JPH02128443A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH02128443A JPH02128443A JP63281839A JP28183988A JPH02128443A JP H02128443 A JPH02128443 A JP H02128443A JP 63281839 A JP63281839 A JP 63281839A JP 28183988 A JP28183988 A JP 28183988A JP H02128443 A JPH02128443 A JP H02128443A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- permanent magnet
- guide
- silicon substrate
- section
- electromagnet
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- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 16
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- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
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Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は搬送装置に関する。
［従来の技術］
従来のシリコン基板搬送装置は、ベルトによる搬送方式
で行なわれていた。ベルトによる搬送方式ではベルト、
プーリー、モーター等を使いシリコン基板をベルトの上
に乗せて搬送する方式で行なわれていた。
で行なわれていた。ベルトによる搬送方式ではベルト、
プーリー、モーター等を使いシリコン基板をベルトの上
に乗せて搬送する方式で行なわれていた。
しかし、前述の従来技術ではベルトとシリコン基板と′
の間でのこすれ、すべりによりベルトやシリコン基板の
裏面から発塵する。また、プーリー部の回転軸部分やベ
ルト溝部分から、こすれ、すべりにより発塵するという
問題点を有する。そこで本発明はこのような問題点を解
決するもので、その目的とするところは、シリコン基板
搬送装置からの発塵を少な（することを提供するところ
にある。
の間でのこすれ、すべりによりベルトやシリコン基板の
裏面から発塵する。また、プーリー部の回転軸部分やベ
ルト溝部分から、こすれ、すべりにより発塵するという
問題点を有する。そこで本発明はこのような問題点を解
決するもので、その目的とするところは、シリコン基板
搬送装置からの発塵を少な（することを提供するところ
にある。
［課題を解決するための手段］
本発明の搬送装置は搬送案内部に永久磁石と電磁石を、
搬送台に永久磁石を用い、磁気反発力と磁気引力を利用
することを特徴とする。
搬送台に永久磁石を用い、磁気反発力と磁気引力を利用
することを特徴とする。
［実 施 例］
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図は本発明の断面図である。第１図においてｌは永久
磁石、２は案内底面電磁石部、３は案内底面永久磁石部
、４は案内側面永久磁石部、５はシリコン基板をのせる
台、６はシリコン基板である。従来のシリコン基板搬送
装置を第２図ａ −ｂで説明する。第２図ａは上面から
見た図、ｂは側面から見た図である。第２図において、
７は搬送ベルト、８はプーリー、９はブリー回転軸、１
０はシリコン基板である。プノー８が回転することによ
り搬送ベルト７が動き、前記搬送ベルトの上にのせられ
たシリコン基板８が搬送される。
１図は本発明の断面図である。第１図においてｌは永久
磁石、２は案内底面電磁石部、３は案内底面永久磁石部
、４は案内側面永久磁石部、５はシリコン基板をのせる
台、６はシリコン基板である。従来のシリコン基板搬送
装置を第２図ａ −ｂで説明する。第２図ａは上面から
見た図、ｂは側面から見た図である。第２図において、
７は搬送ベルト、８はプーリー、９はブリー回転軸、１
０はシリコン基板である。プノー８が回転することによ
り搬送ベルト７が動き、前記搬送ベルトの上にのせられ
たシリコン基板８が搬送される。
次に、第３図は永久磁石１の構成図である。図のように
永久磁石１は、底部１１、円弧側面部１２、上部１３に
分かれている。周知のように６Ｒ石は同極ならば磁気反
発力が働き、異極ならば磁気引力が働く。例えば第３図
において底部１１がＮ極とし、案内底面永久磁石部３が
Ｎ極、案内側面永久磁石部４がＮ極とすると、磁気反発
力により永久６ｎ石５は底面、側面ともに第１図のよう
に接触することなく浮上した状態となる。
永久磁石１は、底部１１、円弧側面部１２、上部１３に
分かれている。周知のように６Ｒ石は同極ならば磁気反
発力が働き、異極ならば磁気引力が働く。例えば第３図
において底部１１がＮ極とし、案内底面永久磁石部３が
Ｎ極、案内側面永久磁石部４がＮ極とすると、磁気反発
力により永久６ｎ石５は底面、側面ともに第１図のよう
に接触することなく浮上した状態となる。
第４図は、永久磁石１と案内底固型６ｎ石部２と案内底
面永久６Ｒ石部３と案内側面永久磁石部４の関係を上面
から見た図である。例えば第５図に示すように、永久磁
石ｌの底部１１はＮ極であるので搬送しようとする方向
の前方の案内底固型６Ｒ石部２をＳ極としてやることに
より、磁気引力が働き、前方へ引かれ、後方の案内底面
電磁石部２をＮ極としてやることにより磁気反発力が働
き、前方へ押し出し搬送したい方向に搬送が可能である
。第５図では、紙面上方向に搬送する例である。
面永久６Ｒ石部３と案内側面永久磁石部４の関係を上面
から見た図である。例えば第５図に示すように、永久磁
石ｌの底部１１はＮ極であるので搬送しようとする方向
の前方の案内底固型６Ｒ石部２をＳ極としてやることに
より、磁気引力が働き、前方へ引かれ、後方の案内底面
電磁石部２をＮ極としてやることにより磁気反発力が働
き、前方へ押し出し搬送したい方向に搬送が可能である
。第５図では、紙面上方向に搬送する例である。
また、第６図において１４は固定用案内底面電磁石部で
ある。搬送の途中で処理などをする為にシリコン基板を
固定する場合、永久＆ｆ１石１の底面部にあたる案内底
面電磁石部２と固定用案内底面電磁石部１４をＳ極にす
ることにより磁気引力が働き永久磁石ｌと案内底面電磁
石部２と固定用案内底面電磁石部１４は密着し、固定さ
れる。
ある。搬送の途中で処理などをする為にシリコン基板を
固定する場合、永久＆ｆ１石１の底面部にあたる案内底
面電磁石部２と固定用案内底面電磁石部１４をＳ極にす
ることにより磁気引力が働き永久磁石ｌと案内底面電磁
石部２と固定用案内底面電磁石部１４は密着し、固定さ
れる。
第７図において、１５は回転用案内側面電磁石部である
。第３図において円弧側面部１２は、永久磁石のＳ極、
Ｎ極が交互に並ぶ構造をとっているので、回転用案内側
面電磁石部１５の電磁石を、例えば第８図のようにする
と、同極どうしに反発力が働き、異極どつしに引力が働
くので結果として時計まわりに永久磁石１がある角度だ
け回転する。回転用案内側面電磁石部１５のそれぞれの
電磁石のＳ極またはＮ極を切り換えつづけることにより
永久磁石１は任意の回転方向に、任意の角度だけ回転す
ることが可能であり、結果としてシリコン基板６が回転
し、回転位置決めが可能となる。
。第３図において円弧側面部１２は、永久磁石のＳ極、
Ｎ極が交互に並ぶ構造をとっているので、回転用案内側
面電磁石部１５の電磁石を、例えば第８図のようにする
と、同極どうしに反発力が働き、異極どつしに引力が働
くので結果として時計まわりに永久磁石１がある角度だ
け回転する。回転用案内側面電磁石部１５のそれぞれの
電磁石のＳ極またはＮ極を切り換えつづけることにより
永久磁石１は任意の回転方向に、任意の角度だけ回転す
ることが可能であり、結果としてシリコン基板６が回転
し、回転位置決めが可能となる。
［発明の効果］
以上述べたように本発明によればシリコン基板搬送装置
において、搬送案内部に永久磁石と電６ｎ石を、搬送台
に永久磁石を用い、６ｆｉ気反発力と５ｎ気引力を利用
する構造によって、こすれ、すべりなどがおこらず、発
塵な少なくするという効果がある。
において、搬送案内部に永久磁石と電６ｎ石を、搬送台
に永久磁石を用い、６ｆｉ気反発力と５ｎ気引力を利用
する構造によって、こすれ、すべりなどがおこらず、発
塵な少なくするという効果がある。
第１図は本発明搬送装置の断面図。
第２図（ａ）は従来のベルトによる搬送装置を上面から
見た図、第２図（ｂ）は側面から見た図。 第３図は、永久磁石１の構成図。 第４図は、永久磁石ｌと案内底面電磁石部２と案内底面
永久磁石部３と案内側面永久磁石部４の関係を上面から
見た図。 第５図は搬送原理を示した図。 第６図は搬送途中での固定部分の構成図。 第７図は回転位置決め部の構成図。 第８図は回転位置決め原理を示した図。 永久磁石 案内底面電磁石部 案内底面永久磁石部 案内側面永久磁石部 シリコン基板をのせる台 シリコン基板 搬送ベルト プーリ プーリー回転軸 シリコン基板 永久磁石５の底部 永久磁石５の円弧側面部 永久磁石５の上部 固定用案内底面電磁石部 回転用案内側面電磁石部 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 上 柳 雅 誉（他１名）ｖＲ図
見た図、第２図（ｂ）は側面から見た図。 第３図は、永久磁石１の構成図。 第４図は、永久磁石ｌと案内底面電磁石部２と案内底面
永久磁石部３と案内側面永久磁石部４の関係を上面から
見た図。 第５図は搬送原理を示した図。 第６図は搬送途中での固定部分の構成図。 第７図は回転位置決め部の構成図。 第８図は回転位置決め原理を示した図。 永久磁石 案内底面電磁石部 案内底面永久磁石部 案内側面永久磁石部 シリコン基板をのせる台 シリコン基板 搬送ベルト プーリ プーリー回転軸 シリコン基板 永久磁石５の底部 永久磁石５の円弧側面部 永久磁石５の上部 固定用案内底面電磁石部 回転用案内側面電磁石部 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 上 柳 雅 誉（他１名）ｖＲ図
Claims (1)
- 搬送装置において、搬送案内部に永久磁石と電磁石を、
搬送台に永久磁石を用い、磁気反発力と磁気引力を利用
することを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63281839A JPH02128443A (ja) | 1988-11-08 | 1988-11-08 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63281839A JPH02128443A (ja) | 1988-11-08 | 1988-11-08 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02128443A true JPH02128443A (ja) | 1990-05-16 |
Family
ID=17644731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63281839A Pending JPH02128443A (ja) | 1988-11-08 | 1988-11-08 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02128443A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5909995A (en) * | 1996-10-15 | 1999-06-08 | Balzers Aktiengesellschaft | Transport device for workpieces in a vacuum system |
-
1988
- 1988-11-08 JP JP63281839A patent/JPH02128443A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5909995A (en) * | 1996-10-15 | 1999-06-08 | Balzers Aktiengesellschaft | Transport device for workpieces in a vacuum system |
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