JPH02132034U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示すバツフア装置
の斜視図、第２図は挾持搬送ロボツトの縦断正面
図、第３図はバツフア装置のブロツクダイヤグラ
ム、第４図〜第６図はそれぞれ作動プログラムを
略示するフローチヤートである。 Ｒ……基板搬送路、Ｒ_１……回収部、Ｒ_２……
通り抜け部、Ｒ_３……引き渡し部、Ｗ……基板、
１０……回収手段、１１……リフタ、１４……挾
持具、２０……カセツト、２１……基板収容溝、
２５……挾持搬送ロボツト、３０……払出し手段
、４０……制御手段。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 基板搬送路より基板を一枚ずつ引き取り回収す
   る回収手段と、上下多段に形成した基板収容溝を
   備え、回収した基板を一時的に収容するカセツト
   と、カセツトから基板を一枚ずつ取り出して基板
   搬送路へ引き渡す払出し手段と、回収手段及び払
   出し手段を駆動制御する制御手段とを具備して成
   り、カセツトの上手側に回収手段をカセツトの下
   手側に払出し手段をそれぞれ配置して構成した基
   板のバツフア装置において、 基板搬送方向の上手側より順に基板の回収部と
   、通り抜け部と、引き渡し部とを連設して基板搬
   送路の一部分を構成し、 通り抜け部の上方にカセツトを配置し、通り抜
   け部を基板搬送路より下降可能に、カセツトを位
   置決め昇降可能に構成し、 カセツトは基板の左右両端を基板収容溝で支持
   し、先後両端部をカセツト外へ突出させて収容す
   るように構成し、 回収手段及び払出し手段はそれぞれ基板の左右
   両端を挾持する一対の挾持具を備え、カセツトヘ
   向けて進退可能に設けられた挾持搬送ロボツトと
   、基板を基板搬送路と挾持搬送ロボツトとの間で
   移載するリフタとを具備して成り、一対の挾持具
   で基板の後端側若しくは先端側の左右両端を挾持
   してカセツトの基板収容溝内へ基板を着脱可能に
   構成し、 制御手段で回収手段及び払出し手段を別々に駆
   動制御するように構成したことを特徴とする基板
   のバツフア装置。