JPH02121108A - 薄膜磁気ヘッド検査装置のヘッド位置決め方式 - Google Patents
薄膜磁気ヘッド検査装置のヘッド位置決め方式Info
- Publication number
- JPH02121108A JPH02121108A JP63272306A JP27230688A JPH02121108A JP H02121108 A JPH02121108 A JP H02121108A JP 63272306 A JP63272306 A JP 63272306A JP 27230688 A JP27230688 A JP 27230688A JP H02121108 A JPH02121108 A JP H02121108A
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- Japan
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
この発明は、薄膜磁気ヘッド検査装置におけるヘッドの
位置決め方式に関し、詳しくはコア幅の狭い薄膜ヘッド
の、温度による位置ずれを補正する方式に関する。
位置決め方式に関し、詳しくはコア幅の狭い薄膜ヘッド
の、温度による位置ずれを補正する方式に関する。
［従来の技術］
磁気ディスク装置に使用される磁気ヘッドは、第３図に
ボすように、磁気ヘッド１の筐体１ａにヘッドコア１ｂ
が取り付けられ、コアの先端部ＩＣは回転する磁気ディ
スク２の表面より微小高滓−トして情報データの書込み
／読み出し動作が行われる。先端部１ｃの幅Ｗは、現在
は１０〜２０μｍ程度で、これによりトラックＴに書込
まれる。
ボすように、磁気ヘッド１の筐体１ａにヘッドコア１ｂ
が取り付けられ、コアの先端部ＩＣは回転する磁気ディ
スク２の表面より微小高滓−トして情報データの書込み
／読み出し動作が行われる。先端部１ｃの幅Ｗは、現在
は１０〜２０μｍ程度で、これによりトラックＴに書込
まれる。
今後、磁気ディスクの高密度化がますます進展し、これ
に対応してコア幅Ｗは１０μｍ以下になる可能性が有る
。
に対応してコア幅Ｗは１０μｍ以下になる可能性が有る
。
磁気ヘッドは製造段階で、磁気ヘッド検査装置により性
能が検査される。検査においては、被検査ヘッドにより
測定用のディスクの適当なトラックにデータを書込み、
これを読み出して行われるが、その際ヘッドがトラック
に正しく位置決めされることが必要である。通常、従来
のコアの場合は、磁化の自゛効幅に対″して、ヘッドの
位置ずれ量は許容できる範囲である為、格別に精密な位
置決め対策が行われていない。なお、磁気ディスク装置
の実機においては、ディスクの全面の多数のトラックに
ヘッドがそれぞれ追従する必要があるので、サーボ方式
により位置決めがなされてお１）、この点がヘッド検査
と異なるものである。
能が検査される。検査においては、被検査ヘッドにより
測定用のディスクの適当なトラックにデータを書込み、
これを読み出して行われるが、その際ヘッドがトラック
に正しく位置決めされることが必要である。通常、従来
のコアの場合は、磁化の自゛効幅に対″して、ヘッドの
位置ずれ量は許容できる範囲である為、格別に精密な位
置決め対策が行われていない。なお、磁気ディスク装置
の実機においては、ディスクの全面の多数のトラックに
ヘッドがそれぞれ追従する必要があるので、サーボ方式
により位置決めがなされてお１）、この点がヘッド検査
と異なるものである。
［解決しようとする課題］
今後状コア幅ヘッドの検査においては長時間を要する場
合がある。その間にディスクヘッドおよびこれを支持す
るアーム部分などが温度により伸縮すると、ヘッドの先
端部の幅が狭いのでトラックに対する位置ずれが無視で
きない。これをサーマルオフトラックといい、検査の信
頼性が低下する。これに対して、従来のサーボ方式はサ
ーボデータを８（為のクロック回路、データパターンＧ
ＥＮ１ポジシＨニンク回路等複雑な構成でヘッドテスタ
用として必ずしも有効でない。そこで、位置ずれを補正
する簡易で精密な位置決め方式が望まれる所以である。
合がある。その間にディスクヘッドおよびこれを支持す
るアーム部分などが温度により伸縮すると、ヘッドの先
端部の幅が狭いのでトラックに対する位置ずれが無視で
きない。これをサーマルオフトラックといい、検査の信
頼性が低下する。これに対して、従来のサーボ方式はサ
ーボデータを８（為のクロック回路、データパターンＧ
ＥＮ１ポジシＨニンク回路等複雑な構成でヘッドテスタ
用として必ずしも有効でない。そこで、位置ずれを補正
する簡易で精密な位置決め方式が望まれる所以である。
［課題を解決するための手段コ
この発明は、スピンドルにより回転する測定ディスクの
適当なトラックに、被検査の薄膜ヘッドによりデータを
書込み／読み出しして行う検査装置におけるヘッドの位
置決め方式である。測定ディスクのトラックに対して位
置検出ヘッドによりあらかじめ位置信号を８込み、これ
を読み出して、位置検出ヘッドおよび被検査ヘッドの位
置ずれを検出し、キャリッジ機構により位置検出ヘッド
を移動して位置ずれを０に補正し、補正されたキャリッ
ジ機構の位置をレーザ測長器により検出してその位置の
データをメモリ上記憶し、記憶されたデータの位置にお
いて、被検査ヘッドの検査を行う。時間経過に従って温
度により生じた位置検出ヘッドの位置ずれに対して、一
定時間ごとに上記の補正を行い、補正されたキャリッジ
機構の位置に対するメモリのデータを更新して検査を継
続する。
適当なトラックに、被検査の薄膜ヘッドによりデータを
書込み／読み出しして行う検査装置におけるヘッドの位
置決め方式である。測定ディスクのトラックに対して位
置検出ヘッドによりあらかじめ位置信号を８込み、これ
を読み出して、位置検出ヘッドおよび被検査ヘッドの位
置ずれを検出し、キャリッジ機構により位置検出ヘッド
を移動して位置ずれを０に補正し、補正されたキャリッ
ジ機構の位置をレーザ測長器により検出してその位置の
データをメモリ上記憶し、記憶されたデータの位置にお
いて、被検査ヘッドの検査を行う。時間経過に従って温
度により生じた位置検出ヘッドの位置ずれに対して、一
定時間ごとに上記の補正を行い、補正されたキャリッジ
機構の位置に対するメモリのデータを更新して検査を継
続する。
ｈ記において、スピンドルに装着され測定ディスクと同
一回転する角度ディスクより検出された角度信号よ１）
、一定のパルス幅で互いに１８０’の位相差を有する２
個のゲートパルス列を発生し、位置検出ヘッドによ１）
、測定ディスクの隣接する２トラックにゲートパルス列
に従った１８０°の位相差を有する２個の位置信号をそ
れぞれ３込む。
一回転する角度ディスクより検出された角度信号よ１）
、一定のパルス幅で互いに１８０’の位相差を有する２
個のゲートパルス列を発生し、位置検出ヘッドによ１）
、測定ディスクの隣接する２トラックにゲートパルス列
に従った１８０°の位相差を有する２個の位置信号をそ
れぞれ３込む。
この２個の位置信号を位置検出ヘッドにより同時に読み
出して、その差分信号によ１）、２個のトラックの中心
に対する位置検出ヘッドの位置ずれを求めるものである
。
出して、その差分信号によ１）、２個のトラックの中心
に対する位置検出ヘッドの位置ずれを求めるものである
。
［作用］
以りによるヘッドの位置決め方式においては、薄膜ヘッ
ドに対して長時間杼われる連続検査に対して、検査前に
、位置検出ヘッドにより検出された２個の位置信号の差
分信号が０となる、すなわち位置すれが０となるように
、キャリッジ機構により位置検出ヘッドを移動して位置
ずれを０に補正する。補正されたキャリッジ機構の位置
をレーザ測長器により検出して、そのデータをメモリ上
記録し、この位置を基準に検査ヘッドに対する検査を打
う。この場合、レーザ測長器の検出精度が極めて高度で
あるので、検出位置は高精度である。
ドに対して長時間杼われる連続検査に対して、検査前に
、位置検出ヘッドにより検出された２個の位置信号の差
分信号が０となる、すなわち位置すれが０となるように
、キャリッジ機構により位置検出ヘッドを移動して位置
ずれを０に補正する。補正されたキャリッジ機構の位置
をレーザ測長器により検出して、そのデータをメモリ上
記録し、この位置を基準に検査ヘッドに対する検査を打
う。この場合、レーザ測長器の検出精度が極めて高度で
あるので、検出位置は高精度である。
また、位置検出ヘッドと被検台ヘッドはともにキャリッ
ジ機構に取り付けられて同時に移動するので、上記の補
正により被検査ヘッドもテストデータトラークに対して
正しく位置決めされる。時間経過によ１）、ヘッド自身
および支持アームなどが温度変化してヘッドの位置ずれ
が生じても、一定時間ごとに補正を行い、メモリのデー
タを更新して、更新された位置において検査を継続する
。
ジ機構に取り付けられて同時に移動するので、上記の補
正により被検査ヘッドもテストデータトラークに対して
正しく位置決めされる。時間経過によ１）、ヘッド自身
および支持アームなどが温度変化してヘッドの位置ずれ
が生じても、一定時間ごとに補正を行い、メモリのデー
タを更新して、更新された位置において検査を継続する
。
なお、メモリのデータによ１）、ヘッドの位置ずれを時
系列で把握することもできる。
系列で把握することもできる。
上記の位置信号は、角度ディスクよりの角度信号を用い
て発生した２個のゲートパルス列によ１）、測定ディス
クの隣接する２個のトラックにそれぞれ書込まれ、これ
を位置検出ヘッドにより読み出して、その差分信号を作
１）、上記のように差分信号が０となるように、キャリ
ッジ機構により各ヘッドを移動することによ１）、各ヘ
ッドはトラックに対して位置決めされるものである。
て発生した２個のゲートパルス列によ１）、測定ディス
クの隣接する２個のトラックにそれぞれ書込まれ、これ
を位置検出ヘッドにより読み出して、その差分信号を作
１）、上記のように差分信号が０となるように、キャリ
ッジ機構により各ヘッドを移動することによ１）、各ヘ
ッドはトラックに対して位置決めされるものである。
［実施例コ
第１図は、この発明による薄膜磁気ヘッド検査装置のヘ
ッド位置決め方式の実施例の構成図である。図において
、スピンドル３に２枚のｆｆ１ｌｌ 定ディスク２−１
．２−２と、角度ディスク２−３が装着されて各ディス
クは同一方向に回転する。測定ディスクに対して、被検
査の薄膜へラドＩ−１，１−２と位置検出ヘッド１−３
が設けられ、各ヘッドは共通のキャリッジ機構５に支持
される。キャリッジ機構５はボイスコイルなどの適当な
駆動機構５３により駆動され、各ヘッドは所定のトラッ
クの位置に対面する。ここで、２個の被検査ヘノトド１
．ト２は、それぞれディスク２の下面側に対応するアッ
プヘッドと上面側に対応するダウンヘッドで、両者の構
造が異な１）、これらを同時に検査するものである。次
に、角度ディスク２−３に対して、インデックス検出セ
ンサ４−１．角度検出センサ４−２が設けられる。
ッド位置決め方式の実施例の構成図である。図において
、スピンドル３に２枚のｆｆ１ｌｌ 定ディスク２−１
．２−２と、角度ディスク２−３が装着されて各ディス
クは同一方向に回転する。測定ディスクに対して、被検
査の薄膜へラドＩ−１，１−２と位置検出ヘッド１−３
が設けられ、各ヘッドは共通のキャリッジ機構５に支持
される。キャリッジ機構５はボイスコイルなどの適当な
駆動機構５３により駆動され、各ヘッドは所定のトラッ
クの位置に対面する。ここで、２個の被検査ヘノトド１
．ト２は、それぞれディスク２の下面側に対応するアッ
プヘッドと上面側に対応するダウンヘッドで、両者の構
造が異な１）、これらを同時に検査するものである。次
に、角度ディスク２−３に対して、インデックス検出セ
ンサ４−１．角度検出センサ４−２が設けられる。
検査作業に先１γっで位置決めが行われる。位置決めの
ための位置信号を第２図に示し、これを併用して各部の
動作を説明する。回転する角度ディスク２−３よ１）、
インデックス検出センサ４−１によりトラックの起点を
示すインデックス（ＩＮＤＥＸ）信号が検出され、これ
に続いて、角度検出センサ４−２によりディスクの回転
角度（ＡＮＧＬＥ）信シ３が検出される。角度信号は、
１トラックを適当数に等分割するセンサ出力である。タ
イミング発生器（ＧＥＮ）６において、角度信号より図
示のような１８０°の位相差を自する２個のゲートパル
ス列’ｒｏ ＧＡＴＥとＴＩ ＧＡＴＥが発生され、こ
れ゛らにより書込み／読み出し増幅Ｚ （Ｒ／ＷＡＭＰ
）７が制御される。適当な周波数のパルス発振Ｗ （Ｏ
３Ｃ）８よりのパルスは、Ｔｏ ＧＡＴＥにより制御さ
れて位置検出ヘッド１−３により測定ディスク２−２の
下面のトラックＴｏに書込まれ、ついで、ＴＩＧＡＴＥ
に制御されたパルスがＴ。
ための位置信号を第２図に示し、これを併用して各部の
動作を説明する。回転する角度ディスク２−３よ１）、
インデックス検出センサ４−１によりトラックの起点を
示すインデックス（ＩＮＤＥＸ）信号が検出され、これ
に続いて、角度検出センサ４−２によりディスクの回転
角度（ＡＮＧＬＥ）信シ３が検出される。角度信号は、
１トラックを適当数に等分割するセンサ出力である。タ
イミング発生器（ＧＥＮ）６において、角度信号より図
示のような１８０°の位相差を自する２個のゲートパル
ス列’ｒｏ ＧＡＴＥとＴＩ ＧＡＴＥが発生され、こ
れ゛らにより書込み／読み出し増幅Ｚ （Ｒ／ＷＡＭＰ
）７が制御される。適当な周波数のパルス発振Ｗ （Ｏ
３Ｃ）８よりのパルスは、Ｔｏ ＧＡＴＥにより制御さ
れて位置検出ヘッド１−３により測定ディスク２−２の
下面のトラックＴｏに書込まれ、ついで、ＴＩＧＡＴＥ
に制御されたパルスがＴ。
に隣接するトラックＴｌに書込まれる。
次に、位置決めにおいては、位置検出ヘッド１−３をト
ラックＴｏとＴＩの中心付近に置いて、両トラックの位
置信号をＴｏとＴ１のＧＡＴＥでそれぞれ同時に読み出
す。読み出された信号をＴ。
ラックＴｏとＴＩの中心付近に置いて、両トラックの位
置信号をＴｏとＴ１のＧＡＴＥでそれぞれ同時に読み出
す。読み出された信号をＴ。
ＲＤＯＵＴ、ＴＩ ＲＤＯＵＴで示す。これらはそれぞ
れレベル検出器（ＴＱ ） ９−１と（Ｔｔ ） ９−
２で検波されて、電圧”Ｏ＋Ｖ１が出力され、差分回路
ＩＯにより差電圧（ｖ□ −ｖｌ ）が求められる。
れレベル検出器（ＴＱ ） ９−１と（Ｔｔ ） ９−
２で検波されて、電圧”Ｏ＋Ｖ１が出力され、差分回路
ＩＯにより差電圧（ｖ□ −ｖｌ ）が求められる。
この差電圧は制御装置１１に入力して差電圧が０となる
ように、駆動機構５８によりキャリッジ機構５を移動し
て補正する。補正されたキャリッジ機構５の位置は、レ
ーザ測長器１２により検出されてその位置データは制御
装置１１に設けられているメモリ上記憶される。
ように、駆動機構５８によりキャリッジ機構５を移動し
て補正する。補正されたキャリッジ機構５の位置は、レ
ーザ測長器１２により検出されてその位置データは制御
装置１１に設けられているメモリ上記憶される。
以上の位置決めを行った後、この位置を基準にして位置
決め後測定系１４、Ｒ／ＷＡＭＰＩ３および被検査ヘッ
ドＩ−１，１２によ１）、テストデータの書込み／読み
出しによる検査が行われる。被検査ヘッドを長時間連続
して検査する場合は、一定時間ごとに上記の補正を行い
、補正されたキャリッジ機構５の位置を、その都度レー
ザ測長器１２により検出してメモリのデータを更新し、
検査を継続するものである。
決め後測定系１４、Ｒ／ＷＡＭＰＩ３および被検査ヘッ
ドＩ−１，１２によ１）、テストデータの書込み／読み
出しによる検査が行われる。被検査ヘッドを長時間連続
して検査する場合は、一定時間ごとに上記の補正を行い
、補正されたキャリッジ機構５の位置を、その都度レー
ザ測長器１２により検出してメモリのデータを更新し、
検査を継続するものである。
［発明の効果コ
以上の説明により明らかなように、この発明によるヘッ
ド位置決め方式においては、ヘッドヲ移動するキャリッ
ジ機構の位置が、適時に位置信号により補正されて被検
査ヘッドが対応するトラックに正しく位置決めされる。
ド位置決め方式においては、ヘッドヲ移動するキャリッ
ジ機構の位置が、適時に位置信号により補正されて被検
査ヘッドが対応するトラックに正しく位置決めされる。
キャリッジ機構の位置は、検査前および検査中の一定時
間ごとにレーザｉ１′ＩＩＩ長器により精密に検出され
、メモリのデータが更新されて位置ずれが時系列的に把
握されるもので、従来の磁気ディスク装置に使用されて
いるサーボ方式に比較してより簡易な構成によ１）、狭
コア幅ヘッドのＲ／Ｗにおける信頼性の高い検査がｎＪ
能とな１）、また、時系列データが温度に対するヘッド
の位置ずれ現象の解析に役立つもので、ヘッドからみた
スピンドルキャリッジの位置変位の分析も可能である。
間ごとにレーザｉ１′ＩＩＩ長器により精密に検出され
、メモリのデータが更新されて位置ずれが時系列的に把
握されるもので、従来の磁気ディスク装置に使用されて
いるサーボ方式に比較してより簡易な構成によ１）、狭
コア幅ヘッドのＲ／Ｗにおける信頼性の高い検査がｎＪ
能とな１）、また、時系列データが温度に対するヘッド
の位置ずれ現象の解析に役立つもので、ヘッドからみた
スピンドルキャリッジの位置変位の分析も可能である。
第１図はこの発明による薄膜磁気ヘッド検査装置のヘッ
ド位置決め方式の実施例の構成図、第２図は第１図にお
ける位置信号のタイムチャート、第３図は磁気ヘッドの
動作の説明図である。 １・・・磁気ヘッド、 Ｉａ・・・ヘッドノ筐体
、１ｂ・・・ヘッドコアＮ ｌｃ・・・コアの先
端部、１−１．１２・・・被検査薄膜ヘッド（被検査ヘ
ッド）、１３・・・角度検出ヘッド、２・・・磁気ディ
スク、２−１．２−２・・・ｄｌｌ＋定ディスク、２−
３・・・角度ディスク、３・・・スピンドル、 ４−１・・・インデックス検出センサ、４−２・・・角
度検出センサ、５・・・キャリッジ機構、５ａ・・・駆
動機構、 ６・・・タイミング発生′器、７・・
・Ｒ／ＷＡＭＰ、 ８・・・パルス発振器、９・
・・レベル検出器、１０・・・差分回路、■・・・制御
装置、 １２・・・レーザ測長器、１３・・・Ｒ
／ＷＡＭＰ、 ＋４・・・測定系。
ド位置決め方式の実施例の構成図、第２図は第１図にお
ける位置信号のタイムチャート、第３図は磁気ヘッドの
動作の説明図である。 １・・・磁気ヘッド、 Ｉａ・・・ヘッドノ筐体
、１ｂ・・・ヘッドコアＮ ｌｃ・・・コアの先
端部、１−１．１２・・・被検査薄膜ヘッド（被検査ヘ
ッド）、１３・・・角度検出ヘッド、２・・・磁気ディ
スク、２−１．２−２・・・ｄｌｌ＋定ディスク、２−
３・・・角度ディスク、３・・・スピンドル、 ４−１・・・インデックス検出センサ、４−２・・・角
度検出センサ、５・・・キャリッジ機構、５ａ・・・駆
動機構、 ６・・・タイミング発生′器、７・・
・Ｒ／ＷＡＭＰ、 ８・・・パルス発振器、９・
・・レベル検出器、１０・・・差分回路、■・・・制御
装置、 １２・・・レーザ測長器、１３・・・Ｒ
／ＷＡＭＰ、 ＋４・・・測定系。
Claims (2)
- （１）、スピンドルにより回転する測定ディスクの適当
なトラックに、被検査の薄膜磁気ヘッド（以下被検査ヘ
ッドという）によりデータを書込み／読み出しして行う
検査装置において、上記測定ディスクの適当なトラック
に対して位置検出ヘッドにより位置信号を書込み、該位
置信号を読み出して、該位置検出ヘッドおよび上記被検
査ヘッドの位置ずれを検出し、キャリッジ機構により該
位置検出ヘッドを移動して該位置ずれを０に補正し、該
補正された該キャリッジ機構の位置をレーザ測長器によ
り検出して該位置のデータをメモリに記憶し、該記憶さ
れたデータの位置において上記被検査ヘッドの検査を行
い、時間経過に従って温度により生ずる上記位置検出ヘ
ッドの位置ずれに対して、一定時間ごとに上記補正を行
い、該補正された上記キャリッジ機構の位置に対する上
記メモリのデータを更新することを特徴とする、薄膜磁
気ヘッド検査装置のヘッド位置決め方式。 - （２）、上記において、上記スピンドルに装着され上記
測定ディスクと同一回転する角度ディスクより検出され
た角度信号より、一定のパルス幅で互いに１８０°の位
相差を有する２個のゲートパルス列を発生し、上記位置
検出ヘッドにより、上記測定ディスクの上記隣接する２
トラックに上記ゲートパルス列に従った１８０°の位相
差を有する２個の上記位置信号をそれぞれ書込み、かつ
、該書込まれた２個の位置信号を上記位置検出ヘッドに
より同時に読み出して、その差分信号により、上記２個
のトラックの中心に対する、上記位置検出ヘッドの位置
ずれ量を求める、請求項１記載の薄膜磁気ヘッド検査装
置のヘッド位置決め方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63272306A JPH02121108A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | 薄膜磁気ヘッド検査装置のヘッド位置決め方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63272306A JPH02121108A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | 薄膜磁気ヘッド検査装置のヘッド位置決め方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02121108A true JPH02121108A (ja) | 1990-05-09 |
Family
ID=17512040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63272306A Pending JPH02121108A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | 薄膜磁気ヘッド検査装置のヘッド位置決め方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02121108A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110749782A (zh) * | 2018-07-23 | 2020-02-04 | 潍坊华光光电子有限公司 | 一种半导体激光器脉冲驱动测试方法 |
-
1988
- 1988-10-28 JP JP63272306A patent/JPH02121108A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110749782A (zh) * | 2018-07-23 | 2020-02-04 | 潍坊华光光电子有限公司 | 一种半导体激光器脉冲驱动测试方法 |
| CN110749782B (zh) * | 2018-07-23 | 2021-07-02 | 潍坊华光光电子有限公司 | 一种半导体激光器脉冲驱动测试方法 |
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