JPH02119576A - パルス電源装置 - Google Patents
パルス電源装置Info
- Publication number
- JPH02119576A JPH02119576A JP32919087A JP32919087A JPH02119576A JP H02119576 A JPH02119576 A JP H02119576A JP 32919087 A JP32919087 A JP 32919087A JP 32919087 A JP32919087 A JP 32919087A JP H02119576 A JPH02119576 A JP H02119576A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulse width
- power supply
- pulse
- width compression
- compression circuit
- Prior art date
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- Pending
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- Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気スイッチを内包するパルス電源装置に係り
、特に、炭酸ガスレーザ、金属蒸気レーザ等の高速繰り
返し励起に利用される装置に関する。
、特に、炭酸ガスレーザ、金属蒸気レーザ等の高速繰り
返し励起に利用される装置に関する。
従来より、パルスレーザの電源としては第4図に示すも
のが知られている。
のが知られている。
これは、高圧充電電源PSの出力端にサイリスタSWが
並列に接続されているとともに、前記出力端はエネルギ
ー蓄積コンデンサCを介して昇圧用の昇圧器Tの1次側
に接続されている。
並列に接続されているとともに、前記出力端はエネルギ
ー蓄積コンデンサCを介して昇圧用の昇圧器Tの1次側
に接続されている。
この昇圧器Tの1次側にはコンデンサCと可飽和インダ
クタSllとを並直列接続してなるパルス幅圧縮回路A
1が接続されており、以下同様に、コンデンサC2及び
可飽和インダクタST2からなるパルス幅圧縮回路A2
、コンデンサC3及び可飽和インダクタSI3からなる
パルス幅圧縮回路A3が縦続的に接続されている。
クタSllとを並直列接続してなるパルス幅圧縮回路A
1が接続されており、以下同様に、コンデンサC2及び
可飽和インダクタST2からなるパルス幅圧縮回路A2
、コンデンサC3及び可飽和インダクタSI3からなる
パルス幅圧縮回路A3が縦続的に接続されている。
そして、レーザ励起電源lの出力端2にレーザ負荷LD
が並列に接続されている。レーザ負荷LDにはレーザ負
荷の構造的なインダクタンス(浮遊インダクタンス)が
あり、図中、コンデンサCPとレーザ負荷LDとの間に
仮想的に直列接続されたインダクタンスLHとして示さ
れている。
が並列に接続されている。レーザ負荷LDにはレーザ負
荷の構造的なインダクタンス(浮遊インダクタンス)が
あり、図中、コンデンサCPとレーザ負荷LDとの間に
仮想的に直列接続されたインダクタンスLHとして示さ
れている。
前記可飽和インダクタのコアとしては、フェライト、ま
たはFe系アモルファス金属が用いられている。
たはFe系アモルファス金属が用いられている。
ところで、前記した従来の方式においてパルス幅圧縮回
路AI、A2.A3の各段の能率について測定したとこ
ろ、昇圧器Tの2次側を100%とすると、パルス幅圧
縮回路A+では97%、パルス幅圧縮回路A2では92
%、パルス幅圧縮回路A3では65%となった。
路AI、A2.A3の各段の能率について測定したとこ
ろ、昇圧器Tの2次側を100%とすると、パルス幅圧
縮回路A+では97%、パルス幅圧縮回路A2では92
%、パルス幅圧縮回路A3では65%となった。
ここでパルス幅圧縮回路A3のエネルギ変換効率が他の
段に比較して低い理由としては、この最終段では人力さ
れるパルスの幅が既に相当狭く、コア素材のヒステンリ
スその他の磁気特性が顕著に現れ、周波数特性や角型特
性等の磁気特性において理想特性とのギャップが拡大さ
れるためと考えられる。
段に比較して低い理由としては、この最終段では人力さ
れるパルスの幅が既に相当狭く、コア素材のヒステンリ
スその他の磁気特性が顕著に現れ、周波数特性や角型特
性等の磁気特性において理想特性とのギャップが拡大さ
れるためと考えられる。
このように、終段のパルス幅圧縮回路は能率が低く、ま
た放熱にも配慮しなければならない等の問題がある。し
かも、大形の冷却装置が必要となり、装置全体も大形化
するという欠点がある。
た放熱にも配慮しなければならない等の問題がある。し
かも、大形の冷却装置が必要となり、装置全体も大形化
するという欠点がある。
本発明は前記事項に鑑みてなされたもので、能率が高く
、装置の小形化をも図ることができるようにしたパルス
電源装置を提供することを技術的課題とする。
、装置の小形化をも図ることができるようにしたパルス
電源装置を提供することを技術的課題とする。
本発明は前記技術的課題を解決するために、電源PSに
対して直列に接続された可飽和インダクタSli、SI
2.SI3と、前記電源に対して並列に接続されたコン
デンサCI、C2,C3とからなる複数のパルス幅圧縮
回路AI、A2.A3と、このパルス幅圧縮回路At、
A2.A3に前記電源PSを断続的に接続するスイッチ
手段SWとを備え、前記パルス幅圧縮回路AI、A2゜
A3の最終出力端に接続されたレーザ負荷LDを繰り返
し放電励起するためのパルス電源装置において以下の構
成とした。
対して直列に接続された可飽和インダクタSli、SI
2.SI3と、前記電源に対して並列に接続されたコン
デンサCI、C2,C3とからなる複数のパルス幅圧縮
回路AI、A2.A3と、このパルス幅圧縮回路At、
A2.A3に前記電源PSを断続的に接続するスイッチ
手段SWとを備え、前記パルス幅圧縮回路AI、A2゜
A3の最終出力端に接続されたレーザ負荷LDを繰り返
し放電励起するためのパルス電源装置において以下の構
成とした。
即ち、最終段パルス幅圧縮回路A3における可飽和イン
ダクタSI3のコアlをコバルト系のアモルファス金属
で形成した。
ダクタSI3のコアlをコバルト系のアモルファス金属
で形成した。
前記レーザ負荷としては、パルス放電金属蒸気レーザ、
パルス放電炭酸ガスレーザを例示することができる。
パルス放電炭酸ガスレーザを例示することができる。
最終段のパルス幅圧縮回路A3は他のパルス幅圧縮回路
に比較して、よりパルス幅が狭いパルス電力を扱うため
、損失が大きくなりゃすいが、この最終段のパルス幅圧
縮回路A3における可飽和インダクタSI3のコア1を
磁気特性に優れるコバルト系のアモルファス金属で形成
することにより、この部分での電力損失を大幅に低減で
きる。
に比較して、よりパルス幅が狭いパルス電力を扱うため
、損失が大きくなりゃすいが、この最終段のパルス幅圧
縮回路A3における可飽和インダクタSI3のコア1を
磁気特性に優れるコバルト系のアモルファス金属で形成
することにより、この部分での電力損失を大幅に低減で
きる。
このため、回路全体での能率が向上するとともに、信頼
性、寿命、及び出力の点で優れた特性が得られる。
性、寿命、及び出力の点で優れた特性が得られる。
本発明の実施例を第1図ないし第3図に基づいて説明す
る。
る。
電源としての高圧充電電源PSの出力端にサイリスタS
Wが並列に接続されているとともに、前記出力端はエネ
ルギー蓄積コンデンサCを介して昇圧用の昇圧器Tの1
次側に接続されている。
Wが並列に接続されているとともに、前記出力端はエネ
ルギー蓄積コンデンサCを介して昇圧用の昇圧器Tの1
次側に接続されている。
昇圧器Tの1次側にはコンデンサCと可飽和インダクタ
Sllとを並直列接続してなるパルス幅圧縮回路Alが
接続されており、以下同様に、コンデンサC2及び可飽
和インダクタSI2からなるパルス幅圧縮回路A2、コ
ンデンサc3及び可飽和インダクタSI3からなるパル
ス幅圧縮回路A3が縦続的に接続されている。
Sllとを並直列接続してなるパルス幅圧縮回路Alが
接続されており、以下同様に、コンデンサC2及び可飽
和インダクタSI2からなるパルス幅圧縮回路A2、コ
ンデンサc3及び可飽和インダクタSI3からなるパル
ス幅圧縮回路A3が縦続的に接続されている。
ソシて、レーザ励起電源lの出力端にパルス放電金属蒸
気レーザLDが並列に接続されている。
気レーザLDが並列に接続されている。
パルス放電金属蒸気レーザLDにはレーザ負荷の構造的
なインダクタンス(浮遊インダクタンス)があり、図中
、コンデンサCPとレーザ負荷LDとの間に仮想的に直
列接続されたインダクタンスしHとして示されている。
なインダクタンス(浮遊インダクタンス)があり、図中
、コンデンサCPとレーザ負荷LDとの間に仮想的に直
列接続されたインダクタンスしHとして示されている。
前記レーザ負荷としては、前記したパルス放電金属蒸気
レーザの他、パルス放電炭酸ガスレーザを接続し駆動す
ることもできる。
レーザの他、パルス放電炭酸ガスレーザを接続し駆動す
ることもできる。
最終段パルス幅圧縮回路A3における可飽和インダクタ
SI3のコアlはコバルト系のアモルファス金属で形成
されている。Goを70%含ませたアモルファス金属(
P e 5co ?OS 1158 In)の履歴特性
の角型性は異方性50%パーマロイと同程度に良好であ
り(第3図参照)、磁束飽和値もそれに近い。また、保
磁力がパーマロイの保磁力程度に小さく、渦電流損も小
さい。
SI3のコアlはコバルト系のアモルファス金属で形成
されている。Goを70%含ませたアモルファス金属(
P e 5co ?OS 1158 In)の履歴特性
の角型性は異方性50%パーマロイと同程度に良好であ
り(第3図参照)、磁束飽和値もそれに近い。また、保
磁力がパーマロイの保磁力程度に小さく、渦電流損も小
さい。
このような優れた特性を持つコバルト系アモルファス金
属でコア1を形成したので発熱が抑制され効率が改善さ
れた。実験の結果、最終段パルス幅圧縮回路A3におけ
る効率は87%となり、従来方式の65%に比較して大
幅な改善が見られた。
属でコア1を形成したので発熱が抑制され効率が改善さ
れた。実験の結果、最終段パルス幅圧縮回路A3におけ
る効率は87%となり、従来方式の65%に比較して大
幅な改善が見られた。
このため発熱を低減できるとともに、出力を向上させる
ことができた。
ことができた。
なお、前記スイッチング素子としてはサイリスタSWに
限定されるものではなく、5IFET。
限定されるものではなく、5IFET。
MOS−PET、GTO等に置換しても同様に動作する
ことは勿論である。
ことは勿論である。
本発明によれば、最終段のパルス幅圧縮回路における可
飽和インダクタのコアをコバルト系のアモルファス金属
で形成したので、電力損失を大幅に低減できる。
飽和インダクタのコアをコバルト系のアモルファス金属
で形成したので、電力損失を大幅に低減できる。
このため、回路全体で能率が向上するととしに、信頼性
、寿命、及び出力の点で優れた特性が得られ、放熱装置
の小形化をも図ることができる。
、寿命、及び出力の点で優れた特性が得られ、放熱装置
の小形化をも図ることができる。
また、損失が大きくなりやすい最終段パルス幅圧縮回路
の可飽和インダクタのみを改良するものであるため大幅
なコストアップとなる虞れはない。
の可飽和インダクタのみを改良するものであるため大幅
なコストアップとなる虞れはない。
第1図ないし第3図は本発明の実施例を示し、第1図は
回路図、第2図は要部の一部切欠した斜視図、第3図(
A XB )はコバルト系アモルファス金属のヒステリ
シス特性図、第4図は従来のパルス電源装置を示す回路
図である。 l・・・コア、 PS・・・電源としての充電電源、 Sll、 S12.Sr1・・・可飽和インダクタ、C
,CI、C2,C1・:+ンデンサ、AI、A2.A3
・・・パルス幅圧縮回路、SW・・・スイッチ手段とし
てのサイリスタ、LD・・・レーザ負荷、 LL・・
バイパスインダクタ。 Sr3 第2図
回路図、第2図は要部の一部切欠した斜視図、第3図(
A XB )はコバルト系アモルファス金属のヒステリ
シス特性図、第4図は従来のパルス電源装置を示す回路
図である。 l・・・コア、 PS・・・電源としての充電電源、 Sll、 S12.Sr1・・・可飽和インダクタ、C
,CI、C2,C1・:+ンデンサ、AI、A2.A3
・・・パルス幅圧縮回路、SW・・・スイッチ手段とし
てのサイリスタ、LD・・・レーザ負荷、 LL・・
バイパスインダクタ。 Sr3 第2図
Claims (3)
- (1)電源に対して直列に接続された可飽和インダクタ
と、前記電源に対して並列に接続されたコンデンサとか
らなる複数組のパルス幅圧縮回路と、このパルス幅圧縮
回路に前記電源を断続的に接続するスイッチ手段とを備
え、前記パルス幅圧縮回路の最終出力端に接続されたレ
ーザ負荷を繰り返し放電励起するためのパルス電源装置
において、最終段のパルス幅圧縮回路における可飽和イ
ンダクタのコアをコバルト系のアモルファス金属で形成
したことを特徴とするパルス電源装置。 - (2)前記レーザ負荷がパルス放電金属蒸気レーザであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のパルス
電源装置。 - (3)前記レーザ負荷がパルス放電炭酸ガスレーザであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のパルス
電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32919087A JPH02119576A (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | パルス電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32919087A JPH02119576A (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | パルス電源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02119576A true JPH02119576A (ja) | 1990-05-07 |
Family
ID=18218659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32919087A Pending JPH02119576A (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | パルス電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02119576A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59179751A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-12 | Toshiba Corp | 可飽和リアクトル用非晶質合金 |
| JPS61201146A (ja) * | 1985-02-21 | 1986-09-05 | ザ・パーキン‐エルマー・コーポレイシヨン | 熱機械的分析装置 |
-
1987
- 1987-12-25 JP JP32919087A patent/JPH02119576A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59179751A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-12 | Toshiba Corp | 可飽和リアクトル用非晶質合金 |
| JPS61201146A (ja) * | 1985-02-21 | 1986-09-05 | ザ・パーキン‐エルマー・コーポレイシヨン | 熱機械的分析装置 |
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