した正常な運転の制御が行なわれる（ステップ２
０１）とともに、ガス洩れ検出スイッチ２３から上記信
号Ｐが入力されているが否か随時判断される（ステップ
２ｏ２）。ステップ２０２の判断結果がＹＥＳの場合、
つまりオペレータかガス洩れを検出し、上記スイッチ２
３を押圧して信号Ｐが入力された場合には、手順はステ
ップ２０３に移行する。
な安定した正常な運転の制御が行なわれる（ステップ２
０１）とともに、ガス洩れ検出スイッチ２３から上記信
号Ｐが入力されているが否か随時判断される（ステップ
２ｏ２）。ステップ２０２の判断結果がＹＥＳの場合、
つまりオペレータかガス洩れを検出し、上記スイッチ２
３を押圧して信号Ｐが入力された場合には、手順はステ
ップ２０３に移行する。
ステップ２０３では、すべての電磁バルブＥ１〜Ｅ１４
を閉じる処理が実行されるとともに、レーザ駆動電源２
２に対して停止指令信号が出力されて、この結果レーザ
発振が停止する。
を閉じる処理が実行されるとともに、レーザ駆動電源２
２に対して停止指令信号が出力されて、この結果レーザ
発振が停止する。
つぎに、ダイヤフラムポンプ４、ロータリポンプ１１お
よびオイルポンプ１５に対して停止指令信号が出力され
て、この結果これら各ポンプ４１１および１５はその作
動を停止する（ステップ２０４）。
よびオイルポンプ１５に対して停止指令信号が出力され
て、この結果これら各ポンプ４１１および１５はその作
動を停止する（ステップ２０４）。
そして、電磁バルブＥ１２ ＋ Ｅ１３およびＥ １４
を開弁する処理が実行される。この結果、レーザチャン
バ３内のレーザガスが排気用管路７を介して外部に排出
される（ステップ２０５）。
を開弁する処理が実行される。この結果、レーザチャン
バ３内のレーザガスが排気用管路７を介して外部に排出
される（ステップ２０５）。
つぎに、レーザチャンバ３内の圧力が随時圧力センサ２
１によって検出され、同センサ２１の検出値が大気圧に
達したか否かが判断される（ステップ２０６）。
１によって検出され、同センサ２１の検出値が大気圧に
達したか否かが判断される（ステップ２０６）。
同ステップ２０６の判断結果がＹＥＳの場合、つまりレ
ーザチャンバ３内の圧力が大気圧になったことが検出さ
れた場合には、電磁バルブＥ、２゜Ｅ １３およびＥＩ
４を閉じる処理が実行され（ステップ２０７） このエ
キシマレーザ装置のすべての運転を停止する処理が実行
される（ステップ２０８）。このように、この実施例で
は、レーザチャンバ３内を大気圧にすればよいのでロー
タリポンプ１１を駆動せずとも排気処理を行なうことが
できる。
ーザチャンバ３内の圧力が大気圧になったことが検出さ
れた場合には、電磁バルブＥ、２゜Ｅ １３およびＥＩ
４を閉じる処理が実行され（ステップ２０７） このエ
キシマレーザ装置のすべての運転を停止する処理が実行
される（ステップ２０８）。このように、この実施例で
は、レーザチャンバ３内を大気圧にすればよいのでロー
タリポンプ１１を駆動せずとも排気処理を行なうことが
できる。
以上、説明したように実施例によれば、レーザガスの漏
洩情報がセンサ２０ないしスイッチ２３を介して制御装
置１または１′に加えられると、自動的にレーザチャン
バ３内のレーザガスの圧力が大気中に洩れない圧力、つ
まり少なくとも大気圧になるまで、一連の排気操作が行
なえるようにしたので、オペレータが未熟連者であって
も処理か迅速かつ確実に行なわれる。
洩情報がセンサ２０ないしスイッチ２３を介して制御装
置１または１′に加えられると、自動的にレーザチャン
バ３内のレーザガスの圧力が大気中に洩れない圧力、つ
まり少なくとも大気圧になるまで、一連の排気操作が行
なえるようにしたので、オペレータが未熟連者であって
も処理か迅速かつ確実に行なわれる。
したがって、安全なエキシマレーザ装置を提供すること
ができるようになった。
ができるようになった。
以上説明したように本発明によれば、エキシマレーザ装
置を運転中にガス洩れがあった場合に、きわめて迅速に
排気処理が行なわれるので安全度の高いエキシマレーザ
装置を提供することができるようになった。
置を運転中にガス洩れがあった場合に、きわめて迅速に
排気処理が行なわれるので安全度の高いエキシマレーザ
装置を提供することができるようになった。
実施例を概念的に示すブロック図、第２図は、第１図に
示す制御装置で行なわれる処理手順を示すフローチャー
ト、第３図は、第１図のエキシマレーザ装置の配管の構
成を例示した図、第４図は、他の実施例を概念的に示す
ブロック図、第５図は、第４図に示す制御装置で行なわ
れる処理手順を示すフローチャートである。
示す制御装置で行なわれる処理手順を示すフローチャー
ト、第３図は、第１図のエキシマレーザ装置の配管の構
成を例示した図、第４図は、他の実施例を概念的に示す
ブロック図、第５図は、第４図に示す制御装置で行なわ
れる処理手順を示すフローチャートである。
１．１′・・・制御装置、３・・・レーザチャンバ、７
・・・排気用管路、１１・・・ロークリポンプ、２０・
・・ガス洩れセンサ、２２・・・レーザ駆動電源、２３
・・・ガス洩れ検出スイッチ、 Ｅ１〜Ｅ１４・・・電磁バルブ。
・・・排気用管路、１１・・・ロークリポンプ、２０・
・・ガス洩れセンサ、２２・・・レーザ駆動電源、２３
・・・ガス洩れ検出スイッチ、 Ｅ１〜Ｅ１４・・・電磁バルブ。
第１図は、本発明に係るエキシマレーザ装置の第１図
第４図
第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザチャンバ内のレーザガスを放電励起して、レーザ
発振を行なうエキシマレーザ装置において、上記レーザ
チャンバに連通して設けられ、上記レーザチャンバ内の
レーザガスを排出する排気用管路と、 上記排気用管路の途中に設けられた排気用バルブおよび
排気用ポンプと、 上記レーザチャンバ内のレーザガスの圧力を検出する圧
力センサと、 上記レーザガスの漏洩情報が入力されると、上記レーザ
発振を停止させるとともに、上記圧力センサによって上
記レーザチャンバ内のレーザガスの圧力が少なくとも大
気圧に達したことが検出されるまで、上記排気用バルブ
の開弁および上記排気用ポンプの作動のうち少なくとも
排気用バルブの開弁を行ない、上記レーザチャンバ内の
レーザガスの排出を行なう手段と を具えたことを特徴とするエキシマレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63079529A JP2678613B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | エキシマレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63079529A JP2678613B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | エキシマレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH021194A true JPH021194A (ja) | 1990-01-05 |
| JP2678613B2 JP2678613B2 (ja) | 1997-11-17 |
Family
ID=13692515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63079529A Expired - Lifetime JP2678613B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | エキシマレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2678613B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116380352A (zh) * | 2023-04-12 | 2023-07-04 | 南京国晋塑胶制品有限公司 | 一种pe管漏液检测装置及其使用方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5922400U (ja) * | 1982-08-02 | 1984-02-10 | 川崎製鉄株式会社 | 圧力容器 |
| JPS60154583A (ja) * | 1984-01-25 | 1985-08-14 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ装置 |
| JPS6316473U (ja) * | 1986-07-17 | 1988-02-03 | ||
| JPS6341092A (ja) * | 1986-08-06 | 1988-02-22 | Nec Corp | エキシマレ−ザ発振装置 |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP63079529A patent/JP2678613B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
| JPS5922400U (ja) * | 1982-08-02 | 1984-02-10 | 川崎製鉄株式会社 | 圧力容器 |
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| CN116380352A (zh) * | 2023-04-12 | 2023-07-04 | 南京国晋塑胶制品有限公司 | 一种pe管漏液检测装置及其使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2678613B2 (ja) | 1997-11-17 |
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