JPH02130710A - 磁気デイスク装置 - Google Patents
磁気デイスク装置Info
- Publication number
- JPH02130710A JPH02130710A JP28359088A JP28359088A JPH02130710A JP H02130710 A JPH02130710 A JP H02130710A JP 28359088 A JP28359088 A JP 28359088A JP 28359088 A JP28359088 A JP 28359088A JP H02130710 A JPH02130710 A JP H02130710A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording
- head
- magnetic disk
- disk device
- current
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野ゴ
本発明は磁気ディスク装置に関し、とくに高密度で信頼
性にすぐれた固定型磁気ディスク装置に関する。
性にすぐれた固定型磁気ディスク装置に関する。
磁気ディスク装置に使用される磁気ヘッドはこれまで記
録と再生とを兼用したいわゆる自己録再型のヘッドであ
った。ところが、記録に最適な構造と再生に最適な構造
とは異なるため、記録密度を高めることが困難であった
。最近、記録と再生とを分離し各々を最適複合化した記
録再生分１ＩＩＩｌ複合型ヘッドが研究されている。た
とえば、Ｐチャン（Ｐ 、 Ｃｈａｎｇ）らは記録用に
最適化した素子と再生用に最適化した素子を同一の基板
上に形成した薄膜ヘッドを発表している。「ダイジェス
ッオブ インタマグ カンファレンス、１９８７年。
録と再生とを兼用したいわゆる自己録再型のヘッドであ
った。ところが、記録に最適な構造と再生に最適な構造
とは異なるため、記録密度を高めることが困難であった
。最近、記録と再生とを分離し各々を最適複合化した記
録再生分１ＩＩＩｌ複合型ヘッドが研究されている。た
とえば、Ｐチャン（Ｐ 、 Ｃｈａｎｇ）らは記録用に
最適化した素子と再生用に最適化した素子を同一の基板
上に形成した薄膜ヘッドを発表している。「ダイジェス
ッオブ インタマグ カンファレンス、１９８７年。
イービ＋１０ （Ｄｉｇｅｓｔｓ ｏｆ ｔｈｅ Ｉ
ｎｔｓｒｍａｇＣｏｎｆｅｒｅｎｃｅ １９８７．ＥＢ
ＩＯ） Ｊ〔発明が解決しようとする課題〕 記録再生分離型ヘッドは２種類の素子を形成しなければ
ならないので作製プロセスは非常に複雑になるという困
難があった。
ｎｔｓｒｍａｇＣｏｎｆｅｒｅｎｃｅ １９８７．ＥＢ
ＩＯ） Ｊ〔発明が解決しようとする課題〕 記録再生分離型ヘッドは２種類の素子を形成しなければ
ならないので作製プロセスは非常に複雑になるという困
難があった。
本発明は、記録用ヘッド素子の巻線数を１ターンとし作
製プロセスを簡略化したものである。また、本発明にお
いては従来とは異なり、トランス結合方式で電流を供給
し１ターンの記録ヘッド素子の実用化を可能にした。
製プロセスを簡略化したものである。また、本発明にお
いては従来とは異なり、トランス結合方式で電流を供給
し１ターンの記録ヘッド素子の実用化を可能にした。
通常、十分な記録を行うには、記録ヘッドに十分な起磁
力を与える必要がある。このためには。
力を与える必要がある。このためには。
記録電流を多く流す必要がある。現在使われているヘッ
ドの巻線数は約１０ターンで、１ターンでこれと同一の
起磁力を与えるためには少なくとも現在の約１０倍の記
録電流を流す必要がある。
ドの巻線数は約１０ターンで、１ターンでこれと同一の
起磁力を与えるためには少なくとも現在の約１０倍の記
録電流を流す必要がある。
現在研究中で将来実用化が予想される高保磁力媒体など
、高密度記録用媒体に記録を行うには、さらに高い記録
電流が要求されるようになる。−方、記録密度の向上に
伴って記録周波数は高まるが、周波数が高くなるとリー
ド線部分の抵抗やインダクタンスが無視できなくなり、
大電流を取り出せるトランジスタは非常に特殊なものと
なる。
、高密度記録用媒体に記録を行うには、さらに高い記録
電流が要求されるようになる。−方、記録密度の向上に
伴って記録周波数は高まるが、周波数が高くなるとリー
ド線部分の抵抗やインダクタンスが無視できなくなり、
大電流を取り出せるトランジスタは非常に特殊なものと
なる。
従来の回路方式では高周波数で大電流を供給する事が難
しい。
しい。
トランス結合方式で１ターンの記録ヘッド素子に大電流
を供給し、容易な作製プロセスで得られる記録再生分離
複合ヘッドの使用を可能にすることにより磁気ディスク
装置の高密度化ができる。
を供給し、容易な作製プロセスで得られる記録再生分離
複合ヘッドの使用を可能にすることにより磁気ディスク
装置の高密度化ができる。
本発明による記録再生分離型ヘッドの一例を第１図の断
面図によって説明する。基板１の上に下部磁極２および
上部磁極４があり、１ターンのコイル３が巻線されて記
録用ヘッド素子が形成されている。さらにこの上層に磁
気抵抗効果を有するいわゆるＭＲ膜５、シールド層６が
あって再生用ヘッド素子が形成されている。各層間は絶
縁物７によって隔てられている。これらのヘッドはＬＳ
Ｉなどの作製技術と同じホトリソグラフィ技術によって
作ることができる。実際のヘッドにおいては保護層など
の層があるが、ここでは本発明と直接関係しないので省
略した。
面図によって説明する。基板１の上に下部磁極２および
上部磁極４があり、１ターンのコイル３が巻線されて記
録用ヘッド素子が形成されている。さらにこの上層に磁
気抵抗効果を有するいわゆるＭＲ膜５、シールド層６が
あって再生用ヘッド素子が形成されている。各層間は絶
縁物７によって隔てられている。これらのヘッドはＬＳ
Ｉなどの作製技術と同じホトリソグラフィ技術によって
作ることができる。実際のヘッドにおいては保護層など
の層があるが、ここでは本発明と直接関係しないので省
略した。
ここでコイル作製に関係する工程を説明すると、まず銅
やアルミニウムなどの導体金属膜を被着し、つぎにホト
レジストパターンを形成し、化学薬品やイオンミリング
などの方法によって必要な部分を残してエツチングを行
いコイルパターンを形成する。この上に絶縁層を形成す
る。この絶縁層としてはアルミナなど（ＡＱ２．０８）
や石英など（ＳｉＯｚ）の無機絶縁物をスパッタ法や蒸
着法で形成して用いることができる。
やアルミニウムなどの導体金属膜を被着し、つぎにホト
レジストパターンを形成し、化学薬品やイオンミリング
などの方法によって必要な部分を残してエツチングを行
いコイルパターンを形成する。この上に絶縁層を形成す
る。この絶縁層としてはアルミナなど（ＡＱ２．０８）
や石英など（ＳｉＯｚ）の無機絶縁物をスパッタ法や蒸
着法で形成して用いることができる。
次にコイルの巻線数を複数にした場合の工程を第２図の
断面図で説明する。コイルパターンを形成するまでは１
ターンの場合と全く同じである。
断面図で説明する。コイルパターンを形成するまでは１
ターンの場合と全く同じである。
しかし複数ターンの導体８を形成した場合は、そのまま
この上に無機絶縁ｐＰＩ９を形成するとコイルパターン
に対応して凹凸ができてしまう。さらにこの上に上部磁
極１０を形成すると、磁極膜に凹凸ができてしまい軟磁
気特性が悪くなってしまうので十分な記録特性が得られ
ない。そこで従来はコイルパターンの上にホトレジスト
やポリイミド樹脂などの有機絶縁材料をスピンコードし
、平坦化した上に上部磁極を形成していた。このような
有機絶縁材料は耐熱性や吸水性など信頼性の点で問題が
ある。
この上に無機絶縁ｐＰＩ９を形成するとコイルパターン
に対応して凹凸ができてしまう。さらにこの上に上部磁
極１０を形成すると、磁極膜に凹凸ができてしまい軟磁
気特性が悪くなってしまうので十分な記録特性が得られ
ない。そこで従来はコイルパターンの上にホトレジスト
やポリイミド樹脂などの有機絶縁材料をスピンコードし
、平坦化した上に上部磁極を形成していた。このような
有機絶縁材料は耐熱性や吸水性など信頼性の点で問題が
ある。
無機絶縁材料を使おうとする場合は、−度無機絶縁材料
を形成したのち、さらにこの上に有機絶縁材料をスピン
コードして平坦化しエッチバックして無機絶縁材料だけ
が残るようにしてやる必要がある。これは原理的には可
能だが、工程数が多いので現実的ではない。
を形成したのち、さらにこの上に有機絶縁材料をスピン
コードして平坦化しエッチバックして無機絶縁材料だけ
が残るようにしてやる必要がある。これは原理的には可
能だが、工程数が多いので現実的ではない。
従来の自己録再型のヘッドでは再生出方を増すためにコ
イルを沢山巻く必要があったため、一般的には信頼性は
多少犠牲にして有機絶縁材料をスピンコードして平坦化
したヘッドが用いられてきた。また自己録再型のヘッド
は２つの機能を持った素子を同時に形成できるので多少
の複雑な工程でも実用できる可能性がある。
イルを沢山巻く必要があったため、一般的には信頼性は
多少犠牲にして有機絶縁材料をスピンコードして平坦化
したヘッドが用いられてきた。また自己録再型のヘッド
は２つの機能を持った素子を同時に形成できるので多少
の複雑な工程でも実用できる可能性がある。
第３図は１ターンの記録用ヘッドに記録電流を流すため
に用いた回路のブロック図を示す。従来の磁気ディスク
装置に使用されているのと同様の記録電流供給回路１１
から高周波トランス１２を介して記録電流を供給した。
に用いた回路のブロック図を示す。従来の磁気ディスク
装置に使用されているのと同様の記録電流供給回路１１
から高周波トランス１２を介して記録電流を供給した。
高周波トランスはフェライトコアに回路側１０対ヘツド
側１で巻線したものである。
側１で巻線したものである。
このような構成で、保磁力１００００ｅ、厚み０．３μ
ｍのＣｏ −ｙ −Ｆ ｅｚｏｓ媒体に記録を行い、Ｍ
Ｒヘッド素子部分で再生を行った結果、記録周波数が３
０ＭＨｚで磁気ディスク装置として動作可能なＳ／Ｎが
得られた。また発生磁界を測定した結果、記録用ヘッド
としては５０ Ｍ Ｈｚまで動作が可能との見通しが得
られた。これは現状の数倍の記録密度に相当し本発明が
優れていることが分かる。
ｍのＣｏ −ｙ −Ｆ ｅｚｏｓ媒体に記録を行い、Ｍ
Ｒヘッド素子部分で再生を行った結果、記録周波数が３
０ＭＨｚで磁気ディスク装置として動作可能なＳ／Ｎが
得られた。また発生磁界を測定した結果、記録用ヘッド
としては５０ Ｍ Ｈｚまで動作が可能との見通しが得
られた。これは現状の数倍の記録密度に相当し本発明が
優れていることが分かる。
第４図は従来の磁気ディスク装置に使用されている、記
録電流供給回路の主要部を示す、これは第３図に示した
記録電流供給回路ブロック１１の内容と同様の構成であ
る。現在、ディスク装置の記録周波数は１０ Ｍ Ｈｚ
程度である。また現在使われているヘッドのコイルのタ
ーン数は約１０ターンで最適起磁力はおよそ３０ ｍ
Ａｏｐである。このような回路は、電流が３０ ｍ Ａ
ｏｐ程度と小さし１場合には高い周波数領域まで使用で
き、第３図の実施例に述べたように５０ Ｍ Ｈｚをこ
える周波数まで使えることがわかっている。
録電流供給回路の主要部を示す、これは第３図に示した
記録電流供給回路ブロック１１の内容と同様の構成であ
る。現在、ディスク装置の記録周波数は１０ Ｍ Ｈｚ
程度である。また現在使われているヘッドのコイルのタ
ーン数は約１０ターンで最適起磁力はおよそ３０ ｍ
Ａｏｐである。このような回路は、電流が３０ ｍ Ａ
ｏｐ程度と小さし１場合には高い周波数領域まで使用で
き、第３図の実施例に述べたように５０ Ｍ Ｈｚをこ
える周波数まで使えることがわかっている。
しかし、このような記録電流供給回路を高周波で使用し
大電流を取ることは困難である。すなわち高周波で使用
可能なトランジスタは大電流を取ることが難しいので、
大電流を取るにはトランジスタＱ１． Ｑｚｙ Ｑδ、
Ｑ番などは幾つかを並列接続して使う必要がある。しか
しこのように並列接続すると、容量が増えるなどの理由
で実際には周波数を高くできない、一般に市販されてい
るトランジスタを用いて回路を試作したところ、３００
ｍＡｏｐ程度の電流を取るには５〜１０ＭＨｚまでの周
波数が限度であった。したがって、現在使われていると
同様の回路を１ターンの記録用ヘッドに用いると、周波
数は高々１０ＭＨｚまでしか使えないことになり、記録
再生分離ヘッドをわざわざ使う意味がなくなってしまう
。したがって１ターンの記録用素子を有する記録再生分
離ヘッドを磁気ディスク装置に応用するにはトランス結
合で電流を供給することが不可避である。
大電流を取ることは困難である。すなわち高周波で使用
可能なトランジスタは大電流を取ることが難しいので、
大電流を取るにはトランジスタＱ１． Ｑｚｙ Ｑδ、
Ｑ番などは幾つかを並列接続して使う必要がある。しか
しこのように並列接続すると、容量が増えるなどの理由
で実際には周波数を高くできない、一般に市販されてい
るトランジスタを用いて回路を試作したところ、３００
ｍＡｏｐ程度の電流を取るには５〜１０ＭＨｚまでの周
波数が限度であった。したがって、現在使われていると
同様の回路を１ターンの記録用ヘッドに用いると、周波
数は高々１０ＭＨｚまでしか使えないことになり、記録
再生分離ヘッドをわざわざ使う意味がなくなってしまう
。したがって１ターンの記録用素子を有する記録再生分
離ヘッドを磁気ディスク装置に応用するにはトランス結
合で電流を供給することが不可避である。
本発明によれば、高周波数で動作する高効率磁気ヘッド
を用いた磁気ディスク装置が可能になり高密度磁気ファ
イルが実現できる。
を用いた磁気ディスク装置が可能になり高密度磁気ファ
イルが実現できる。
第１図は本発明の記録再生分離複合ヘッドの構造を示す
断面図、第２図は本発明の詳細な説明するための断面図
、第３図は本発明のヘッドに電流を供給する方法を示す
回路ブロック図、第４図は記録電流を供給するための主
要回路部である。 １・・・ヘッド基板、２・・・下部磁極、３・・・１タ
ーンコイル、４・・・上部磁極、５・・・ＭＲ膜、６・
・・シールド層、７・・・絶縁層、８・・・複数ターン
コイル、９・・・無機絶縁層、１０・・・上部磁極、１
１・・・記録電流供給回路、１２・・・高周波トランス
。 第 ｌ 園 第 ２ 図
断面図、第２図は本発明の詳細な説明するための断面図
、第３図は本発明のヘッドに電流を供給する方法を示す
回路ブロック図、第４図は記録電流を供給するための主
要回路部である。 １・・・ヘッド基板、２・・・下部磁極、３・・・１タ
ーンコイル、４・・・上部磁極、５・・・ＭＲ膜、６・
・・シールド層、７・・・絶縁層、８・・・複数ターン
コイル、９・・・無機絶縁層、１０・・・上部磁極、１
１・・・記録電流供給回路、１２・・・高周波トランス
。 第 ｌ 園 第 ２ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、記録機能と再生機能とが独立した磁気ヘッドを用い
る磁気ディスク装置において、記録用ヘッド素子の巻線
数が１ターンであることを特徴とする磁気ディスク装置
。 ２、記録時に特許請求の範囲第１項記載の記録用磁気ヘ
ッド素子に通電される電流は３００ ｍＡｏｐ、最高周波数は２０ＭＨｚ以上であることを特
徴とした磁気ディスク装置。 ３、特許請求の範囲第２項記載の記録用磁気ヘッド素子
において記録電流はトランスを介して供給されることを
特徴とした磁気ディスク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28359088A JPH02130710A (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | 磁気デイスク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28359088A JPH02130710A (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | 磁気デイスク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02130710A true JPH02130710A (ja) | 1990-05-18 |
Family
ID=17667478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28359088A Pending JPH02130710A (ja) | 1988-11-11 | 1988-11-11 | 磁気デイスク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02130710A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6452758B2 (en) | 1994-04-21 | 2002-09-17 | Hitachi, Ltd. | Magnetic storage apparatus |
| US9082428B1 (en) | 2014-08-28 | 2015-07-14 | Seagate Technology Llc | Write head with coil structure aligned with yoke |
| US9082427B1 (en) | 2014-09-25 | 2015-07-14 | Seagate Technology Llc | Write head having reduced dimensions |
| US9159340B1 (en) * | 2014-08-28 | 2015-10-13 | Seagate Technology Llc | Coil structure for write head |
| US9230570B1 (en) | 2014-08-28 | 2016-01-05 | Seagate Technology Llc | Write head having two yokes |
| US9384769B2 (en) | 2014-11-07 | 2016-07-05 | Seagate Technology Llc | Write pole configuration |
-
1988
- 1988-11-11 JP JP28359088A patent/JPH02130710A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6452758B2 (en) | 1994-04-21 | 2002-09-17 | Hitachi, Ltd. | Magnetic storage apparatus |
| US9082428B1 (en) | 2014-08-28 | 2015-07-14 | Seagate Technology Llc | Write head with coil structure aligned with yoke |
| US9159340B1 (en) * | 2014-08-28 | 2015-10-13 | Seagate Technology Llc | Coil structure for write head |
| US9230570B1 (en) | 2014-08-28 | 2016-01-05 | Seagate Technology Llc | Write head having two yokes |
| US9286918B1 (en) | 2014-08-28 | 2016-03-15 | Seagate Technology Llc | Write head with coil structure aligned with yoke |
| US9082427B1 (en) | 2014-09-25 | 2015-07-14 | Seagate Technology Llc | Write head having reduced dimensions |
| US9153257B1 (en) | 2014-09-25 | 2015-10-06 | Seagate Technology Llc | Write head having reduced dimensions |
| US9384769B2 (en) | 2014-11-07 | 2016-07-05 | Seagate Technology Llc | Write pole configuration |
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