JPH0237692A - 多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子的に処理された情報を多色表示するため
のカラーデイスプレィ装置に関する。

（従来の技術〕 情報を多色表示するためのカラーデイスプレィ装置とし
てはブラウン管が多用されているが、装置の薄型化のた
めに液晶型表示素子や固体発光型素子が利用され、とく
に表示の揮度の点からエレクトロ・ルミネッセンス固体
表示素子が好まれている。

かかるエレクトロ・ルミネッセンス固体表示素子の多色
化に当っては、複数種類の発光素子を平面基板上に逐次
積み重ねて装置を構成する方法があるが２．輝度の不足
や欠陥などの発生し易い点から、平面基板上に二次元的
に素子を配列して装置を構成する方法がより望ましい。

そして、かかる平面型の多色化固体表示装置を製造する
方法として、ホトリソグラフ法をｉｔｌ用してガラス基
板上に蒸着した蛍光体薄膜を所望部位のみに残し、それ
以外はすべてレジスト膜と共に剥離除去する手法を反復
して、複数種類の蛍光体薄膜を隣り合わせに作り込む方
法が開示されている（月刊セミコンダクター・ワールド
、１９８７、（８）、ｐ１５６〜１５７）。かかる方法
は第２図に示すような手順に従って実施される。図にお
いて１はガラス基板、２は透明電極、３は誘電層、Ｒは
レジスト層、Ｘは第１の発光体、Ｙは第２の発光体、Ｚ
は第３の発光体、４は誘電層、５は電極である。すなわ
ち、ガラス基板１上に透明電極２と誘電層３とを順に積
層した上にレジストＲを塗付し、ホトリソグラフ法によ
って第１の発光体Ｘを設ける部位のレジストを除去する
（Ｉ）。続いてこの上に第１の発光体Ｘを蒸着しく■）
、レジス）Ｒと共に第１の発光体Ｘを剥離することによ
って所望部位のみに第１の発光体Ｘを残す（ＩＩＩ）。

次に、全面にレジストＲを塗付し、上記と同様にホトリ
ソグラフ法によって第２の発光体Ｙを設ける部位のレジ
ストを除去し、続いてこの上に第２の発光体Ｙを蒸着し
く■）、レジストＲと共に第２の発光体Ｙを剥離するこ
とによって所望部位のみに第２の発光体Ｙを残し、第１
の発光体Ｘと第２の発光体Ｙとを夫々所望部位に配設し
た板体が得られる（Ｖ）。

更に、前記同様の操作を第３の発光体Ｚについて繰返し
て所定の発光体すべてを所定部位に配設した板体を得、
これを誘電層４で被覆しまたそれぞれの発光体に対応す
る電極５を公知の手法に従ってそれぞれの位置に設けて
固体表示装置が製造される　（Ｖｌ）。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述のような従来方法では、レジスト層に形成した孔の
部分に付着堆積した発光体層を残して、レジスト層上の
発光体層をレジスト層と共に剥離して除去するので、基
板の全面にわたってレジスト層のバタン形状を精密に形
成する必要があり、また発光体層の堆積厚さなどを正確
に制御する必要がある。このような素子製造方法におい
ては、バタンの微細化と共に工程管理の厳密さが要求さ
れるので、バタンの高密度化に限度がある。

そこで本発明においては、工程管理に困難さがなく、バ
タンの高密度化が容易に達成できる多色化エレクトロ・
ルミ名ソセンス表示装置の改良された製造方法を提供し
ようとするものである。

〔課題を解決するだめの手段〕

前述の目的を達成できる本発明の多色化エレクトロ・ル
ミネッセンス表示装置の製法は、電極層を設けた基板面
上に均一な第１の母体薄層を形成し、該母体を第１色発
光体に転化させうる第１の付活剤を含む薄層と該母体を
第２色発光体に転化させうる第２の付活剤を含む薄層と
該母体を第３色発、光体に転化させうる第３の付活剤を
含む薄層とを該母体薄層上の夫々異なった所定領域内に
順次付着させ、更にその面上に均一な第２の母体薄層を
積層して形成し、次いで全体を加熱処理することによっ
て前記の両母体薄層内に前記の各付活剤を夫々に拡散さ
せて一体の多色化発光体層を形成することを特徴とする
ものである。

そして、このようにして形成された多色化発光体層上に
は、夫々の色発光領域に対応する電極層を設けることに
よって、多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置が
完成される。

以下、第１図によって本発明の製法を、更に詳細に説明
する。なお、図における記号は従来技術の説明のため第
２図において使用したものと同しものを便宜のため使用
した。

本発明においては、ガラス基板１の面上に透明電極２と
第１誘電体層３とを順に積層したものを用意することは
従来と同様であるが、このような基板面上には、夫々異
なった色に発光する発光体の共通の第１の母体層ＭＭ、
をたとえば化学蒸着やスパッタリングなどを含む蒸着な
どの方法によって均一に設ける（ａｌ。かかる母体層Ｆ
Ｊ　Ｍ　＋　は、夫々異なる付活剤Ａ＋　　、Ａｚ　　
、Ａ３によって付活することにより、夫々たとえば赤、
緑、青などを発光する発光体Ｘ、Ｙ、Ｚに転化するもの
であり、これらの発光体に共通な母体組成を有するもの
たとえば硫化亜鉛などが選ばれる。こうした母体薄層Ｍ
、は良好な発光特性を得るために発達した結晶構造を有
するものであることが望ましく、たとえば真空蒸着法な
どによって０．３〜１．０　ｐ　ｍの厚さに成膜するこ
とが好ましい。

母体薄層Ｍ、上に付着させる付活剤Ａ’＋、ＡｚＡ３は
、それぞれ異なった発光領域内に薄層状となるように設
ける（ｂｌが、その付着手段としてはたとえば水性塗料
として母体薄層ＭＩ上に印刷するなどの方法や、蒸着す
る方法などが利用できる。

特に高精密度が要求されないときは通常の印刷方法を利
用することが好ましいが、微細なバタンが要求されると
きには印刷または蒸着とホトエツチング手法とを併用す
ることもできる。しかし、付活剤をそれぞれ所定領域に
付着させる方法は特に限定されるものではない。

このようにして付活剤ＡＩ　、Ａ２　、Ａ３が薄層状に
付着されたのち、更にその上に第２の母体薄層Ｍ２を均
一に設ける（Ｃ）が、かかる第２の母体薄層Ｍ２は前記
第１の母体薄層Ｍ１と同質のものであり、また同様の方
法によって形成するのがよい。

このように薄膜状に付着させた付活剤Ａ＋、Ａ２　、Ａ
、は、基板ごと加熱して母体薄層Ｍ１およびＭ２中に拡
散させ、それぞれ母体薄層Ｍ、およびＭ２を異なった色
光を発する発光体Ｘ、Ｙ、Ｚに転化させるＴｄｌ。かか
る熱拡散条件は、真空中４００〜８００℃で、５〜５０
時間程度とすることができる。こうして一体止された多
色化発光体層が得られるが、この面上には更に第２誘電
体層４を蒸着し、ついで各色発光体領域のそれぞれに対
応する第２電極層５をその上に重ねて蒸着形成すること
により、本発明のエレクトロ・ルミネッセンス表示装置
が得られる（ｅ）。

なお、ここでは多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示
装置として二重絶縁型の交流電圧印加方式のものを例と
して説明したが、誘電体層を省略するか又は導電層とし
て直流電圧印加方式とすることもできる。また、電極を
透明電極材料により形成したうえ多色化発光体層を重積
するなどしてもよく、本発明の製法は、適用対象の多色
化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の構造や種類な
どについて特に限定されるものではない。

〔発明の効果〕 本発明の多色化エレクトロ・ルミネッセンス表示装置の
製法によれば、各色発光体に共通な組成を有する母体の
薄層上に、母体を各色発光体にそれぞれ転化させうる各
付活剤の薄層を付着させたうえ、更にその上に母体の薄
層を積層し、これを熱処理して各付活剤を母体層内に一
挙に拡散させることにより一体の多色化発光体層を形成
するので、従来の製法にくらべて工程が少なくなり、特
に発光体を形成したのちに部分的に除去するという手数
と無駄がなくなった。そして従来、ホトレジスト上に発
光体層を形成するので高温条件を採用できず、発光体の
組成や結晶構造等を決定する成膜条件を自由に選択でき
なかったのに対し、本発明においてはそのような制約は
一切なく、任意の成膜条件を選択できる利点がある。

そしてまた付活剤を母体層の中に挾み込んだ状態で熱拡
散させるので付活剤の無駄な揮散がなく、それに伴う汚
染も起らないので、性能の優れた均一な組成の発光体層
が容易に得られる利点もある。

更に、付活剤層を母体層上に付着させる方法は精度と経
済性とを満たし得るものを適宜選択でき、特に印刷手法
などが用いうるので量産性をも兼ね備えることができる
特長がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の多色化エレクトロ・ルミネッセンス表
示装置の製法の手順の説明図、第２図は従来の多色化固
体表示装置を製造する方法の手順の説明図である。 ■・・・基板、２・・・透明電極、３，４・・・誘電体
層、５・・・電極、Ａ１　、Ａ２　、Ａ３・・・付活剤
、Ｍ、、Ｍ２・・・母体薄層、Ｒ・・・レジスト、Ｘ、
Ｙ、Ｚ・・・発光体。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）　電極層を設けた基板面上に均一な第１の母体薄
   層を形成し、該母休を第１色発光体に転化させうる第１
   の付活剤を含む薄層と該母体を第２色発光体に転化させ
   うる第２の付活剤を含む薄層と該母体を第３色発光体に
   転化させうる第３の付活剤を含む薄層とを該母体薄層上
   の夫々異なった所定領域内に順次付着させ、更にその面
   上に均一な第２の母体薄層を積層して形成し、次いで全
   体を加熱処理することによって前記の両母体薄層内に前
   記の各付活剤を夫々に拡散させて一体の多色化発光体層
   を形成することを特徴とする、多色化エレクトロ・ルミ
   ネッセンス表示装置の製法。
2. （２）基板として透明なガラス板上に透明電極層と第１
   誘電体層とを順次積層して設けたものを用い、更に形成
   された多色化発光体層を少なくとも被覆する第２誘電体
   層と該第２誘電体層表面上の各色発光体領域の夫々に対
   応する第２電極層とを順次積層して設けることを特徴と
   する、請求項１記載の多色化エレクトロ・ルミネッセン
   ス表示装置の製法。
3. （３）　付活剤を含む薄層の夫々を印刷手段によって母
   体薄層に付着させる、請求項１または２記載の多色化エ
   レクトロ・ルミネツセンス表示装置の製法。