JPS6017947U - ポリシング装置の洗浄用ブラシ - Google Patents

ポリシング装置の洗浄用ブラシ

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JPS6017947U
JPS6017947U JP1983111248U JP11124883U JPS6017947U JP S6017947 U JPS6017947 U JP S6017947U JP 1983111248 U JP1983111248 U JP 1983111248U JP 11124883 U JP11124883 U JP 11124883U JP S6017947 U JPS6017947 U JP S6017947U
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JP
Japan
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cleaning brush
polishing equipment
polishing
workpiece
sun gear
Prior art date
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JP1983111248U
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English (en)
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JPH0212041Y2 (ja
Inventor
川上　英雄
正美 遠藤
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Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は一般的な両面ポリシング装置の概略断面図、第
２図ないし第５図は本考案の一実施例を示すもので第２
図は両端ポリシング装置に本考案の洗浄用ブラシを取付
けた断面図、第３図は洗浄用ブラシの側面図、第４図は
洗浄用ブラシの毛の植えていない面の平面図、第５図は
第４図の５−５線断面図、第６図ないし第１１図はそれ
ぞれ洗浄用ブラシの他の実施例における毛を植えていな
い面の平面図である。 １１．１４・・・・・・定盤、１２．１３・・・・・・
研磨布、１６・・・・・・太陽歯車、１７・・・・・・
インタナル歯車、１８・・・・・・キャリア、１９・・
・・・・被加工物、２１゜３２、　３６．　３９．　４
２．　４５．　４８・・・・・・円板、２２・・・・・
・毛、２３．　３１．３５．３Ｂ、　４１゜４４．４７
・・・・・・洗浄用ブラシ、２４．　３３．　３７゜４
０．４３・・・・・・溝、４６．４９・・開穴。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 回転する定盤に研磨布を貼付しかつ太陽歯車とインタナ
    ル歯車に噛み合うキャリアに被加工物を装着することに
    より、前記被加工物に公転および自転運動を与えて前記
    研磨布によりポリシングする装置において、 外周に前記太陽歯車と前記インタナル歯車に噛み合う歯
    を有する円板の一面に毛を植えると共に他面に溝或いは
    穴を設けたポリシング装置の洗浄用ブラシ。
JP1983111248U 1983-07-18 1983-07-18 ポリシング装置の洗浄用ブラシ Granted JPS6017947U (ja)

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JP1983111248U JPS6017947U (ja) 1983-07-18 1983-07-18 ポリシング装置の洗浄用ブラシ

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JP1983111248U JPS6017947U (ja) 1983-07-18 1983-07-18 ポリシング装置の洗浄用ブラシ

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Publication Number Publication Date
JPS6017947U true JPS6017947U (ja) 1985-02-06
JPH0212041Y2 JPH0212041Y2 (ja) 1990-04-04

Family

ID=30258391

Family Applications (1)

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JP1983111248U Granted JPS6017947U (ja) 1983-07-18 1983-07-18 ポリシング装置の洗浄用ブラシ

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0379268A (ja) * 1989-08-11 1991-04-04 Wacker Chemitronic Ges Elektron Grundstoffe Mbh ケモメカニカル研摩に用いられた研摩布を処理する方法および装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54112091A (en) * 1978-02-22 1979-09-01 Fujikoshi Kikai Kogyo Kk Lap surface compensator of lapping machine

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54112091A (en) * 1978-02-22 1979-09-01 Fujikoshi Kikai Kogyo Kk Lap surface compensator of lapping machine

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0379268A (ja) * 1989-08-11 1991-04-04 Wacker Chemitronic Ges Elektron Grundstoffe Mbh ケモメカニカル研摩に用いられた研摩布を処理する方法および装置

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Publication number Publication date
JPH0212041Y2 (ja) 1990-04-04

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