JPH02128417A - プロキシミティー目合露光装置のギャップユニット劣化予知方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体素子を製造する工程に使われるプロキ
シミティー目合露光装置に関し、特に目金時及び焼付は
時のプロキシミティーギャップ量を設定するギャップユ
ニットの劣化を予知する方法に関する。

〔従来の技術〕

ギャップユニットは第７図に示す如く、プロキシミティ
ー目合露光装置のマススホルダー７１の下方に試料積載
台７３と共に設置されており、モータ７５により試料積
載台７３を上下させ、アライメント時、露光時等にホト
マスク７２と試料積載台上の試料７４との間隔を設定す
る装置である。このギャップユニット７０は長時間稼働
すると劣化して動作不良を起す。従来のギヤ・ツブユニ
ットの劣化は予知されていなく、動作不良が発生した時
点で調査して劣化の程度を判断してその対策を講じてい
た。

〔発明が解決しようとする課題〕

前述したように、ギャップユニットは動作不良が発生し
た時点で、そのギャップユニ・ントを調査して劣化を判
断していた。そして、上記の処置は総て人間によって行
なわれていた為、キヤ・ンプユニット動作不良が発生し
た場合、調査及び劣化の判断に工数が掛るし、更に装置
停止時間が長く、生産性が低下するという欠点があった
。

本発明はギャップユニットの劣化を予知し、動作不良が
起る前に劣化対策がとれるようにすることを目的として
いる。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のギャップユニット動作時間によるギャップユニ
ット劣化の予知方法は、ギャップユニットの動作時間、
すなわちキャップ調整動作開始が終了までの時間を測定
し、この時間があらかじめ定められた基準値より大きい
ときに警報を発して、まもなく動作不良が起ることを知
らせる方法である。この方法を実現するにはギャップユ
ニットの動作時間を測定する判断処理部、測定データの
異常を知らせる警報部からなる装置を使用する。

〔作用〕

ギャップユニットは第２図に示すように、稼働時間と共
に動作時間（ギャップ調整開始がら終了までに要する時
）が徐々に長くなり、ついには動作不良を起すに至る。

本発明はこの特性を活用し、第３図に示すように、テス
トデータに基づいて動作不良を起す直前の動作時間を決
定し、これを劣化予知時間（基準時間）として設定して
動作時間がこの値に達したときに警報を発するようにし
ているので劣化時が自動的に検知できる。また、警報が
発した時点でギャップユニットを調整あるいは交換すれ
ば装置停止時間を最小限に抑えられ生産性が低下される
ことはない。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の一実施例を示したものである。劣化予知装置
３は測定部３ａ、判断処理部３ｂ、警報部３ｃからなり
、その入力端はプロキシミティー目合錆光装置１とコン
トローラ２に接続し、コントローラ２がキャップユニッ
ト１ａと遺り取りする信号の一部を入力信号としている
。

測定部３ａ、判断処置部３ｂ、警報部３ｃの具体例は第
４図に示す。

コントローラ２からギャップユニット１ａに動作開始信
号が送られるとギャップユニット１ａはギャップ調整動
作開始し、ギャップユニット１ａに備えであるエアセン
サで試料とホトマスクとの間隔を測定する。間隔が定め
られた値になるとエアセンサから動作終了信号がコント
ローラ２に送られ動作は停止する。この間劣化予知装置
には第５図に示す信号（ａ＞がコントローラ２から送ら
れてくる。劣化予知装置３に信号（ａ）が入力されると
第５図に示すようにホトカプラ４１からＩＣ４２ａ、４
２ｂに信号（ｂ）が出力される。

ＩＣ４２ａ、４２ｂは信号（ｂ）に基づいてタイマー回
路４３へ信号（Ｃ）、（ｄ）を出力する。

タイマー回路４３は信号（ｃ）が入力されると動作を開
始し、定められた時間（基準時間）後に警報部３ｃを動
作させる信号を出力するが、基準時間内にリセット信号
（ｄ）が入力されると信号は出力せず時期状態に復帰す
る。すなわちタイマー回路４３の出力信号（ｅ）は常に
０になっている。ギャップユニットが劣化して動作時間
が長くなり、第６図に示すように入力信号（ａ）のハイ
レベルが基準時間を越え、基準時間内にリセット信号（
ｄ）が入力されないとタイマー回路はリセットされず警
報部３Ｃへ信号（ｆ）を出力し警報部を動作させる。警
報部３ｃでは信号（ｆ）によりリレーが動作しブザーが
鳴り、ギャップユニットが劣化したことを知らせる。こ
の警報に基づいてギャップユニットの調整あるいは交換
を行う。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、ギャップユニットの動作
時間を劣化予知装置によって監視することにより、ギャ
ップユニットの劣化を前もって自動的に予知するので、
ギャップユニット動作不良時の工数削減及び装置の停止
時間を短縮することができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の構成概略図、第２図はギャッ
プユニット動作時間推移グラフ、第３図はギャップユニ
ット劣化予知グラフ、第４図は劣化予知装置の具体的な
回路の一例を示す図、第５図、第５図、第６図は劣化予
知装置の動作を示すタイムチャート、第７図はプロキシ
ミティー目合露光装置の概略図である。 ３・・・劣化予知装置、３ａ・・・測定部、３ｂ・・・
判断処置部、３ｃ・・・警報部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. プロキシミティー目合露光装置のギャップユニットの動
   作時間（ギャップ調整開始から終了までの時間）を測定
   し、この時間をあらかじめ定められた基準値と比較し、
   その大小により、ギャップユニットの劣化の有無を判定
   することを特徴とするプロキシミティー目合露光装置の
   ギャップユニット劣化予知方法。