JPH02123810A - 弾性表面波装置 - Google Patents

弾性表面波装置

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Publication number
JPH02123810A
JPH02123810A JP27623888A JP27623888A JPH02123810A JP H02123810 A JPH02123810 A JP H02123810A JP 27623888 A JP27623888 A JP 27623888A JP 27623888 A JP27623888 A JP 27623888A JP H02123810 A JPH02123810 A JP H02123810A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
surface acoustic
acoustic wave
single crystal
wave device
average value
Prior art date
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Pending
Application number
JP27623888A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuyuki Sakiyama
崎山　和之
Seiichi Ogawa
誠一 小川
Fumio Okazaki
岡崎　文夫
Tatsuo Toyama
外山　立郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPH02123810A publication Critical patent/JPH02123810A/ja
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  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、周改数特性の安定化を図った弾性表面改装［
Ｋ関するものである。
〔従来の技術〕
タンタル酸リチウム単結晶基板における弾性表面波伝搬
速度のズレを小さ（する方法としては、例えば、特開昭
６１−１２８６１９号公報に記載のように、基板（ウェ
ハ）内の格子定数の変動を±ｏ、ｏｏｏ３い５方法があ
った。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術は、格子定数により弾性表面波伝搬速度を
関嶺的に評価するものであり、その相関間係の精腿が問
題となり、更には製＃ｉｒｔ用いる基板における弾性表
面波伝搬速度のバラツキのその他の要因、例えば、カッ
ト面方位のバラツキやオリエンテーシ薯ンフラット面方
位のバラツキ等の点についても配慮されていないという
問題かあった。
本発明の目的は、弾性表面波装置において、周匝数特性
の安定化に直接影響する弾性表面波の伝搬速度のバラツ
キを小さくすることにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、タンタル敵リチウム単結晶のうち、弾性表
面波伝搬速度のバラツキが小さい単結晶から作成した基
板な用いることにより達成される。
〔作用〕
造営、育成したタンタル敵リチウム単結晶１本からは約
１００〜１５０枚の基板が作成される。これら基板の弾
性表面波伝搬速度のバラツキは、その平均値が成る値か
らズレる程、大きくなる。従りて、単結晶より作成され
る複数の基板の、弾性表面波速度の平均値の範囲を限定
すること罠より、そのバラツキを小さくすることかでき
る。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
図は育成したタンタル酸リチウム単結晶から作成した基
板の単結晶母の弾性表面波伝搬速度の平均値とそのバラ
ツキとの関係を示す特性図である。
本図より、単結晶より作成した基板の弾性表面波伝搬速
度のバラツキが最も小さくなるのは、その平均値が４２
１０ｍ　／　ｓｅａの時である。そして、その平均値を
４２０８ｍ　／　ｓｅａ乃至４２１２ｎＬ　／　Ｊ’　
＃　Ｃの範囲に限定することで、バラツキを０．０６％
以下にすることかできる。
尚、図における平均１直とノ莞うツキは、それぞれ、独
自に開発した表面すべり波の伝搬４に測定装置を用いて
得た値である。
〔発明の効果〕
本発明によれは、弾性表面［ｇｆｃ置において、弾性表
面波の伝搬速度のバラツキを小さ（できるので、周波＃
ｌＬ％性のズレを抑制して、周波数特性の安定化を図る
ことができ、製造歩貿りを向上させることができるとい
う効果がある。
【図面の簡単な説明】
図は育成したタンタル酸リチウム単結晶から作成した基
板の単結晶母の弾性表面波伝搬速度の平均値とそのバラ
ツキとの関係を示す特性図である。 ゛（し・′

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １．結晶軸のＸ軸まわりの回転角度が３４度乃至３８度
    の回転Ｙカットタンタル酸リチウム単結晶より複数の基
    板を切り出し、それら基板の、各基板上を伝搬する弾性
    表面波としての表面すべり波の自由表面での伝搬速度の
    平均値が４２０８ｍ／ｓｅｃ乃至４２１２ｍ／ｓｅｃの
    範囲である場合、それら基板中より選んだ基板を用いる
    ことを特徴とする弾性表面波装置。
JP27623888A 1988-11-02 1988-11-02 弾性表面波装置 Pending JPH02123810A (ja)

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JP27623888A JPH02123810A (ja) 1988-11-02 1988-11-02 弾性表面波装置

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JPH02123810A true JPH02123810A (ja) 1990-05-11

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ID=17566623

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5833310A (ja) * 1981-08-21 1983-02-26 Hitachi Ltd 表面弾性波装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5833310A (ja) * 1981-08-21 1983-02-26 Hitachi Ltd 表面弾性波装置

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