JPH0212312B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0212312B2 JPH0212312B2 JP59066723A JP6672384A JPH0212312B2 JP H0212312 B2 JPH0212312 B2 JP H0212312B2 JP 59066723 A JP59066723 A JP 59066723A JP 6672384 A JP6672384 A JP 6672384A JP H0212312 B2 JPH0212312 B2 JP H0212312B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve body
- vacuum
- drive shaft
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Lift Valve (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は真空バルブに係り、特にストレート弁
およびアングル弁の双方の機能を兼備した真空バ
ルブに関するものである。
およびアングル弁の双方の機能を兼備した真空バ
ルブに関するものである。
（従来の技術）
従来、真空系における開閉バルブにおいて弁体
を90度回転可能とする機構としてバタフライバル
ブは公知かつ公用である。
を90度回転可能とする機構としてバタフライバル
ブは公知かつ公用である。
（発明が解決しようとする課題）
しかるにバタフライバルブは弁体にパツキング
を周設し弁体と弁座に弁体を90度回転させる機構
を施したものであるためパツキングは弁座とのす
り合せ部において弁座と摩擦を生じ、このためパ
ツキング部分を摩耗し真空度の維持もしくは真空
度の調節上欠陥があつた。
を周設し弁体と弁座に弁体を90度回転させる機構
を施したものであるためパツキングは弁座とのす
り合せ部において弁座と摩擦を生じ、このためパ
ツキング部分を摩耗し真空度の維持もしくは真空
度の調節上欠陥があつた。
さらに、斯様な90度回転バルブにおけるシール
の手段として通常使用されるパツキングであるＯ
型リングはその材質として従来ゴム質材料が使用
されているが、一般に高真空を得る目的で真空系
内の器壁の吸着ガスを排除するため加熱するいわ
ゆるアウトガス処理において、斯かるＯ型リング
シールはゴム質の変質あるいは変形を生ずる欠点
があり、これは真空系におけるネツクとされてい
る。
の手段として通常使用されるパツキングであるＯ
型リングはその材質として従来ゴム質材料が使用
されているが、一般に高真空を得る目的で真空系
内の器壁の吸着ガスを排除するため加熱するいわ
ゆるアウトガス処理において、斯かるＯ型リング
シールはゴム質の変質あるいは変形を生ずる欠点
があり、これは真空系におけるネツクとされてい
る。
本発明は上記従来真空バルブの欠点を改善し、
バルブの吸引側形状位置によつてストレート弁、
あるいはアングル弁として使用可能であり、かつ
バルブの締付け力が極めて少なくてすみ、しかも
バルブの駆動において軸シールを使用することの
ない改良型真空バルブを提供することをその目的
とする。
バルブの吸引側形状位置によつてストレート弁、
あるいはアングル弁として使用可能であり、かつ
バルブの締付け力が極めて少なくてすみ、しかも
バルブの駆動において軸シールを使用することの
ない改良型真空バルブを提供することをその目的
とする。
すなわち、本願発明の目的は、小さな力で弁を
閉めることができ、かつ弁が開いた時コンダクタ
ンスを大きく取れ、しかも容器の真空が十分保持
されうるような真空バルブを提供することであ
る。
閉めることができ、かつ弁が開いた時コンダクタ
ンスを大きく取れ、しかも容器の真空が十分保持
されうるような真空バルブを提供することであ
る。
（課題を解決するための手段）
本発明の真空バルブは弁座上に水平に載置され
た弁体が該弁座の基端に固設された回転軸を中心
として開口方向に実質的に約90度回転しうる真空
バルブであつて、該真空バルブは弁体の中心点に
ヒンジを有し、かつ該中心点において該弁体に垂
直な直線上に水平回転軸を有する駆動軸を配し、
該弁体と駆動軸とをリンクおよびアームで連結
し、該弁体とリンクおよび該リンクとアームとの
間をヒンジにて連接し、さらに駆動軸の連接した
アーム端にロツドを配し、該ロツドは真空容器の
外壁において屈伸可能なベローズに連結された構
成を有するものである。
た弁体が該弁座の基端に固設された回転軸を中心
として開口方向に実質的に約90度回転しうる真空
バルブであつて、該真空バルブは弁体の中心点に
ヒンジを有し、かつ該中心点において該弁体に垂
直な直線上に水平回転軸を有する駆動軸を配し、
該弁体と駆動軸とをリンクおよびアームで連結
し、該弁体とリンクおよび該リンクとアームとの
間をヒンジにて連接し、さらに駆動軸の連接した
アーム端にロツドを配し、該ロツドは真空容器の
外壁において屈伸可能なベローズに連結された構
成を有するものである。
上記のように弁体を実質的に約90度開口方向に
回転しうるための要件として駆動軸の中心が弁体
の中心点上にこれに垂直な直線上にあり、かつ該
弁体との距離は弁体が正方形の場合にはその一辺
の長さ、円形の場合にはその直径の長さの√３／
２よりも小ならざる範囲に存在し、しかもリンク
およびアームの長さの和は弁体の一辺もしくは直
径の√３／２よりも大であり、なおアームの長さ
は弁体の一辺もしくは直径の1/2を超えない関係
にあることを特徴とする。
回転しうるための要件として駆動軸の中心が弁体
の中心点上にこれに垂直な直線上にあり、かつ該
弁体との距離は弁体が正方形の場合にはその一辺
の長さ、円形の場合にはその直径の長さの√３／
２よりも小ならざる範囲に存在し、しかもリンク
およびアームの長さの和は弁体の一辺もしくは直
径の√３／２よりも大であり、なおアームの長さ
は弁体の一辺もしくは直径の1/2を超えない関係
にあることを特徴とする。
実施例
本発明に係る一実施例を図面について説明する
と次の通りである。第１図は本発明に係る真空バ
ルブの断面図を示す。
と次の通りである。第１図は本発明に係る真空バ
ルブの断面図を示す。
同図において、弁座１は弁体２によつて開閉駆
動され、弁体２は開閉の際、弁座と摩擦を生じな
いように回転軸３によつて構成される。
動され、弁体２は開閉の際、弁座と摩擦を生じな
いように回転軸３によつて構成される。
弁の開閉は駆動軸４に連結されたアーム５およ
びリンク６により軸４の回転トルクを締付け力に
変える。この際、トルク線図を示す第２図で明ら
かな通り、トルクF1を弁締付け力F2に変える。
リンク６が垂直に位置するときトルクF1は小さ
な力ですむ。すなわちトルクF2は理論的に無限
大になる。したがつて軸を回転する場合、弁の外
部大気中から空気シリンダのピストン力をリンク
モーシヨンによつて行う場合には空気シリンダの
径が小さくてすみ、弁全体をコンパクトに設計し
うる利点がある。
びリンク６により軸４の回転トルクを締付け力に
変える。この際、トルク線図を示す第２図で明ら
かな通り、トルクF1を弁締付け力F2に変える。
リンク６が垂直に位置するときトルクF1は小さ
な力ですむ。すなわちトルクF2は理論的に無限
大になる。したがつて軸を回転する場合、弁の外
部大気中から空気シリンダのピストン力をリンク
モーシヨンによつて行う場合には空気シリンダの
径が小さくてすみ、弁全体をコンパクトに設計し
うる利点がある。
弁は弁座に対して実質的に約90度、すなわちほ
ぼ垂直となるので排気抵抗の少ないストレート弁
として使用することができる。
ぼ垂直となるので排気抵抗の少ないストレート弁
として使用することができる。
また第１図において点線で示す位置に排気口を
有するいわゆるアングルバルブとしても使用可能
である。
有するいわゆるアングルバルブとしても使用可能
である。
次に本発明におけるアーム５、リンク６および
弁体の一辺の長さ（もしくは直径）との要件につ
いて説明する。
弁体の一辺の長さ（もしくは直径）との要件につ
いて説明する。
駆動軸４は弁体２の中心点において該弁体に垂
直は直線上にあるがこれは真空バルブ製造におけ
る製造容易性に依るものであり、なおかつ、弁を
開閉する際における力学的エネルギーを最少にす
るためである。
直は直線上にあるがこれは真空バルブ製造におけ
る製造容易性に依るものであり、なおかつ、弁を
開閉する際における力学的エネルギーを最少にす
るためである。
駆動軸４と弁体２との垂直距離については、ア
ーム５、リンク６の長さをそれぞれl1およびl2と
し、弁体２が正方形の場合にはその一辺の長さ、
また円形の場合にはその直径をａとすれば、弁体
２が実質的に約90度回転しうるためには該弁の回
転軸３と反対の縁端は上記駆動軸４の固定位置を
通過してなお真空容器の器壁方向に引き寄せなけ
ればならない（第１図、点線で示す）。そのため
には回転軸３を原点とする直角座標系において駆
動軸４の座標（Ｘ、Ｙ）は次の関係を満足しなけ
ればならない。すなわち Ｘ＝ａ／２、X2＋Y2＞a2 上記関係式からＹ＞（√３／２）・ａが得られ
る。すなわち駆動軸４の中心は弁体の上面との垂
直距離（√３／２）・ａよりも大でなければなら
ない。
ーム５、リンク６の長さをそれぞれl1およびl2と
し、弁体２が正方形の場合にはその一辺の長さ、
また円形の場合にはその直径をａとすれば、弁体
２が実質的に約90度回転しうるためには該弁の回
転軸３と反対の縁端は上記駆動軸４の固定位置を
通過してなお真空容器の器壁方向に引き寄せなけ
ればならない（第１図、点線で示す）。そのため
には回転軸３を原点とする直角座標系において駆
動軸４の座標（Ｘ、Ｙ）は次の関係を満足しなけ
ればならない。すなわち Ｘ＝ａ／２、X2＋Y2＞a2 上記関係式からＹ＞（√３／２）・ａが得られ
る。すなわち駆動軸４の中心は弁体の上面との垂
直距離（√３／２）・ａよりも大でなければなら
ない。
またアーム５の長さl1はアーム５が水平位置を
とる極限において真空容器の器謀に突き当たらな
いことを要するためl1＜ａ／２でなければならな
いことは当然である。
とる極限において真空容器の器謀に突き当たらな
いことを要するためl1＜ａ／２でなければならな
いことは当然である。
さらに駆動軸４が外力を受けて弁体２を開く場
合の駆動を円滑、容易にするためにはアーム５、
リンク６のそれぞれの長さl1およびl2の和は駆動
軸４と弁体上面との距離（√３／２）・ａより若
干大にとる必要がある。すなわち幾何学的には
（√３／２）・ａに等しくとも弁の開閉は不可能で
はないが、弁開閉時の始動力を軽減するためには
上記の要件がなければならない。
合の駆動を円滑、容易にするためにはアーム５、
リンク６のそれぞれの長さl1およびl2の和は駆動
軸４と弁体上面との距離（√３／２）・ａより若
干大にとる必要がある。すなわち幾何学的には
（√３／２）・ａに等しくとも弁の開閉は不可能で
はないが、弁開閉時の始動力を軽減するためには
上記の要件がなければならない。
弁の駆動に関して、軸シールのない方式は、特
に高真空を必要とする場合、軸シールからの漏
洩、シール材からのガス放出がないため有利であ
る。
に高真空を必要とする場合、軸シールからの漏
洩、シール材からのガス放出がないため有利であ
る。
本発明はこのため第１図に示すようなベローズ
を使用するものである。本発明においては弁１を
駆動する場合、実質的に約90度の回転は第１図に
おける真空容器外のＸ点に支点を有するロツド７
の挺子の上下作用によつて実施される。軸４の先
端において該軸を金属ベローズ９を連結する軸の
軸孔Ｙは長孔を穿孔しておき支点ＸはＹの長孔の
長さ分だけ移動可能にしておく。
を使用するものである。本発明においては弁１を
駆動する場合、実質的に約90度の回転は第１図に
おける真空容器外のＸ点に支点を有するロツド７
の挺子の上下作用によつて実施される。軸４の先
端において該軸を金属ベローズ９を連結する軸の
軸孔Ｙは長孔を穿孔しておき支点ＸはＹの長孔の
長さ分だけ移動可能にしておく。
ロツド７はベローズ９を介してフランジ８によ
り真空遮断してある。このような構造により、ベ
ローズ９のストロークは、わづかな曲げと長孔Ｙ
の孔長分の伸びですむためピツチ数の少いベロー
ズで十分であり、したがつてコンパクトな構造体
を可能にする利点を有する。
り真空遮断してある。このような構造により、ベ
ローズ９のストロークは、わづかな曲げと長孔Ｙ
の孔長分の伸びですむためピツチ数の少いベロー
ズで十分であり、したがつてコンパクトな構造体
を可能にする利点を有する。
（発明の効果）
本発明は、以上のように構成されているので、
以下のような効果を奏する。
以下のような効果を奏する。
小さな力で弁を確実に閉めることができる。
弁開閉機構各部からのガス放出や弁開閉機構
と真空容器との取付け部からのガス流入が無
く、容器内の真空が確実に保たれる。
と真空容器との取付け部からのガス流入が無
く、容器内の真空が確実に保たれる。
弁がほぼ90度まで開くので大きなコンダクタ
ンスを確保することができる。
ンスを確保することができる。
リンクやアームが移動時に弁の回転軸のある
側の端より内側に留まるので、真空容器を大き
くすることなく弁開閉機構を取付けることがで
き、かつ保守も容易である。
側の端より内側に留まるので、真空容器を大き
くすることなく弁開閉機構を取付けることがで
き、かつ保守も容易である。
第１図は本発明に係る一実施例の真空バルブの
断面図、第２図はトルク線図を示す。 １……弁座、２……弁体、３……回転軸、４…
…駆動軸、５……アーム、６……リンク、７……
ロツド、８……フランジ、９……ベローズ、１０
……真空容器、１１，１２……ヒンジ。
断面図、第２図はトルク線図を示す。 １……弁座、２……弁体、３……回転軸、４…
…駆動軸、５……アーム、６……リンク、７……
ロツド、８……フランジ、９……ベローズ、１０
……真空容器、１１，１２……ヒンジ。
Claims (1)
- １ 一端を真空容器１０に回転可能に取付けられ
かつ弁座１上に水平に載置された弁体２の中心点
にヒンジ１１を有し、該中心点において該弁体２
に垂直な直線上に水平回転軸を有する駆動軸４を
配し、該弁体２と駆動軸４とをリンク６およびア
ーム５で連結し該弁体２とリンク６、および該リ
ンク６とアーム５との間をヒンジ１２にて連接
し、駆動軸４と該弁体２上面との距離が弁体２の
一辺もしくはその直径の√３／２よりも大なる範
囲に存在し、リンク６およびアーム５の長さの和
は弁体２の一辺もしくはその直径の√３／２より
も大、かつアーム５の長さは弁体２の一辺もしく
はその直径の1/2を超えないようにし、該駆動軸
４に連接したアーム５端にロツド７を配し、該ロ
ツド７は真空容器１０の外壁において屈伸可能な
ベローズ９に連結し、該弁体２が該弁座１の基端
に固設された回転軸３を中心として開口方向に実
質的に約90度回転しうることを特徴とする真空バ
ルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6672384A JPS60211179A (ja) | 1984-04-05 | 1984-04-05 | 真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6672384A JPS60211179A (ja) | 1984-04-05 | 1984-04-05 | 真空バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60211179A JPS60211179A (ja) | 1985-10-23 |
| JPH0212312B2 true JPH0212312B2 (ja) | 1990-03-19 |
Family
ID=13324102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6672384A Granted JPS60211179A (ja) | 1984-04-05 | 1984-04-05 | 真空バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60211179A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05302677A (ja) * | 1992-04-27 | 1993-11-16 | Kureha Chem Ind Co Ltd | ダンパー装置 |
-
1984
- 1984-04-05 JP JP6672384A patent/JPS60211179A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60211179A (ja) | 1985-10-23 |
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