JPH02129342U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示すバツフア装置
の斜視図、第２図はアーム支持ブロツクの縦断正
面図、第３図はバツフア装置のブロツクダイヤグ
ラム、第４図及び第５図はそれぞれ動作プログラ
ムを略示すフローチヤートである。 Ｒ……基板搬送路、Ｒ_１……回収部、Ｒ_２……
通り抜け部、Ｒ_３……引き渡し部、Ｐ……基板収
容溝のピツチ、Ｗ……基板、１０……回収手段、
１１……基板保持具、１２……搬送アーム、１３
……アーム支持ブロツク、２０……カセツト、２
５……昇降手段、３０……払出し手段、４０……
制御手段。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 基板搬送路より基板を一枚ずつ引き取り回収す
   る回収手段と、上下へ多段に形成した基板収容溝
   を備え、回収した基板を一時的に収容するカセツ
   トと、カセツトから基板を一枚ずつ取り出して基
   板搬送路へ引き渡す払出し手段と、回収手段及び
   払出し手段を駆動制御する制御手段とを具備して
   成り、基板搬送路に付設配置して構成した基板の
   バツフア装置において、 基板搬送路上の基板搬送方向の上手側より順に
   基板の回収部と、通り抜け部と、引き渡し部とを
   連接して基板搬送路の一部分を構成し、 通り抜け部の上方にカセツトを配置して固定し
   、カセツトの上手側に回収手段を、カセツトの下
   手側に払出し手段をそれぞれ配置し、 回収手段及び払出し手段は、それぞれ基板保持
   具を備える搬送アームと、搬送アームをカセツト
   へ向けて進退駆動可能に支持するアーム支持ブロ
   ツクと、アーム支持ブロツクを位置決め可能に昇
   降する昇降手段とを備え、 制御手段で回収手段及び払出し手段を別々に駆
   動制御するように構成したことを特徴とする基板
   のバツフア装置。