JPH02120221A - シリカ粒子の製造方法 - Google Patents
シリカ粒子の製造方法Info
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- JPH02120221A JPH02120221A JP63273170A JP27317088A JPH02120221A JP H02120221 A JPH02120221 A JP H02120221A JP 63273170 A JP63273170 A JP 63273170A JP 27317088 A JP27317088 A JP 27317088A JP H02120221 A JPH02120221 A JP H02120221A
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63273170A JPH02120221A (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | シリカ粒子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63273170A JPH02120221A (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | シリカ粒子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02120221A true JPH02120221A (ja) | 1990-05-08 |
| JPH052607B2 JPH052607B2 (fr) | 1993-01-12 |
Family
ID=17524074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63273170A Granted JPH02120221A (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | シリカ粒子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02120221A (fr) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007070163A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Tokuyama Corp | シリカ系酸化物粒子の製造方法 |
| JP2011089069A (ja) * | 2009-10-23 | 2011-05-06 | Nippon Shokubai Co Ltd | 有機無機複合粒子の製造方法 |
| JP2011116864A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Nippon Shokubai Co Ltd | 微粒子の製造方法 |
| JP2022001545A (ja) * | 2020-06-22 | 2022-01-06 | 三菱ケミカル株式会社 | シリカ粒子の製造方法、シリカゾルの製造方法、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5841810A (ja) * | 1981-09-07 | 1983-03-11 | Tokuyama Soda Co Ltd | 複合修復材 |
| JPS6272514A (ja) * | 1985-09-25 | 1987-04-03 | メルク・パテント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 球状SiO↓2粒子 |
| JPS62207356A (ja) * | 1986-03-07 | 1987-09-11 | Nippon Shokubai Kagaku Kogyo Co Ltd | 滑り性改良方法 |
| JPS6374911A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-05 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 微細球状シリカの製造法 |
-
1988
- 1988-10-31 JP JP63273170A patent/JPH02120221A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5841810A (ja) * | 1981-09-07 | 1983-03-11 | Tokuyama Soda Co Ltd | 複合修復材 |
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| JP2022001545A (ja) * | 2020-06-22 | 2022-01-06 | 三菱ケミカル株式会社 | シリカ粒子の製造方法、シリカゾルの製造方法、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH052607B2 (fr) | 1993-01-12 |
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