JPH0212794A - 多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の製造方法 - Google Patents
多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の製造方法Info
- Publication number
- JPH0212794A JPH0212794A JP63160808A JP16080888A JPH0212794A JP H0212794 A JPH0212794 A JP H0212794A JP 63160808 A JP63160808 A JP 63160808A JP 16080888 A JP16080888 A JP 16080888A JP H0212794 A JPH0212794 A JP H0212794A
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- Japan
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- matrix
- multicolor
- color
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電子的に処理された情報を多色表示するため
のカラーデイスプレィ装置に関する。
のカラーデイスプレィ装置に関する。
情報を多色表示するためのカラーデイスプレィ装置とし
てはブラウン管が多用されているが、装置の薄型化のた
めに液晶型表示素子や固体発光型素子が利用され、とく
に表示の輝度の点からエレクトロ・ルミネッセンス固体
表示素子が好まれている。
てはブラウン管が多用されているが、装置の薄型化のた
めに液晶型表示素子や固体発光型素子が利用され、とく
に表示の輝度の点からエレクトロ・ルミネッセンス固体
表示素子が好まれている。
かかるエレクトロ・ルミネッセンス固体表示素子の多色
化に当っては、複数種類の発光素子を平面基板上に逐次
積み重ねて装置を構成する方法があるが、輝度の不足や
欠陥などの発生し易い点から、平面基板上に二次元的に
素子を配列して装置を構成する方法がより望ましい。そ
して、かかる平面型の多色化固体表示装置を製造する方
法として、ホトリソグラフ法を利用してガラス基板上に
蒸着した蛍光体薄膜を所望部位のみに残し、それ以外は
すべてレジス）ＩＩＱと共に剥離除去する手法を反復し
て、複数種類の蛍光体薄膜を隣り合わせに作り込む方法
が開示されている（月刊セミコンダクター・ワールド、
１９８７、（８）、９１５６〜１５７）。かかる方法は
第２図に示すような手順に従って実施される。図におい
て１はガラス基板、２は透明電極、３は誘電層、Ｒはレ
ジスト層、Ｘは第１の発光体、Ｙは第２の発光体、Ｚは
第３の発光体、４は誘電層、５は電極である。すなわち
、ガラス基板１上に透明電極２と誘電層３とを順に積層
した上にレジストＲを塗付し、ホトリソグラフ法によっ
て第１の発光体Ｘを設ける部位のレジストを除去する（
１）。続いてこの上に第１の発光体Ｘを蒸着しく■）、
レジストＲと共に第１の発光体Ｘを剥離することによっ
て所望部位のみに第１の発光体Ｘを残す（ＩＩＩ）。次
に、全面にレジストＲを塗付し、上記と同様にホトリソ
グラフ法によって第２の発光体Ｙを設ける部位のレジス
トを除去し、続いてこの上に第２の発光体Ｙを蒸着しく
■）、レジストＲと共に第２の発光体Ｙを剥離すること
によって所望部位のみに第２の発光体Ｙを残し、第１の
発光体Ｘと第２の発光体Ｙとを夫々所望部位に配設した
板体が得られる（Ｖ）。
化に当っては、複数種類の発光素子を平面基板上に逐次
積み重ねて装置を構成する方法があるが、輝度の不足や
欠陥などの発生し易い点から、平面基板上に二次元的に
素子を配列して装置を構成する方法がより望ましい。そ
して、かかる平面型の多色化固体表示装置を製造する方
法として、ホトリソグラフ法を利用してガラス基板上に
蒸着した蛍光体薄膜を所望部位のみに残し、それ以外は
すべてレジス）ＩＩＱと共に剥離除去する手法を反復し
て、複数種類の蛍光体薄膜を隣り合わせに作り込む方法
が開示されている（月刊セミコンダクター・ワールド、
１９８７、（８）、９１５６〜１５７）。かかる方法は
第２図に示すような手順に従って実施される。図におい
て１はガラス基板、２は透明電極、３は誘電層、Ｒはレ
ジスト層、Ｘは第１の発光体、Ｙは第２の発光体、Ｚは
第３の発光体、４は誘電層、５は電極である。すなわち
、ガラス基板１上に透明電極２と誘電層３とを順に積層
した上にレジストＲを塗付し、ホトリソグラフ法によっ
て第１の発光体Ｘを設ける部位のレジストを除去する（
１）。続いてこの上に第１の発光体Ｘを蒸着しく■）、
レジストＲと共に第１の発光体Ｘを剥離することによっ
て所望部位のみに第１の発光体Ｘを残す（ＩＩＩ）。次
に、全面にレジストＲを塗付し、上記と同様にホトリソ
グラフ法によって第２の発光体Ｙを設ける部位のレジス
トを除去し、続いてこの上に第２の発光体Ｙを蒸着しく
■）、レジストＲと共に第２の発光体Ｙを剥離すること
によって所望部位のみに第２の発光体Ｙを残し、第１の
発光体Ｘと第２の発光体Ｙとを夫々所望部位に配設した
板体が得られる（Ｖ）。
更に、前記同様の操作を第３の発光体Ｚについて繰返し
て所定の発光体すべてを所定部位に配設した板体を得、
これを誘電層４で被覆しまたそれぞれの発光体に対応す
る電極５を公知の手法に従ってそれぞれの位置に設けて
固体表示装置が製造される（Ｖ［）。
て所定の発光体すべてを所定部位に配設した板体を得、
これを誘電層４で被覆しまたそれぞれの発光体に対応す
る電極５を公知の手法に従ってそれぞれの位置に設けて
固体表示装置が製造される（Ｖ［）。
上述のような従来方法では、レジスト層に形成した孔の
部分に付着堆積した発光体層を残して、レジスト層上の
発光体層をレジスト層と共に剥離して除去するので、基
板の全面にわたってレジスト層のバタン形状を精密に形
成する必要があり、また発光体層の堆積厚さなどを正確
に制御する必要がある。このような素子製造方法におい
ては、バタンの微細化と共に工程管理の厳密さが要求さ
れるので、バタンの高密度化に限度がある。
部分に付着堆積した発光体層を残して、レジスト層上の
発光体層をレジスト層と共に剥離して除去するので、基
板の全面にわたってレジスト層のバタン形状を精密に形
成する必要があり、また発光体層の堆積厚さなどを正確
に制御する必要がある。このような素子製造方法におい
ては、バタンの微細化と共に工程管理の厳密さが要求さ
れるので、バタンの高密度化に限度がある。
そこで本発明においては、工程管理に困難さがなく、バ
タンの高密度化が容易に達成できる多色化エレクトロ・
ルミネッセンス表示装置の改良された製造方法を提供し
ようとするものである。
タンの高密度化が容易に達成できる多色化エレクトロ・
ルミネッセンス表示装置の改良された製造方法を提供し
ようとするものである。
前述の目的を達成できる本発明の多色化エレクトロ・ル
ミネッセンス表示装置の製造方法は、電極層を設けた基
板面上に均一な母体層を形成し、該母体を第１色発光体
に転化させうる第１の付活剤を含む薄層と該母体を第２
色発光体に転化させうる第２の付活剤を含む薄層と該母
体を第３色発光体に転化させうる第３の付活剤を含む薄
層とを該母体層上の夫々異なった所定領域内に順次付着
させ、次いで全体を加熱処理することによって該母体層
内に前記の各付活剤を夫々に拡散させて多色化発光体層
を形成することを特徴とするものである。
ミネッセンス表示装置の製造方法は、電極層を設けた基
板面上に均一な母体層を形成し、該母体を第１色発光体
に転化させうる第１の付活剤を含む薄層と該母体を第２
色発光体に転化させうる第２の付活剤を含む薄層と該母
体を第３色発光体に転化させうる第３の付活剤を含む薄
層とを該母体層上の夫々異なった所定領域内に順次付着
させ、次いで全体を加熱処理することによって該母体層
内に前記の各付活剤を夫々に拡散させて多色化発光体層
を形成することを特徴とするものである。
そして、このようにして形成された多色化発光体層上に
は、夫々の色発光領域に対応する電極層を設けることに
よって、多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置が
完成される。
は、夫々の色発光領域に対応する電極層を設けることに
よって、多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置が
完成される。
以下、第１図によって本発明の製造方法を、更に詳細に
説明する。なお、図における記号は従来技術の説明のた
め第２図において使用したものと同じものを便宜のため
使用した。
説明する。なお、図における記号は従来技術の説明のた
め第２図において使用したものと同じものを便宜のため
使用した。
本発明においては、ガラス基板１の面上に透明電極２と
第１誘電体層３とを順に積層したものを用意することは
従来と同様であるが、このような基板面上には、夫々異
なった色に発光する発光体の共通の母体層Ｍをたとえば
化学蒸着やスバッタリングなどを含む蒸着などの方法に
よって均一に設ける（ａ）。かかる母体層Ｍは、夫々異
なる付活剤ＡＩ 、Ａｚ 、Ａ３によって付活するこ
とにより、夫々たとえば赤、緑、青などを発光する発光
体ＸＹ、Ｚに転化するものであり、これらの発光体に共
通な母体組成を有するものたとえば硫化亜鉛などが選ば
れる。こうした母体層Ｍは良好な発光特性を得るために
発達した結晶構造を有するものであることが望ましく、
たとえば真空蒸着法などによって０．３〜１．０μｍの
厚さに成膜することが好ましい。
第１誘電体層３とを順に積層したものを用意することは
従来と同様であるが、このような基板面上には、夫々異
なった色に発光する発光体の共通の母体層Ｍをたとえば
化学蒸着やスバッタリングなどを含む蒸着などの方法に
よって均一に設ける（ａ）。かかる母体層Ｍは、夫々異
なる付活剤ＡＩ 、Ａｚ 、Ａ３によって付活するこ
とにより、夫々たとえば赤、緑、青などを発光する発光
体ＸＹ、Ｚに転化するものであり、これらの発光体に共
通な母体組成を有するものたとえば硫化亜鉛などが選ば
れる。こうした母体層Ｍは良好な発光特性を得るために
発達した結晶構造を有するものであることが望ましく、
たとえば真空蒸着法などによって０．３〜１．０μｍの
厚さに成膜することが好ましい。
母体層Ｍ上に付着させる付活剤Ａ、、Ａ、、Ａ３は、そ
れぞれ異なった発光領域内に薄層状となるように設ける
（ｂ）が、その付着手段としてはたとえば水性塗料とし
て母体層Ｍ上に印刷するなどの方法や、蒸着する方法な
どが利用できる。特に高精密度が要求されないときは通
常の印刷方法を利用することが好ましいが、微細なバタ
ンか要求されるときには印刷または蒸着とホトエツチン
グ手法とを併用することもできる。しかし、付活剤をそ
れぞれ所定領域に付着させる方法は特に限定されるもの
ではない。
れぞれ異なった発光領域内に薄層状となるように設ける
（ｂ）が、その付着手段としてはたとえば水性塗料とし
て母体層Ｍ上に印刷するなどの方法や、蒸着する方法な
どが利用できる。特に高精密度が要求されないときは通
常の印刷方法を利用することが好ましいが、微細なバタ
ンか要求されるときには印刷または蒸着とホトエツチン
グ手法とを併用することもできる。しかし、付活剤をそ
れぞれ所定領域に付着させる方法は特に限定されるもの
ではない。
このように薄膜状に付着させた付活剤Ａ、、Ａ２ 、Ａ
３は、基板ごと加熱して母体層Ｍ中に拡散させ、それぞ
れ母体層Ｍを異なった色光を発する発光体Ｘ、Ｙ、Ｚに
転化させる（Ｃ）。かかる熱拡散条件は、真空中４００
〜８００°Ｃで、５〜５０時間程度とすることができる
。こうして多色化発光体層が得られるが、この面上には
更に第２誘電体層４を蒸着し、ついで各色発光体領域の
それぞれに対応する第２電極層５をその上に重ねて蒸着
形成することにより、本発明のエレクトロ・ルミネッセ
ンス表示装置が得られる（ｄ）。
３は、基板ごと加熱して母体層Ｍ中に拡散させ、それぞ
れ母体層Ｍを異なった色光を発する発光体Ｘ、Ｙ、Ｚに
転化させる（Ｃ）。かかる熱拡散条件は、真空中４００
〜８００°Ｃで、５〜５０時間程度とすることができる
。こうして多色化発光体層が得られるが、この面上には
更に第２誘電体層４を蒸着し、ついで各色発光体領域の
それぞれに対応する第２電極層５をその上に重ねて蒸着
形成することにより、本発明のエレクトロ・ルミネッセ
ンス表示装置が得られる（ｄ）。
なお、ここでは多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示
装置として二重絶縁型の交流電圧印加方式のものを例と
して説明したが、誘電体層を省略するか又は導電層とし
て直流電圧印加方式とすることもできる。また、電極を
透明電極材料により形成したうえ多色化発光体層を重積
するなどしてもよ（、本発明の製造方法は、適用対象の
多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の構造や種
類などについて特に限定されるものではない。
装置として二重絶縁型の交流電圧印加方式のものを例と
して説明したが、誘電体層を省略するか又は導電層とし
て直流電圧印加方式とすることもできる。また、電極を
透明電極材料により形成したうえ多色化発光体層を重積
するなどしてもよ（、本発明の製造方法は、適用対象の
多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の構造や種
類などについて特に限定されるものではない。
本発明の多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の
製造方法によれば、各色発光体に共通な組成を有する母
体の層上に、母体を各色発光体にそれぞれ転化させうる
各付活剤の薄層を付着させたうえ、これを熱処理して各
付活剤を母体層内に一挙に拡散させることにより多色化
発光体層を形成するので、従来の製法にくらべて工程が
少なくなり、特に発光体を形成したのちに部分的に除去
するという手数と無駄がなくなった。そして従来、ホト
レジスト上に発光体層を形成するので高温条件を採用で
きず、発光体の組成や結晶構造等を決定する成膜条件を
自由に選択できなかったのに対し、本発明においてはそ
のような制約は一切なく、任意の成膜条件を選択できる
利点がある。
製造方法によれば、各色発光体に共通な組成を有する母
体の層上に、母体を各色発光体にそれぞれ転化させうる
各付活剤の薄層を付着させたうえ、これを熱処理して各
付活剤を母体層内に一挙に拡散させることにより多色化
発光体層を形成するので、従来の製法にくらべて工程が
少なくなり、特に発光体を形成したのちに部分的に除去
するという手数と無駄がなくなった。そして従来、ホト
レジスト上に発光体層を形成するので高温条件を採用で
きず、発光体の組成や結晶構造等を決定する成膜条件を
自由に選択できなかったのに対し、本発明においてはそ
のような制約は一切なく、任意の成膜条件を選択できる
利点がある。
更に、付活剤層を母体層上に付着させる方法は精度と経
済性とを満たし得るものを適宜選択でき、特に印刷手法
などが用いうるので量産性をも兼ね備えることができる
特長がある。
済性とを満たし得るものを適宜選択でき、特に印刷手法
などが用いうるので量産性をも兼ね備えることができる
特長がある。
第１図は本発明の多色化エレクトロ・ルミネッセンス表
示装置の製造方法の手順の説明図、 第２図は従来の多色化固体表示装置を製造する方法の手
順の説明図である。 １・・・基板、２・・・透明電極、３，４・・・誘電体
層、５・・・電極、Ａｔ 、Ａｚ−Ａ３・・・付活剤
、Ｍ・・・母体層、Ｒ・・・レジスト、Ｘ、Ｙ、Ｚ・・
・発光体。 特許出願人 パイオニア株式会社
示装置の製造方法の手順の説明図、 第２図は従来の多色化固体表示装置を製造する方法の手
順の説明図である。 １・・・基板、２・・・透明電極、３，４・・・誘電体
層、５・・・電極、Ａｔ 、Ａｚ−Ａ３・・・付活剤
、Ｍ・・・母体層、Ｒ・・・レジスト、Ｘ、Ｙ、Ｚ・・
・発光体。 特許出願人 パイオニア株式会社
Claims (3)
- （１） 電極層を設けた基板面上に均一な母体層を形成
し、該母体を第１色発光体に転化させうる第１の付活剤
を含む薄層と該母体を第２色発光体に転化させうる第２
の付活剤を含む薄層と該母体を第３色発光体に転化させ
うる第３の付活剤を含む薄層とを該母体層上の夫々異な
った所定領域内に順次付着させ、次いで全体を加熱処理
することによって該母体層内に前記の各付活剤を夫々に
拡散させて多色化発光体層を形成することを特徴とする
、多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の製造方
法。 - （２） 基板として透明なガラス板上に透明電極層と第
１誘電体層とを順次積層して設けたものを用い、更に形
成された多色化発光体層を少なくとも被覆する第２誘電
体層と該第２誘電体層表面上の各色発光体領域の夫々に
対応する第２電極層とを順次積層して設けることを特徴
とする、請求項１記載の多色化エレクトロ・ルミネッセ
ンス表示装置の製造方法。 - （３） 付活剤を含む薄層の夫々を印刷手段によって母
体層上に付着させる、請求項１または２記載の多色化エ
レクトロ・ルミネッセンス表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63160808A JPH0212794A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63160808A JPH0212794A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0212794A true JPH0212794A (ja) | 1990-01-17 |
Family
ID=15722878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63160808A Pending JPH0212794A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0212794A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60237394A (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-26 | 株式会社東芝 | 不活性ガス供給装置 |
| JPS61240592A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-25 | セイコーエプソン株式会社 | Ｅｌ発光素子の製造方法 |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP63160808A patent/JPH0212794A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60237394A (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-26 | 株式会社東芝 | 不活性ガス供給装置 |
| JPS61240592A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-25 | セイコーエプソン株式会社 | Ｅｌ発光素子の製造方法 |
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