JPH02127629U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02127629U JPH02127629U JP3568889U JP3568889U JPH02127629U JP H02127629 U JPH02127629 U JP H02127629U JP 3568889 U JP3568889 U JP 3568889U JP 3568889 U JP3568889 U JP 3568889U JP H02127629 U JPH02127629 U JP H02127629U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyor
- buffer
- processing section
- rear conveyor
- conveyance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 claims description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
Description
第１図は本考案に係る第１の実施例を示すバツ
フア搬送装置の斜視図、第２図は第２の実施例を
示すバツフア搬送装置の概要図、第３図は従来例
を示す概要図である。 Ａ……前段処理部、Ｂ……バツフア・スペース
、Ｃ……後続処理部、Ｒ……基板搬送路、Ｖ１…
…前方コンベアの搬送速度、Ｖ２……後方コンベ
アの搬送速度、１０……前方コンベア、１０ａ…
…単位間欠送り出しコンベア、２０……後方コン
ベア。
フア搬送装置の斜視図、第２図は第２の実施例を
示すバツフア搬送装置の概要図、第３図は従来例
を示す概要図である。 Ａ……前段処理部、Ｂ……バツフア・スペース
、Ｃ……後続処理部、Ｒ……基板搬送路、Ｖ１…
…前方コンベアの搬送速度、Ｖ２……後方コンベ
アの搬送速度、１０……前方コンベア、１０ａ…
…単位間欠送り出しコンベア、２０……後方コン
ベア。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 前段処理部と後続処理部との間に順次前方コ
ンベアと後方コンベアとを連設配置して成り、前
方コンベアはその搬送速度を前段処理部の基板排
出速度に設定して一定間隔で排出される基板を間
欠的に受け取り可能に構成し、後方コンベアはそ
の搬送速度を前方コンベアの搬送速度より高速に
設定するとともに、後続処理部が空の状態のとき
に基板を開欠的に送り出し可能に構成して前段処
理部と後続処理部との間にバツフア・スペースを
確保するように構成した基板連続処理装置のバツ
フア搬送装置において、 前方コンベアと後方コンベアとの間にリフト移
載手段を介在させ、リフト移載手段で前方コンベ
ア上の基板をその搬送路の上方に持ち上げ、後方
コンベアが空になるまで待機させて当該コンベア
の搬送路の上方にバツフア・スペースを形成する
ように構成したことを特徴とする基板連続処理装
置のバツフア搬送装置。 ２ 単位間欠送り出しコンベアを複数個連設して
後方コンベアを構成し、後方コンベア内にバツフ
ア・スペースを形成するようにした請求項１に記
載した基板連続処理装置のバツフア搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3568889U JPH02127629U (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3568889U JPH02127629U (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02127629U true JPH02127629U (ja) | 1990-10-22 |
Family
ID=31541260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3568889U Pending JPH02127629U (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02127629U (ja) |
-
1989
- 1989-03-28 JP JP3568889U patent/JPH02127629U/ja active Pending
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