JPH0212067A - 表面電位分布と対応する電気信号の発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は表面電位−分布と対応する電気信号の発生装置
に関する。

（従来の技術） 近年、高画質・高解像度の再生画像に対する要望が高ま
るのに応じテレビジョン方式についても、いわゆるＨＤ
ＴＶ、ＨＤＴＶなどの新しい諸方式が提案されて来てい
る。そして、高画質・高解像度の再生画像が得られるよ
うにするためには、それに適した撮像装置が必要とされ
るが、撮像素子として撮像管を使用した撮像装置では、
撮像管における電子ビーム径の微小化に限界があるため
に。

電子ビーム径の微小化による高解像度化が望めないこと
、及び、撮像管のターゲット容量はターゲット面積と対
応して増大するものであるために、ターゲット面積の増
大による高解像度化も実現することができないこと、ま
た例えば動画の撮像装置の場合には高解像度化に伴って
映像信号の周波数帯域が数＋Ｍ）Ｉｚ〜数百ＭＨｚ以上
にもなるためにＳ／Ｎの点で問題になる等の理由により
、撮像装置で高画質・高解像度の再生画像を再生させう
るような映像信号を発生させることは困難である。

このように、従来の撮像装置はそれの構成のために不可
欠な撮像素子の存在によって、高画質・高解像度の再生
画像を再生させうるような映像信号を良好に発生させる
ことはできなかったが、前記の点を解決するために、本
出願人会社では先に、光−光変換素子を用いた撮像装置
によって高解像度の光学像を得るとともに、その光学像
を光−電荷変換素子を用いて電荷蓄積層を有する記録媒
体に高解像度を有する電荷像として記録させるようにし
た撮像方式ならびに記録方式についての提案を行った。

ところで、前記した光−光変換素子を用いた撮像装置に
よって高解像度の光学像を得るとともに、その光学像を
光−電荷変換素子を用いて電荷蓄積層を有する記録媒体
に高解像度を有する電荷像として記録させるようにした
本出願人会社による撮像方式ならびに記録方式の実施に
際しては、記録媒体に記録された電荷像を電気信号とし
て読出すことが必要とされるのであり、そのための手段
が求められた。

それで、前記の問題点の解決のために本出願人会社では
先に、透明電極と光変調材層部材と誘電体ミラーとを積
層して構成された読取りヘッドを、それの誘電体ミラー
側が検出の対象にされている表面電位分布を有する被検
出体に近接させて配置する手段と、前記した読取りヘッ
ドにおける透明電極側から所定の方向に偏向されている
レーザ光束を入射させる手段と、前記した読取りヘッド
から出射したレーザ光束を検光子を介して光電変換素子
に与える手段とを備えてなる表面電位分布と対応する電
気信号の発生装置と、透明電極と光変調材層部材と誘電
体ミラーとを積層して構成された読取りヘッドを、それ
の誘電体ミラー側が検出の対象にされている表面電位分
布を有する被検出体に近接させて配置する手段と、前記
した読取りヘッドにおける透明電極側から直線形状の断
面を有するレーザ光束を入射させる手段と、前記した読
取りヘッドから出射した直線形状の断面を有するレーザ
光束を検光子を介してライン・イメージセンサに与える
手段とを備えてなる表面電位分布と対応する電気信号の
発生装置を提案した。

（発明が解決しようとする問題点） ところで、前記した既提案の表面電位分布と対応する電
気信号の発生装置において、それの構成部材の一つとし
て使用している光学部材、すなわち、印加された電界の
強度分布に応じて光の状態を変化させる光変調材層部材
として１例えば、ニオブ酸リチウム単結晶のような電気
光学効果結晶が使用された場合には、ニオブ酸リチウム
単結晶のような異方性結晶−は電界の印加によって複屈
折を生じる他に、無電界中、すなわち印加される電界が
零の初期状態においても結晶の異方性によって複屈折を
生じるから、結晶を通過した常光線と異常光線との位相
差は異方性結晶の厚みによっても変化するために、結晶
の厚みむらがそのまま前記した初期状層の常光線と異常
光線との位相差のむらとなる。

それで、読取りヘッドにおける光変調材層部材に厚みむ
らがあった場合における被検出体の表面電位の検出結果
には、読取りヘッドに用いられている光変調材層部材の
厚−みむらに対応するシェーディングが生じるので５そ
れの解決策が求められた。

（問題点を解決するための手段） 本発明は透明電極と光変調材層部材と誘電体ミラーとを
積層して構成した読取りヘッドと、前記の読取りヘッド
の誘電体ミラー側と表面電位の検出の対象にされている
被検出体の表面とが予め定められた近接した状態の第１
の位置関係と、前記した被検出体の表面電位による電界
が充分に小さな状態として読取りヘッドにおける光変調
材層部材と誘電体ミラーなどの部分に与えられるように
、前記の読取りヘッドの誘電体ミラー側と表面電位の検
出の対象にされている被検出体の表面とが予め定められ
た離隔した第２の位置関係とに順次交互に変更されるよ
うに前記した読取りヘッドと被検出体との位置を相対的
に駆動変位する手段と。

前記した読取りヘッドにおける透明電極側からレーザ光
束を入射させる手段と、前記した読取りヘッドから出射
したレーザ光束を光電変換する手段と、前記した第１．
第２の２つの位置の内で予め定められた一方の位置に読
取りヘッドが位置している状態における被検出体の特定
な部分の表面電位の検出結果と対応して前記の光電変換
手段から出力された電気信号を記憶する信号記憶手段と
、前記した信号記憶手段に記憶させた信号が検出された
被検出体の特定な部分と同一の部分の表面電位を前記し
た第１．第２の２つの位置の内で予め定められた他方の
位置に読取りヘッドが位置している状態で読取りヘッド
によって検出された被検出体の表面電位の検出結果と対
応して前記の光な変換手段から出力された電気信号と、
前記した信号記憶手段から読出された′電気信号との差
信号髪得る手段とからなる表面電位分布と対応する電気
信号の発生装置を提供するものである。

（実施例） 以下、添付図面を参照して本発明の表面電位分布と対応
する電気信号の発生装置について詳細に説明する。第１
図は本発明の表面電位分布と対応する電気信号の発生装
置の一実施例のブロック図、第２図及び第３図は動作説
明用のタイムチャートである。第１＠示の本発明の表面
電位分布と対応する電気信号の発生装置においてＬＳは
レーザ光源、Ｐｄｅｆは光偏向器、Ｌｆｃはｆθレンズ
。

Ｐｂｓはビームスプリッタ、Ｈｒは読取りヘッド、Ｅｔ
は透明電極、ＰＭＬは光変調材層部材、ＤＭＬは誘電体
ミラー、Ｏは表面電位の検出が行われるべき被検出体、
ｗｐは波長板、ＰＬは偏光子、Ｌｆｃは集光レンズ、Ｐ
Ｄは光検出器（光電変換器）、ＳＷは切換スイッチ、Ｌ
　Ｍは１ラインメモリ。

ＳＵＢは減算器、ＤＭは駆動機構であり、レーザ光源Ｌ
Ｓから放射された所定の偏光面を有する直線偏光のレー
ザ光束は、光偏向器Ｐｄｅｆにより所定の偏向態様、例
えば通常のテレビジョン方式の走査方式のように縦横（
水平、垂直）の両方向に偏向されてからｆθレンズＬｆ
ｆｌに入射される。

ｆθレンズＬｆθから出射したレーザ光束は、ビームス
プリッタＰｂｓに入射される。前記のビームスプリッタ
Ｐｂｓは、それに入射したレーザ光を読取りヘッドＨｒ
の方に反射させ、読取りヘッドＨｒにおける透明電極Ｅ
ｔ側から入射させる。

読取りヘッドＨｒに入射した前記のレーザ光束はｆθレ
ンズＬｆθの作用により一定の線速度で走査している状
態のものになっている。

前記した読取りヘッドＨｒとしては例えば透明電極Ｅｔ
と光変調材層部材ＰＭＬ（印加された電圧によって光の
状態を変化させつるような特性を示す光変調材層部材Ｐ
ＭＬ（例えば、電気光学効果を有するニオブ酸すチュウ
ム単結晶のような光変調用の材料層などが用いられる）
）と誘電体ミラーＤＭＬとを積層して構成されている読
取りヘッドが使用できる。

前記したように読取りヘッドＨｒは透明電極Ｅｔと光変
調材層部材ｐＭＬｊ印加された電圧によって光の状態を
変化させうるような特性を示す光変調材層部材ＰＭＬ（
例えば、電気光学効果を有するニオブ酸すチュウム単結
晶のような光変調用の材料層などが用いられる））と誘
電体ミラーＤＭＬとを積層して構成されている。

そして５本発明の表面電位分布と対応する電気信号の発
生装置においては、読取りへ、ラドＨｒによる被検出体
Ｏの表面電位の検出に際して、読取リヘッドＨｒの誘電
体ミラーＤＭし側と表面電位の検出の対象にされている
被検出体０の表面とが予め定められた近接した状態の第
１の位置関係と、前記した被検出体０の表面電位による
電界が充分に小さな状態として読取りヘッドＨｒにおけ
る光変調材層部材ＰＭＬと誘電体ミラーＤＭＬなとの部
分に与えられるように、前記の読取りヘッドＨｒの誘電
体ミラーＤＭＬ側と表面電位の検出の対象にされている
被検出体０の表面とが予め定められた離隔した第２の位
置関係とに順次交互に変更されるように前記した読取り
ヘッドＨｒと被検出体０との位置が駆動機構ＤＭによっ
て相対的に駆動変位されるようになされている。

第１図示の実施例においては、前記した駆動機構ＤＭと
して、それの制御信号の供給端子１に駆動信号Ｐｄが供
給されたときに、読取りヘッドＨｒの誘電体ミラーＤＭ
Ｌ側が被検出体０の表面に接近して対面している予め定
められた第１の位置と、被検出体Ｏの表面から離隔した
状態で対面している予め定められた第２の位置とに順次
交互に位置させうるように、読取りヘッドＨｒを駆動変
位させるような構成のものが用いられているが。

本発明の表面電位分布と対応する電気信号の発生装置の
構成に当っては、読取りヘッドＨｒによる被検出体０の
表面電位の検出に際して、読取りヘッドＨｒの誘電体ミ
ラーＤＭＬ側と表面電位の検出の対象にされている被検
出体Ｏの表面とが予め定められた近接した状態の第１の
位置関係と、前記した被検出体０の表面電位による電界
が充分に小さな状態として読取りヘッドＨｒにおける光
変調材層部材ＰＭＬと誘電体ミラーＤＭＬなどの部分に
与えられるように、前記の読取りヘッドＨｒの誘電体ミ
ラーＤＭＬ側と表面電位の検出の対象にされている被検
出体Ｏの表面とが予め定められた離隔した第２の位置関
係とに順次交互に変更されるように前記した読取りヘッ
ドＨｒと被検出体０との位置が駆動機構ＤＭによって相
対的に駆動変位できるような駆動装置であれば、第１図
示の構成例のように読取りヘッドＨｒの方が駆動機構Ｄ
Ｍによって駆動変位されるようになされても。

あるいは前記とは逆に被検出体０の方が駆動機構ＤＭに
よって駆動変位されるようになされてもよいのであり、
また、駆動機構としてはそれの駆動の原理が電磁型、動
電型、電歪型等の何れのものであってもよい。

第１図中に示されている駆動機構ＤＭは、所謂ボイスコ
イル・モータとして構成されていて、図において４は磁
界発生部、５は可動コイル部、６は中心保持部、７は駆
動機構ＤＭと読取りヘッドＨｒとの連結部であり、駆動
部ＤＭにおける端子１に駆動用電力が供給されると可動
コイル５を含む可動部分が図中の矢印Ｘの方向に所定の
距離で往復運動を行うことにより、読取りヘッドＨｒの
誘電体ミラーＤＭＬ側が被検出体０の表面に接近して対
面している予め定められた第１の位置と。

前記した被検出体０の表面電位による電界が充分に小さ
な状態として読取りヘッドＨｒにおける光変調材層部材
ＰＭＬと誘電体ミラーＤＭＬなどの部分に与えられるよ
うに、表面電位の検出の対象、にされている被検出体○
がら離隔した予め定められた第２の位置とに順次交互に
位置させつるようになされている。

読取りヘッドＨｒにおける光変調材層部材ＰＭＬには前
記した誘電体ミラーＤＭＬを介して被検出体Ｏによる電
界が与えられているから、前記のように読取りヘッドＨ
’ｒに入射したレーザ光束は、前記した電荷像読取りヘ
ッドＨｒにおりる前記した誘電体ミラーＤＭＬの側に与
えられた電荷パターンで生じている電界に応じて光変調
材層部材ＰＭ　Ｌを通過する光の状態（前記の例の場合
には偏光面の角度）が変化する。

それで前記のように読取りヘッドＨｒの透明電極Ｅｔ側
から入射したレーザ光束が、光変調材層部材ＰＭＬを通
過して誘電体ミラーＤＭＬにより反射した後に再び光変
調材層部材ＰＭＬを通過して透明電極Ｅｔの面から出射
した光の状態（前記の例の場合には偏光面の角度）は、
前記した被検出体０における電荷像の電位分布と対応し
て変化しているものになっている。

前記のように読取りヘッドＨｒからの出射光は、読取り
ヘッドＨｒへの入射光が被検出体における表面電位分布
に応じて偏光面の回転量が変化している状態のものであ
る。それで読取りヘッドＨｒからの出射光がビームスプ
リッタＰｂｓで反射されてから、必要に応じて設けられ
ている光量調節用の波長板ＷＰと、偏光面の回転量を明
るさの変化に変換するための偏光子ＰＬとを介して、集
光レンズＬｆｃに入射させ、前記の集光レンズＬ　ｆＣ
の集光点の位置に光検出器（光電変換器）ＰＤを配買、
しておくと、前記の光電変換器ＰＤからはレーザ光束の
走査により被検出体Ｏにおける電荷像の各部分の電荷量
に応じて振幅が変化している電気信号（映像信号）が得
られる。

すなわち、読取りヘッドＨｒに入射されているレーザ光
が縦横の両方向に２次元的な走査（テレビジョン方式に
おける水平走査と垂直走査と同様な２次元的な走査）を
行うと、被検出体０における２次元的な電荷像は時系列
信号として前記の光な変換器ＰＤから取出されるごとに
なる。

前記のように光電変換ＩＩＰＤから出力される映像信号
は、被検出体Ｏにおける高い精細度を有する二次元的な
電荷像における電荷量分布と対応しているものになって
いる。それで、読出し光として、例えば直径が１ミクロ
ンのレーザ光束をレーザ光束を使用した場合には、１０
００本／　１　ｍ　ｍというような高い解像度と対応す
る映像信号が発生できる。

ところで１本発明の表面電位分布と対応する電気信号の
発生装置では、読取りヘッドＨｒの誘電体ミラーＤＭＬ
側が表面電位の検出の対象にされている被検出体Ｏの表
面に接近して対面している予め定められた近接した状態
の第１の位置関係と。

前記した被検出体０の表面電位による電界が充分に小さ
な状態として読取りヘッドＨｒにおける光変調材層部材
Ｐ　Ｍ　Ｌと誘電体ミラーＤＭＬなどの部分に与えられ
るように、前記の読取りヘッドＨｒの誘電体ミラーＤＭ
Ｌ側と表面電位の検出の対象にされている被検出体０の
表面とが予め定められた離隔した第２の位置関係とに順
次交互に変更されるように前記した読取りヘッドＨｒど
被検出体Ｏとの位置が相対的に駆動変位されていて、読
取りヘッドＨｒによる被検出体０の電荷像の読取り動作
は、被検出体０の電荷像の同一の部分について、読取り
ヘッドＨｒが被検出体０に接近した状態で対面している
予め定められた第１の位置関係と、被検出体Ｏの表面か
ら離隔した状態で対面している予め定められた第２の位
！！関係との双方の位置関係において行われるようにし
ているが、前記した第２の位置関係となるように読取ヘ
ッドＨｒと被検出体Ｏとが相対的に位置された状態にお
いては、読取りヘッドＨｒの光変調材層部材ＰＭＬと誘
電体ミラーＤＭＬなとの部分には、被検出体Ｏの表面電
位による電界が充分に小さな状態（無視できる程度に小
さな状態）として与えられているために、読取りヘッド
Ｈｒと被検出体０とが相対的に前記した第２の位置関係
となるように位置されている状態において、読取ヘッド
Ｈｒによって検出される被検出体０の表面電位の検出結
果は被検出体Ｏの表面電位を示しているものではなく、
読取りヘッドＨｒの光変調材層部材ＰＭＬの厚みのむら
の状態を示しているものとなる。

それで１本発明の表面電位分布と対応する電気信号の発
生装置においては、前記した第１．第２の２つの位置関
係の内で予め定められた一方の位置関係となされるよう
に読取りヘッドＨｒと被検出体との相対的な位置が定め
られた場合における被検出体０の特定な部分の表面電位
の検出結果と対応して前記の光電変換器ＰＤから出力さ
れた電気信号を記憶装置に記憶させておき、その記憶装
置に記憶させた信号が検出された被検出体０の特定な部
分と同一の部分の表面電位を前記した第１゜第２の２つ
の位置関係の内で予め定められた他方の位置関係となさ
れるようにに読取りヘッドＨｒと被検出体との相対的な
位置が定められた場合における被検出体Ｏの特定な部分
の表面電位の検出結果と対応して前記の光電変換器ＰＤ
から出力された電気信号と、前記した記憶装置から読出
されたｉｔ懺倍信号の差信号を得ることにより、読取り
ヘッドＨｒからの検出々力として読取りヘッドＨｒの光
変調材層部材Ｐ　Ｍ　Ｌの厚みのむらの影響のない状態
のものが得られるようにしているのであり、第１図示の
実施例において前記のような信号処理は、切換スイッチ
ＳＷ、１、ラインメモリＬＭ、減算器Ｓ　Ｕ　Ｂとによ
って構成された回路によって行われており、減算器Ｓ　
Ｕ　Ｂから出力端子３には読取りヘッドＨｒの光変調材
層部材ＰＭＬの厚みのむらの影響のない検出々力が送出
される。

第１図において、光電変換器ＰＤからの出力信号は切換
スイッチＳＷの可動接点Ｃに供給されており、この切換
スイッチＳＷの可動接点Ｃは切換制御信号の供給端子２
に供給される切換側４ｉＩ信号により所定の切換周期で
固定接点ａと固定接点すとに順次交互に切換えられてい
る。前記した切換スイッチＳＷの固定接点ａには１ライ
ンメモリＬＭが接続されていて、この１ラインメモリＬ
　Ｍからの出力信号は減算器Ｓ　Ｕ　Ｂの一方入力端子
に供給されている。また、前記した切換スイッチＳＷの
固定接点すには減算器ＳＵＢの他方入力が接続されてい
る。

第１図示の構成例は被検出体Ｏにおける電荷像の同一部
分について、読取りヘッドＩ−１ｒが既述した第１の位
置関係となされて被検出体Ｏの表面電位が１水平走査期
間分だけ検出され、また、読取りヘッドＨｒが既述した
第２の位置関係となされて被検出体Ｏの表面電位が１水
平走査期間分だけ検出されて、前記の各１水平走査期間
の信号の差信号を得るようにされた場合１示しているの
で、記憶装置としては１．ラインメモリＬ　Ｍを使用し
ているが、記憶装置としてフィールドメモリあるいはフ
レームメモリを使用して、被検出体０における電荷像の
同一部分について、読取りヘッドＨｒを既述した第１の
位置関係にして被検出体０の表面電位を１フイ一ルド期
間または１フレ一ム期間分だけ検出し、また、読取りヘ
ッドＨｒを既述した第２の位置関係にして被検出体Ｏの
表面電位を１フイ一ルド期間または１フレ一ム期間分だ
け検出して、前記の１フイ一ルド期間または】−フレー
ム期間の差信号を得るようにしたり、その他、任意の期
間における差信号が得られるように構成されてもよいこ
とは当然である。

第２図及び第３図は第１図示の構成例の場合のように、
被検出体Ｏにおける電荷像の同一部分について、読取り
ヘッドＨｒを既述した第１の位置関係になるようにして
被検出体Ｏの表面電位を１水平走査期間分だけ検出し、
また、読取りヘッドＨｒを既述した第２の位置関係にな
るようにして被検出体０の表面電位を１水平走査期間分
だけ検出して、前記の各１水平走査期間の信号の差信号
を得るようにした場合の動作例を示しているものであり
、第２図及び第３図における各（ａ）は各１水平走査期
間の番号を示し、第２図及び第３図における各（ｂ）は
各１−ラインメモリＬＭの動作モードを示し、さらに、
第２図及び第３図における各（Ｃ）は読取りヘッドＨｒ
が第１．第２の位置のどちらに位置しているのかを示し
ている。第２図及び第３図における各（Ｑ）中の「近」
は読取りヘッドＨｒが第１の位置に位置している状態、
第２図及び第３図における各（Ｑ）中の「離」は読取り
ヘッドＨｒが第２の位置に位置している状態を、それぞ
れ表示している。

（発明の効果） 以北、詳細に説明したところから明らかなように５本発
明の表面電位分布と対応する電気信号の発生装置は透明
電極と光変調材層部材と誘電体ミラーとを積層して構成
した読取りヘッドと、前記の読取りヘッドの誘電体ミラ
ー側と表面電位の検出の対象にされている被検出体の表
面とが予め定められた近接した状態の第１の位置関係と
、前記した被検出体の表面電位による電界が充分に小さ
な状態として読取りヘッドにおける光変調材層部材と誘
電体ミラーなどの部分に与えられるように、前記の読取
りヘッドの誘電体ミラー側と表面電位の検出の対象にさ
れている被検出体の表面とが予め定められた離隔した第
２の位置関係とに順次交互に変更されるように前記した
読取りヘッドと被検出体との位置を相対的に駆動変位す
る手段と、前記した読取りヘッドにおける透明１１！！
極側からレーザ光束を入射させる手段と、前記した読取
りヘッドから出射したレーザ光束を光電変換する手段と
、面記した第１．第２の２つの位置の内で予め定められ
た一方の位置に読取りヘッドが位置している状態におけ
る被検出体の特定な部分の表面電位の検出結果と対応し
て前記の光電変換手段から出力された電気信号を記憶す
る信号記憶手段と、前記した信号記憶手段に記憶させた
信号が検出された被検出体の特定な部分と同一の部分の
表面電位を前記した第１．第２の２つの位置の内で予め
定められた他方の位置に読取りヘットが位置している状
態で読取りヘッドによって検出された被検出体の表面電
位の検出結果と対応してｉｑ記の光な変換手段から出力
された電気信号と、前記した信号記憶手段から読出され
た電気信号との差４３号を得る手段とからなる表面電位
分布と対応する電気信号の発生装置であるから、この本
発明の表面電位分布と対応する電気信号の発生装置では
電荷像として記録されている電荷像を光学的な読取り手
段によ、りて高画質・高解像度の再生画像を再生させる
ことの可能な映像信号を容易に発生させる場合に使用さ
れる読取りヘッドの構成部材の−・一つとして使用して
いる光学部材、すなわち、印加された電界の強度分布に
応じて光の状態を変化させろ光変調材層部材として、例
えば、ニオブ酸リチウム単結晶のような電気光学効果結
晶が使用された場合に、ニオブ酸リチウム単結晶のよう
な異方性結晶は電界の印加によって複屈折を生じる他に
。

無電界中、すなわち印加される電界が零の初期状態にお
いても結晶の異方性によって複屈折を生じるために、結
晶を通過した常光線と異常光線との位相差は異方性結晶
の厚みによっても変化して、結晶の厚みむらがそのまま
前記した初期状態の常光線と異常光線との位相差のむら
どなり、読取りヘッドにおける光変調材層部材に厚みむ
らがあった場合の被検出体の表面電位の検出結果に、読
取りヘッドに用いられている光変調材層部材の厚みむら
に対応するシェーディングが生じるという従来の欠点を
簡単な手段により良好に解決することができるのである
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の表面電位分布と対応する電気信号の発
生装置の一実施例のブロック図、第２図及び第３図は動
作説明用のタイムチャートである９ＬＳ・・・レーザ光
源、ＰＬ・・・偏光子、Ｐｂｓ・・・ビームスプリッタ
、ＷＰ・・・波長板、Ｐｄ５ｆ・・・光偏向器、０・・
・表面電位の検出が行われるべき被検出体、Ｈｒ・・・
読取りヘッド、Ｅｔ・・・透明電極、ＰＭＬ・・・光変
調材層部材、ＤＭＬ・・・誘電体ミラー、Ｌｆθ・・・
ｆθレンズ、Ｌｆｃ・・・集光レンズ、ＰＤ・・・光検
出器（光電変換器）、ＳＷ・・・切換スイッチ、ＬＭ・
・・１ラインメモリ、ＳＵＢ・・・減算器、ＤＭ・・・
駆動機構、 特許出願人　　日本ビクター株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 透明電極と光変調材層部材と誘電体ミラーとを積層して
   構成した読取りヘッドと、前記の読取りヘッドの誘電体
   ミラー側と表面電位の検出の対象にされている被検出体
   の表面とが予め定められた近接した状態の第１の位置関
   係と、前記した被検出体の表面電位による電界が充分に
   小さな状態として読取りヘッドにおける光変調材層部材
   と誘電体ミラーなどの部分に与えられるように、前記の
   読取りヘッドの誘電体ミラー側と表面電位の検出の対象
   にされている被検出体の表面とが予め定められた離隔し
   た第２の位置関係とに順次交互に変更されるように前記
   した読取りヘッドと被検出体との位置を相対的に駆動変
   位する手段と、前記した読取りヘッドにおける透明電極
   側からレーザ光束を入射させる手段と、前記した読取り
   ヘッドから出射したレーザ光束を光電変換する手段と、
   前記した第１、第２の２つの位置の内で予め定められた
   一方の位置に読取りヘッドが位置している状態における
   被検出体の特定な部分の表面電位の検出結果と対応して
   前記の光電変換手段から出力された電気信号を記憶する
   信号記憶手段と、前記した信号記憶手段に記憶させた信
   号が検出された被検出体の特定な部分と同一の部分の表
   面電位を前記した第１、第２の２つの位置の内で予め定
   められた他方の位置に読取りヘッドが位置している状態
   で読取りヘッドによって検出された被検出体の表面電位
   の検出結果と対応して前記の光電変換手段から出力され
   た電気信号と、前記した信号記憶手段から読出された電
   気信号との差信号を得る手段とからなる表面電位分布と
   対応する電気信号の発生装置