JPH0212041Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の目的〕 （産業上の利用分野） 本考案は、ポリシング装置の研磨布の洗浄に使
用するブラシに関するものである。

（従来の技術） 先づ、両面ポリシングを例にして一般的なポリ
シング装置を第１図により説明する。上定盤１１
と下定盤１４の互いに対向する面には、研磨布１
２，１３がそれぞれ貼付され、上定盤１１はシリ
ンダ１５により上下動される。上下の定盤１１お
よび１４の中心に位置させて太陽歯車１６が設け
られると共に、上下の定盤１１および１４の外周
を取囲むインタナル歯車１７が設けられている。
上下の定盤１１，１４間には、両歯車１６，１７
に噛み合う歯を外周に有する複数のキヤリア１８
が置かれ、キヤリア１８の穴の中にはウエハなど
の被加工物１９が装着される。上記上定盤１１、
下定盤１４および太陽歯車１６は図示していない
駆動源により回転され、インタナル歯車１７は同
じく図示していない駆動源により回転されるかま
たは固定されており、上定盤１１および下定盤１
４を回転させつつ太陽歯車１６を回転駆動するこ
とにより、キヤリア１８を公転および自転させ、
その穴に装着されている被加工物１９を研磨布１
２および１３によりポリシングするようになつて
いる。ところで、これらの研磨布１２および１３
は前記ポリシング作業が進むに連れて目づまりを
起こし、研磨布１２，１３の機械的特性が変化す
ると共にポリシング能力が低下し、被加工物１９
の高精度なポリシングを能率的に行うことが不可
能になるため、従来から所定の加工時間毎に洗浄
して使用している。

ここで研磨布１２，１３の従来の洗浄方法を第
１図を参照して説明すると、まず、キヤリア１８
を取り除きそこにロール状のブラシ（図示せず）
をはさみ込み、上下の定盤１１および１４を逆方
向に回転させながら作業者がブラシ軸を手で保持
して研磨布１２，１３の洗浄を行つていた。この
方法は危険であるのみならず自動化は不可能であ
つた。この他の方法としてキヤリア１８のように
外周に歯を有する円板の端面に毛を植えてブラシ
（図示せず）とし、この円板状のブラシを太陽歯
車１６とインタナル歯車１７に噛み合せると共
に、上下の定盤１１および１４を互に反対方向に
回転させて研磨布１２および１３を洗浄する方法
が提案されている。この場合、円板の両面に毛を
植える方式と片面にのみ毛を植える方式とがある
が、両面に毛を植える方式は両面の毛の高さを一
様にそろえることが難しくかつ高価なため、一般
には片面にのみ毛を植えた円板を上向きと下向き
交互に並べて上下の研磨布１２および１３を洗浄
していた。

（考案が解決しようとする課題） しかしながら片面にのみ毛を植えたブラシには
次のような欠点があつた。即ち洗浄の際、ポリシ
ング装置のスラリ供給口（図示せず）から純水を
流しながら行うため、洗浄後にこのブラシを取外
すとき、研磨布と円板の毛の植えていない面が純
水による表面張力のため吸着して容易に剥れな
い。そこで、下定盤１４の研磨布１３を洗浄する
ためのブラシは、上定盤１１を上昇させたとき上
定盤１１の研磨布１２に吸着されて上昇し、そし
て吸着力が徐々に減少してブラシの自重より小さ
くなつたところで落下して下側の研磨布１３と下
定盤１４を損傷させたり、ブラシ自身が損傷する
ことがあつた。

一般にブラシは操作性等のため合成樹脂等の軽
量材料を母材として製作されているので、吸着現
象が起こり易い。また上側の研磨布１２を洗浄す
るブラシは下側の研磨布１３に吸着し、かつ太陽
歯車１６とインタナル歯車１７に噛み合つている
ため、容易に取外すことができず無理をして研磨
布１３の面を損傷することがある。このようにブ
ラシの取外しが困難なことは、ブラシの取付けお
よび取外しの自動化を阻害している。

本考案はこのような欠点を除去したものでその
目的は、前述したようなポリシング装置の研磨布
を洗浄するための円板状のブラシの毛を植えてい
ない側の面と研磨布との間の表面張力による付着
力を減少させ、該ブラシを洗浄後容易に取外せる
ようにすることにより、その取付けおよび取外し
の自動化を可能にしたポリシング装置の洗浄用ブ
ラシを提供することにある。

〔考案の構成〕

（課題を解決するための手段） かかる目的を達成するための本考案は、回転す
る定盤に研磨布を貼付しかつ太陽歯車とインタナ
ル歯車に噛み合うキヤリアに被加工物を装着し、
被加工物を研磨布に押圧しつつキヤリアを公転お
よび自転させて被加工物をポリシングする装置の
研磨布の洗浄用ブラシであつて、外周に太陽歯車
とインタナル歯車に噛み合う歯を有する円板の一
面に毛を植えると共に、他面には１ないし複数の
曲線状もしくは直線状の溝または１ないし複数の
大径もしくは小径の穴を設けて研磨布からの剥離
を容易にしたものである。

（作用） 純水を流しつつ上記洗浄用ブラシによつて研磨
布を洗浄すると、毛を植えていない他面は純水の
表面張力によつて研磨布に付着するが、この他面
には１ないし複数の曲線状もしくは直線状の溝ま
たは１ないし複数の大径もしくは小径の穴が設け
られているため、前記付着力が低下し、このた
め、洗浄用ブラシは研磨布から容易に剥離できる
と共に、上定盤側に付着して上昇してしまうなど
の不都合を生じることもない。

（実施例） 以下本考案の一実施例を示す第２図ないし第５
図について説明する。第２図において第１図と同
等部材は同一符号を付して詳しい説明を省略し異
なる部分についてのみ説明する。外周に太陽歯車
１６とインタナル歯車１７に噛み合う歯を有する
円板２１は一側の面に毛２２が植えられている。
以下円板２１と毛２２の両者一体になつたものを
ブラシ２３という。このブラシ２３を毛２２が上
下交互になるように順次反転して太陽歯車１６と
インタナル歯車１７に噛み合せて配置する。そし
て両定盤１１および１４を回転させると共に太陽
歯車１６とインタナル歯車１７を回転させること
により、ブラシ２３を公転および自転運動させて
上下の研磨布１２および１３を洗浄する。なお、
このときスラリ供給口（図示せず）から純水を研
磨布１２および１３に供給する。

第３図はブラシ２３のみの側面図であり、円板
２１の毛２２を植えていない面には第４図および
第５図に示すように、多数の直線状の溝２４が平
行に設けてある。

本考案によるブラシ２３は、上記のような溝２
４を設けたため、円板２１の毛２２を植えていな
い面の研磨布１２或いは１３に対する吸着力が激
減し、円板２１が合成樹脂製であつても前記吸着
力をブラシ２３の自重より小さくすることがで
き、下向きのブラシ２３が上の研磨布１２に付着
して上昇することがなくなると共に、上向きのブ
ラシ２３は下の研磨布１３から容易に取外すこと
ができるようになつた。

なお、本考案の効果を明確にするため、実験例
を示すと、外径が315mm、厚さ10mmの合成樹脂製
の円板２１の毛２２を植えていない面に深さ１
mm、幅３mmの溝２４を第４図に示すように配置し
てその間隔が約30mmとなるように10本設けたとこ
ろ、上記のようにブラシ２３が上の研磨布１２に
付着して上昇することは皆無となり、また下の研
磨布１３からの取外しも非常に簡単に行なえるよ
うになつた。これは、溝２４によつて空気が容易
に円板２１の毛２２を植えていない面の全体に入
り込むことができるためであると考えられる。

第６図ないし第１１図はブラシ２３の他の実施
例を示したものである。第６図はブラシ３１の円
板３２の毛（図示せず）を植えていない面にうず
巻状の溝３３を設けたものであり、第７図はブラ
シ３５の円板３６に放射状の溝３７を設けたもの
であり、第８図はブラシ３８の円板３９に同心円
の溝４０を設けたものであり、第９図はブラシ４
１の円板４２に上下左右方向に伸びる直線状の溝
４３をそれぞれ複数設けたものであり、第１０図
はブラシ４４の円板４５に多数の小穴４６を設け
たものである。

なお、小穴４６の代りにこれより大きい穴を数個
設けるようにしてもよい。第１１図はブラシ４７
の円板４８の中央に大径すなわち円板４８の直径
の約半分程度の直径の穴４９を設けた例を示すも
のである。これらの穴４６，４９は他面の毛２２
の植え付けに支障がないように有底であることが
望ましい。

前記説明では両面ポリシング装置を例にして説
明したが、本考案のブラシは片面ポリシング装置
にも適用可能であることはいうまでもない。ただ
し、この場合ブラシの毛は一側に向けてポリシン
グ装置にセツトする。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案の洗浄用ブラシは、
外周に歯を有する円板の片面に毛を植えたものに
おいて、毛を植えていない他面に１ないし複数の
曲線状もしくは直線状の溝または１ないし複数の
大径もしくは小径の穴を設けて研磨布からの剥離
を容易にしたため、洗浄後上定盤を上昇させたと
き、これと共にブラシが上昇することを防止で
き、これによりブラシが落下して研磨布や下定盤
を損傷することがなく、また洗浄用ブラシ自身の
損傷も押えることができると共に、上側の研磨布
の洗浄に用いる場合には、洗浄用ブラシを下側の
研磨布から容易に取外すことができ、作業能率を
向上できると共に、下側の研磨布の損傷も防止で
き、ポリシング装置と洗浄用ブラシの寿命を長く
でき、さらに洗浄用ブラシの取外しが容易になつ
たことにより洗浄用ブラシの取付けおよび取外し
の自動化が可能になる利点が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は一般的な両面ポリシング装置の概略断
面図、第２図ないし第５図は本考案の一実施例を
示すもので第２図は両面ポリシング装置に本考案
による洗浄用ブラシを取付けた断面図、第３図は
本考案による洗浄用ブラシの側面図、第４図は第
３図に示した洗浄用ブラシの毛を植えていない面
の平面図、第５図は第４図の５−５線による部分
拡大断面図、第６図ないし第１１図はそれぞれ洗
浄用ブラシの他の実施例における毛を植えていな
い面の平面図である。 １１，１４……定盤、１２，１３……研磨布、
１６……太陽歯車、１７……インタナル歯車、１
８……キヤリア、１９……被加工物、２１，３
２，３６，３９，４２，４５，４８……円板、２
２……毛、２３，３１，３５，３８，４１，４
４，４７……洗浄用ブラシ、２４，３３，３７，
４０，４３……溝、４６，４９……穴。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 回転する定盤に研磨布を貼付しかつ太陽歯車と
   インタナル歯車に噛み合うキヤリアに被加工物を
   装着し、該被加工物を前記研磨布に押圧しつつ前
   記キヤリアを公転および自転させて被加工物をポ
   リシングする装置の前記研磨布の洗浄用ブラシで
   あつて、外周に前記太陽歯車と前記インタナル歯
   車に噛み合う歯を有する円板の一面に毛を植える
   と共に、他面には１ないし複数の曲線状もしくは
   直線状の溝または１ないし複数の大径もしくは小
   径の穴を設けて前記研磨布からの剥離を容易にし
   たことを特徴とするポリシング装置の洗浄用ブラ
   シ。