JPH02122643A - プローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

この発明は、プローブ装置等に設けられたテストヘッド
を確実に閉じておくためのクランプ装置に関し、指を挟
んだりする危険を防止することのできるウェハプローバ
クランプに関するものである。

【従来の技術】

従来、プローブ装置のプローブカードを搭載した開閉自
在のテーブルからなるテストヘッドはかなり重量がある
。そのため開閉にあまり力をかけないですむように、エ
アスプリング等の加圧手段の加圧力とテストヘッドの重
量とがつり合うようにして、テストヘッドが支持されて
いた。 したがってテストヘッドは、常時開放される方向に付勢
されている。そのため、テストヘッドは閉じているとき
には、上面を本体側に取付けられたクランプにより確実
に押えられ、クランプを開いてから開けるようになって
いる。上記従来のウェハプローバクランプは、第４図に
示すようにテストヘッド１に当接するストッパ２と、こ
のストッパ２を回動させるリンク機構３と、リンク機構
３に取付けられたレバー４とを有するものであった。

【発明が解決しようとする問題点】

ところが、上記した従来のウェハプローバクランプの場
合には、レバー４がストッパ２の回動する軌跡とほぼ同
じ軌跡で回動するようにしであるので、テストヘッドの
開放時にレバー４を持つ手にストッパ２部分が接近し、
極端な場合にはレバー４とストッパ２との間に手が挾ま
れて負傷してしまうという欠点があった。 この発明は従来例の以上のような問題点に鑑みなされた
もので、クランプのレバーとストッパとが交差するよう
回動する場合でも、レバーを持つ手にストッパが接近し
て挾まれることがないようにした、ウェハプローバクラ
ンプを提供することを目的としている。

【問題点を解決するための手段】

すなわち、この発明のウェハプローバクランプは、テス
トヘッドのクランプ部に当接するストッパと、このスト
ッパを回動させるリンク機構と、リンク機構に取付けら
れたレバーとを有するプローバにおいて、上記レバーを
ストッパとは反対の側に屈曲させて把手とするとともに
、把手にストッパ側に張り出すように安全カバーを設け
たことを特徴とするものである。

【作用】

この発明のウェハプローバクランプは、レバーを持つ手
がストッパとは交差しないようになっており、しかもス
トッパの回動する位置には安全カバーによって手が入ら
ないようになっているので、テストヘッドの開閉を安全
に行なえるようになり、非常に作業がしやすくなった。

【実施例】

以下、この発明のウエハプローバの実施例を第１図ない
し第３図を参照して説明する。 ウエハプローバについては当業者において周知であるた
め、詳細は省略する。テストヘッド１０をクランプする
クランプ装置は、第１図および第２図に示すように構成
されている。すなわち、ウエハプローバの本体１１上面
に取付けたＵ字状のフレーム１２と、このフレーム１２
に回動可能に軸着されたレバー１３と、同様にフレーム
１２に回動可能に軸着されたストッパ１４とを有してい
る。そしてこのレバー１３とストッパ１４とは、リンク
機構１５により連結されてレバー１３の操作によりスト
ッパ１４が回動し、テストヘッド１０に当接あるいは離
脱してテストヘッド１０を開放ないし閉鎖するようにな
っている。 上記レバー１３は、Ｕ字状フレーム１２の上部に回転軸
２１によって軸着され、回転軸２１の上方に伸びてその
上部をテストヘッド１０とは反対側に屈曲し、把手２２
を形成している。また回転軸２１の下方には、フレーム
１２の側壁にそって分岐させたＬ字形のアーム２３が、
レバー１３と一体的に形成しである。 次に上記ストッパ１４は、分岐したアーム２３の間にお
いて回転軸２４によってフレーム１２に軸着され、回転
軸２４からテストヘッド１０側に伸びて、その先端に下
向きにヘッダ２５を取付けである。２６はヘッダ２５の
端面に取付けたバッキングで、テストヘッド１０を被測
定体であるウェハ上方に載置した位置を保持するためテ
ストヘッドｌＯのクランプ部に当接する。なおヘッダ２
５はストッパ１４に螺着され、他端をナツト２７でねじ
止めされている。また回転軸２４の他方の側にも、アー
ム２８がストッパ１４と一体的に形成され、このアーム
２８ど上記アーム２３との間はリンク２９で連結されて
いる。このようにレバー１３とストッパ１４とは各アー
ム２３．２８とリンク２９とからなるリンク機構１５に
よって連結され、レバー１３の操作によりストッパ１４
が連動して回動するようになっている。 上述のようにレバー１３は、テストヘッド１０とは反対
側に屈曲して把手２２を形成したので、この把手２２を
握って操作する場合には、第３図のようにストッパ１４
がレバー１３側に回動しても手が挟まれることがない。 また、レバー１３の把手２２の上部端面には、ストッパ
１４側に張り出すように幅広の安全カバー３１が設けら
れている。したがって、もし把手２２を握ろうとして誤
って手がレバー１３とストッパ１４との間に入ろうとし
ても、この安全カバー３１によって手がストッパ１４側
に落ち込むことはなく、極めて安全性が高くなった。 この発明のウェハプローバクランプは上記プローブ装置
等のテストヘッドだけではなく、種々の機器のテストヘ
ッドのためのクランプ装置に適用４゜ することができる。

【発明の効果】

この発明のウェハプローバクランプは以上のように、把
手部分をストッパの軌跡上から離すとともに、把手に安
全カバーを取付けてレバーとストッパとの間に手が入ら
ないようにしであるので、テストヘッドの開放時にレバ
ーを持つ手にストッパ部分が接近しても、レバーとスト
ッパとの間に手が挟まれて負傷してしまう虞れがない。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のウェハプローバクランプの一実施例
を示す側面図、第２図は第１図の平面図、第３図はレバ
ーを操作した状態の側面図、第４図は従来例を示す側面
図である。 ｌＯ・・・テストへラド　　１１・・・本体１２・・・
フレーム　　　　１３・・・レバー１４・・・ストッパ
　　　　１５・・・リンク機構２１・・・回転軸　　　
　　２２・・・把手２３・・・アーム　　　　　２４・
・・回転軸２５・・・ヘッダ　　　　　２６・・・バッ
キング２７・・・ナツト ２８・・・アーム ２９・・・リンク ３１・・・安全カバー 特 許 出 願 人 東京エレクトロン株式会社 第 図 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、テストヘッドのクランプ部に当接するストッパと、
   このストッパを回動させるリンク機構と、リンク機構に
   取付けられたレバーとを有するプローバにおいて、上記
   レバーをストッパとは反対側に屈曲させて把手とすると
   ともに、把手にストッパ側に張り出すように安全カバー
   を設けたことを特徴とするウエハプローバクランプ。