JPS63251173A - 基板把持具 - Google Patents
基板把持具Info
- Publication number
- JPS63251173A JPS63251173A JP62083173A JP8317387A JPS63251173A JP S63251173 A JPS63251173 A JP S63251173A JP 62083173 A JP62083173 A JP 62083173A JP 8317387 A JP8317387 A JP 8317387A JP S63251173 A JPS63251173 A JP S63251173A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- board
- parts
- grip
- clamping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、特に半導体ウェハ製造工程で、シリコンウ
ェハを露光する際に使用するレティクル基板を持ち運び
するための基板把持具に関するものである。
ェハを露光する際に使用するレティクル基板を持ち運び
するための基板把持具に関するものである。
レティクル基板はシリコンウェハに幅数ミクロンの微細
なパターンを露光する時に使用する薄板状の物であるか
ら、当然ながら基板表面（こ人が触れたり、ゴミ等の不
純物が付着してはならないものである。そのためにレテ
ィクル基板の取り扱いには細心の注意を払って行なって
いる。
なパターンを露光する時に使用する薄板状の物であるか
ら、当然ながら基板表面（こ人が触れたり、ゴミ等の不
純物が付着してはならないものである。そのためにレテ
ィクル基板の取り扱いには細心の注意を払って行なって
いる。
しかしながら、従来はレティクル基板をつかむ基板把持
具がないので、レティクル基板を保管用ケースから取り
出すとき、あるいは露光装置や洗浄装置等へレティクル
基板を装着したり取り外したりするときには、第４図に
示すようにレティクル基板（１）を全て手（２）でつか
んで持ち運びしていた。
具がないので、レティクル基板を保管用ケースから取り
出すとき、あるいは露光装置や洗浄装置等へレティクル
基板を装着したり取り外したりするときには、第４図に
示すようにレティクル基板（１）を全て手（２）でつか
んで持ち運びしていた。
従来はレティクル基板（１）を片手（２）あるいは両手
で直接つかんで持ち運びしズいたので、手（２）からの
発塵で基板表面にゴミか付着したりして、歩留り低下や
品質低下の大きな原因となっていた。また、作業者の不
注意による脱落割れが発生したりして作業性の面でも大
きな問題点となっていた。
で直接つかんで持ち運びしズいたので、手（２）からの
発塵で基板表面にゴミか付着したりして、歩留り低下や
品質低下の大きな原因となっていた。また、作業者の不
注意による脱落割れが発生したりして作業性の面でも大
きな問題点となっていた。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、基板を直接手でつかむことなく容易に持ち運
びができると共に、基板への傷やゴミ付着、さらには脱
落割れなどが皆無となる基板把持具を得ることを目的と
する。
たもので、基板を直接手でつかむことなく容易に持ち運
びができると共に、基板への傷やゴミ付着、さらには脱
落割れなどが皆無となる基板把持具を得ることを目的と
する。
この発明に係る基板把持具は、握り部と、この握り部に
連設されかつ基板の周縁部を両側から挟持する一対の挟
持部と、この一対の挟持部を開閉させる作動レバーとを
備えたものである。
連設されかつ基板の周縁部を両側から挟持する一対の挟
持部と、この一対の挟持部を開閉させる作動レバーとを
備えたものである。
この発明においては、握り部を握つ【、作動レバーを操
作すると、一対の挟持部が開閉するので、一対の挟持部
の間に基板を把持できる。
作すると、一対の挟持部が開閉するので、一対の挟持部
の間に基板を把持できる。
以下、この発明の一実施例を第１図乃至第３図について
説明する。第１図は一部破断の正面図、第２図は一部破
断の平面図、第３図は挟持片の側面図であり、前記従来
のものと同一部分には同一符号を付して説明を省略する
。図におい【、（３）は取手形状の握り部、（４）は握
り部（３）に取り付けられる枠体で、防塵カバーを兼ね
る。
説明する。第１図は一部破断の正面図、第２図は一部破
断の平面図、第３図は挟持片の側面図であり、前記従来
のものと同一部分には同一符号を付して説明を省略する
。図におい【、（３）は取手形状の握り部、（４）は握
り部（３）に取り付けられる枠体で、防塵カバーを兼ね
る。
（５）、（５）は枠体（４）に基端側をビン（６）、（
６）によりそれぞれ回転可能に取り付けられる一対の挟
持部で、先端にそれぞれ挟持片（５ａ）＊ （５ａ）を
有している。（７） ’、 （７１は各挟持部１５）
、 （５）の基端寄りに取り付けられる回転ローラ、（
８）は枠体（４）に移動可能に支持される作動レバーで
、両回転ローラ（７） 、 （７１間に位置するテーパ
状板カム（９）を有している。（１０）は一対の挟持部
（５） 、 （５）が互いに引きあうように介在させた
引きバネで、両回転ローラ（力、（７）を板カム（９）
のテーパ面（９ａ）。
６）によりそれぞれ回転可能に取り付けられる一対の挟
持部で、先端にそれぞれ挟持片（５ａ）＊ （５ａ）を
有している。（７） ’、 （７１は各挟持部１５）
、 （５）の基端寄りに取り付けられる回転ローラ、（
８）は枠体（４）に移動可能に支持される作動レバーで
、両回転ローラ（７） 、 （７１間に位置するテーパ
状板カム（９）を有している。（１０）は一対の挟持部
（５） 、 （５）が互いに引きあうように介在させた
引きバネで、両回転ローラ（力、（７）を板カム（９）
のテーパ面（９ａ）。
（９ａ）に対向状に押圧させている。（１１）は挟持片
（５ｍ）の挟持面に設けた７字溝で、レティクル基板（
１）の周縁部が嵌まり込む。
（５ｍ）の挟持面に設けた７字溝で、レティクル基板（
１）の周縁部が嵌まり込む。
次に動作について説明する。まず、第１図に示すように
握り部（３）を手（２）で持ち、作動レバー（８）に指
を添えて矢印（１２）で示す方向に引く。
握り部（３）を手（２）で持ち、作動レバー（８）に指
を添えて矢印（１２）で示す方向に引く。
そうすると板カム（９）が引きバ４（１０）に抗して両
回転ローラ（７１、（７）を押し広げ、両挟持部（５）
。
回転ローラ（７１、（７）を押し広げ、両挟持部（５）
。
（５）をピン（６） 、 （６１を支点として矢印（１
３）で示す方向に開ける。即ち、板カム（９）および両
挟持片（ｓａ）ｓ （５ｍ）が第２図中想像線で示す
状態となる。次に、この状態のままレティクル基板（１
）をはさむ基板周辺の任意の位置に、両挟持片（５ａ）
、（５ａ）の７字溝（４ｔ） ｓ （ｔ ｔ）を合わせ
、作動レバー（８）を放す。そうすると引きバネ（１０
）の力で、両回転ｐ−ラ（７） 、 （７）が板カム（
９）を反矢印方向に押しやり、両挟持部（５）。
３）で示す方向に開ける。即ち、板カム（９）および両
挟持片（ｓａ）ｓ （５ｍ）が第２図中想像線で示す
状態となる。次に、この状態のままレティクル基板（１
）をはさむ基板周辺の任意の位置に、両挟持片（５ａ）
、（５ａ）の７字溝（４ｔ） ｓ （ｔ ｔ）を合わせ
、作動レバー（８）を放す。そうすると引きバネ（１０
）の力で、両回転ｐ−ラ（７） 、 （７）が板カム（
９）を反矢印方向に押しやり、両挟持部（５）。
（５）も反矢印方向に閉じ、両挟持片（５５’）１（５
ａ）間にレティクル基板（１）を確実につかむ。
ａ）間にレティクル基板（１）を確実につかむ。
即ち、第２図に示す状態となる。この後は、握り部（３
）を持ったまま移動すれば、レティクル基板（１）を直
接手でつかまずに持ち運びできる。
）を持ったまま移動すれば、レティクル基板（１）を直
接手でつかまずに持ち運びできる。
上記実施例では作動レバー（８）を指により動作させる
ものを示したが、この作動レバー（８）は他の駆動機器
を使って動作させズもよく、上記実施例と同様の効果を
奏する。
ものを示したが、この作動レバー（８）は他の駆動機器
を使って動作させズもよく、上記実施例と同様の効果を
奏する。
以上のように、この発明によれば基板を直接手でつかむ
ことなく容易に持ち運びができると共に、基板への傷や
ゴミ付着、さらには脱落割れなどが皆無となり、プロセ
ス技術面においても歩留りや品質の向上につながるなど
の効果が ゛ある。
ことなく容易に持ち運びができると共に、基板への傷や
ゴミ付着、さらには脱落割れなどが皆無となり、プロセ
ス技術面においても歩留りや品質の向上につながるなど
の効果が ゛ある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例を示す一部破断の正面図、
第２図は一部破断の平面図、第３図は挟持片の側面図、
第４図は従来の手による取扱い方法を示す斜視図である
。 ′図において、（１）はレティクル基板、（３）は握り
部、（５）は挟持部、（８）は作動レバーである。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
第２図は一部破断の平面図、第３図は挟持片の側面図、
第４図は従来の手による取扱い方法を示す斜視図である
。 ′図において、（１）はレティクル基板、（３）は握り
部、（５）は挟持部、（８）は作動レバーである。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (2)
- （１）握り部と、この握り部に連設されかつ基板の周縁
部を両側から挟持する一対の挟持部と、この一対の挟持
部を開閉させる作動レバーとを備えたことを特徴とする
基板把持具。 - （２）一対の挟持部の各挟持面に、基板の周縁部が嵌ま
り込むＶ字溝をそれぞれ設けた特許請求の範囲第１項記
載の基板把持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62083173A JPS63251173A (ja) | 1987-04-03 | 1987-04-03 | 基板把持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62083173A JPS63251173A (ja) | 1987-04-03 | 1987-04-03 | 基板把持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63251173A true JPS63251173A (ja) | 1988-10-18 |
Family
ID=13794890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62083173A Pending JPS63251173A (ja) | 1987-04-03 | 1987-04-03 | 基板把持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63251173A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000338114A (ja) * | 1999-04-20 | 2000-12-08 | Instrumentation Lab Spa | 自動装着式光学分析装置 |
| JP2011136386A (ja) * | 2009-12-28 | 2011-07-14 | Reiji Nakamura | 管体の周面把持具 |
-
1987
- 1987-04-03 JP JP62083173A patent/JPS63251173A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000338114A (ja) * | 1999-04-20 | 2000-12-08 | Instrumentation Lab Spa | 自動装着式光学分析装置 |
| JP2011136386A (ja) * | 2009-12-28 | 2011-07-14 | Reiji Nakamura | 管体の周面把持具 |
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