JPH07302410A - 複合型薄膜磁気ヘッド - Google Patents
複合型薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH07302410A JPH07302410A JP9603794A JP9603794A JPH07302410A JP H07302410 A JPH07302410 A JP H07302410A JP 9603794 A JP9603794 A JP 9603794A JP 9603794 A JP9603794 A JP 9603794A JP H07302410 A JPH07302410 A JP H07302410A
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B5/3906—Details related to the use of magnetic thin film layers or to their effects
- G11B5/3945—Heads comprising more than one sensitive element
- G11B5/3948—Heads comprising more than one sensitive element the sensitive elements being active read-out elements
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- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 各薄膜磁気ヘッドの位置を調整して接合する
工程が不要で、各薄膜磁気ヘッド間の位置を高精度に調
整することが可能な複合型薄膜磁気ヘッドを提供する。 【構成】 同一基板上に薄膜工程により３以上の薄膜磁
気ヘッドが重なり合うように形成されてなる複合型薄膜
磁気ヘッドである。なお、薄膜磁気ヘッドを構成する各
磁気コアのうち、最上層の磁気コアと最下層の磁気コア
の少なくとも一方を、磁性基板により構成してもよい。
工程が不要で、各薄膜磁気ヘッド間の位置を高精度に調
整することが可能な複合型薄膜磁気ヘッドを提供する。 【構成】 同一基板上に薄膜工程により３以上の薄膜磁
気ヘッドが重なり合うように形成されてなる複合型薄膜
磁気ヘッドである。なお、薄膜磁気ヘッドを構成する各
磁気コアのうち、最上層の磁気コアと最下層の磁気コア
の少なくとも一方を、磁性基板により構成してもよい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、アナログオー
ディオ，デジタルオーディオ，及びコンピュータのデー
タレコーダー等に搭載される、複数の磁気ヘッドからな
る複合型薄膜磁気ヘッドに関する。
ディオ，デジタルオーディオ，及びコンピュータのデー
タレコーダー等に搭載される、複数の磁気ヘッドからな
る複合型薄膜磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、アナログオーディオ，デジタル
オーディオ，及びコンピュータのデータレコーダー等の
記録再生装置を製造する際には、その特性上、記録・再
生及び消去を行うための磁気ヘッドを個別に製造した
後、各磁気ヘッドを装置にそれぞれ搭載するのが一般的
とされている。
オーディオ，及びコンピュータのデータレコーダー等の
記録再生装置を製造する際には、その特性上、記録・再
生及び消去を行うための磁気ヘッドを個別に製造した
後、各磁気ヘッドを装置にそれぞれ搭載するのが一般的
とされている。
【０００３】しかし、このように、各磁気ヘッドをそれ
ぞれ搭載した記録再生装置では、磁気ヘッド数の増加に
したがって、磁気ヘッドの取り付け，調整のための製造
工程が増加してしまう。さらには、このような記録再生
装置は、大きなスペースが必要となり、近年重視されて
いる小型化，低コスト化を考えた場合、非常に不利であ
る。
ぞれ搭載した記録再生装置では、磁気ヘッド数の増加に
したがって、磁気ヘッドの取り付け，調整のための製造
工程が増加してしまう。さらには、このような記録再生
装置は、大きなスペースが必要となり、近年重視されて
いる小型化，低コスト化を考えた場合、非常に不利であ
る。
【０００４】そこで、個別に作製した記録用薄膜磁気ヘ
ッド，再生用薄膜磁気ヘッド，及び消去用薄膜磁気ヘッ
ド等を接合し、１つの複合型薄膜磁気ヘッドとしたもの
を使用する方法が開発され、アナログオーディオ，コン
ピュータのデータレコーダー等において既に採用されて
いる。
ッド，再生用薄膜磁気ヘッド，及び消去用薄膜磁気ヘッ
ド等を接合し、１つの複合型薄膜磁気ヘッドとしたもの
を使用する方法が開発され、アナログオーディオ，コン
ピュータのデータレコーダー等において既に採用されて
いる。
【０００５】この複合型薄膜磁気ヘッドを製造するに際
しては、良好な当たり特性を確保するために、各磁気ヘ
ッド間に位置ずれが生じないように接合することが望ま
れる。特に、デプスが小さい磁気ヘッド（例えば、デプ
スが５μｍ程度の高容量データレコーダー用磁気ヘッ
ド）の場合は、各磁気ヘッド同士を接合する際に、サブ
ミクロンオーダーで位置を制御することが要求される。
しては、良好な当たり特性を確保するために、各磁気ヘ
ッド間に位置ずれが生じないように接合することが望ま
れる。特に、デプスが小さい磁気ヘッド（例えば、デプ
スが５μｍ程度の高容量データレコーダー用磁気ヘッ
ド）の場合は、各磁気ヘッド同士を接合する際に、サブ
ミクロンオーダーで位置を制御することが要求される。
【０００６】そのために、複合型薄膜磁気ヘッドを製造
する際に、各磁気ヘッドの記録媒体摺動面と対向配置さ
れた顕微鏡の焦点深度により、各磁気ヘッドの位置を確
認しながら接合する方法が検討されている。
する際に、各磁気ヘッドの記録媒体摺動面と対向配置さ
れた顕微鏡の焦点深度により、各磁気ヘッドの位置を確
認しながら接合する方法が検討されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のよう
に、各磁気ヘッドを接合して複合型薄膜磁気ヘッドとす
る場合は、各磁気ヘッドの位置を調整して接合する工程
が必要である。さらには、各磁気ヘッドの媒体摺動面を
揃えるために、各磁気ヘッドの媒体摺動面を研磨する工
程が必要となる。
に、各磁気ヘッドを接合して複合型薄膜磁気ヘッドとす
る場合は、各磁気ヘッドの位置を調整して接合する工程
が必要である。さらには、各磁気ヘッドの媒体摺動面を
揃えるために、各磁気ヘッドの媒体摺動面を研磨する工
程が必要となる。
【０００８】また、上述のように顕微鏡で各磁気ヘッド
の記録媒体摺動面を観察しても、精度は±３μｍ程度が
限界であり、各磁気ヘッド間の位置ずれを高精度に調整
するには限界がある。
の記録媒体摺動面を観察しても、精度は±３μｍ程度が
限界であり、各磁気ヘッド間の位置ずれを高精度に調整
するには限界がある。
【０００９】そこで本発明は、このような従来の実情に
鑑みて提案されたものであり、各磁気ヘッドの位置を調
整して接合する工程が不要で、各磁気ヘッド間の位置を
高精度に調整することが可能な複合型薄膜磁気ヘッドを
提供することを目的とする。
鑑みて提案されたものであり、各磁気ヘッドの位置を調
整して接合する工程が不要で、各磁気ヘッド間の位置を
高精度に調整することが可能な複合型薄膜磁気ヘッドを
提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに本発明の複合型薄膜磁気ヘッドは、同一基板上に薄
膜工程により３以上の薄膜磁気ヘッドが重なり合うよう
に形成されてなるものである。
めに本発明の複合型薄膜磁気ヘッドは、同一基板上に薄
膜工程により３以上の薄膜磁気ヘッドが重なり合うよう
に形成されてなるものである。
【００１１】上記複合型薄膜磁気ヘッドは、薄膜磁気ヘ
ッドを構成する各磁気コアのうち、最上層の磁気コアと
最下層の磁気コアの少なくとも一方が、磁性基板よりな
るものであってもよい。なお、最上層の磁気コアを磁性
基板で構成する場合は、複合型薄膜磁気ヘッドを構成す
る各薄膜磁気ヘッドのうち、最後に形成される薄膜磁気
ヘッドの上層側の磁気コアを、磁性基板を積層すること
により形成する。また、最下層の磁気コアを磁性基板で
構成する場合は、複合型薄膜磁気ヘッドを構成する各薄
膜磁気ヘッドを磁性基板上に形成し、最初に形成される
薄膜磁気ヘッドの下層側の磁気コアが、前記磁性基板と
なるようにする。
ッドを構成する各磁気コアのうち、最上層の磁気コアと
最下層の磁気コアの少なくとも一方が、磁性基板よりな
るものであってもよい。なお、最上層の磁気コアを磁性
基板で構成する場合は、複合型薄膜磁気ヘッドを構成す
る各薄膜磁気ヘッドのうち、最後に形成される薄膜磁気
ヘッドの上層側の磁気コアを、磁性基板を積層すること
により形成する。また、最下層の磁気コアを磁性基板で
構成する場合は、複合型薄膜磁気ヘッドを構成する各薄
膜磁気ヘッドを磁性基板上に形成し、最初に形成される
薄膜磁気ヘッドの下層側の磁気コアが、前記磁性基板と
なるようにする。
【００１２】また、重ね合わせる薄膜磁気ヘッドの種類
としては、薄膜工程により製造できるものであれば特に
限定されるものではなく、例えば、再生用薄膜磁気ヘッ
ド，記録用薄膜磁気ヘッド，消去用薄膜磁気ヘッド等が
挙げられる。また、これらの薄膜磁気ヘッドの組み合わ
せは、薄膜磁気ヘッド数の合計が３以上であれば特に限
定されるものではなく、任意の組み合わせとすることが
できる。
としては、薄膜工程により製造できるものであれば特に
限定されるものではなく、例えば、再生用薄膜磁気ヘッ
ド，記録用薄膜磁気ヘッド，消去用薄膜磁気ヘッド等が
挙げられる。また、これらの薄膜磁気ヘッドの組み合わ
せは、薄膜磁気ヘッド数の合計が３以上であれば特に限
定されるものではなく、任意の組み合わせとすることが
できる。
【００１３】
【作用】同一基板上に薄膜工程により３以上の薄膜磁気
ヘッドが重なり合うように形成された複合型薄膜磁気ヘ
ッドでは、各磁気ヘッドが一体化して形成されるため、
各磁気ヘッドを接合する工程が不要である。
ヘッドが重なり合うように形成された複合型薄膜磁気ヘ
ッドでは、各磁気ヘッドが一体化して形成されるため、
各磁気ヘッドを接合する工程が不要である。
【００１４】さらに、各薄膜磁気ヘッドが薄膜工程によ
って重なり合うように形成されるため、それらの位置合
わせの精度は、アライメント装置の精度（現状では０．
２５μｍ程度）となる。
って重なり合うように形成されるため、それらの位置合
わせの精度は、アライメント装置の精度（現状では０．
２５μｍ程度）となる。
【００１５】また、薄膜磁気ヘッドを構成する各磁気コ
アのうち、最上層の磁気コアを磁性基板とした場合は、
最上層の磁気コアの上に基板や保護膜等を配する工程が
不要となり、工程を削減できる。また、薄膜磁気ヘッド
を構成する各磁気コアのうち、最下層の磁気コアを磁性
基板とした場合は、基板上に最下層の磁気コアを形成す
る工程が不要となり、工程を削減できる。そして、薄膜
磁気ヘッドを構成する各磁気コアのうち、最上層及び最
下層の磁気コアを磁性基板とした場合は、最上層の磁気
コアの上に基板や保護膜等を配する工程が不要になると
ともに、基板上に最下層の磁気コアを形成する工程が不
要となり、さらに工程を削減できる。
アのうち、最上層の磁気コアを磁性基板とした場合は、
最上層の磁気コアの上に基板や保護膜等を配する工程が
不要となり、工程を削減できる。また、薄膜磁気ヘッド
を構成する各磁気コアのうち、最下層の磁気コアを磁性
基板とした場合は、基板上に最下層の磁気コアを形成す
る工程が不要となり、工程を削減できる。そして、薄膜
磁気ヘッドを構成する各磁気コアのうち、最上層及び最
下層の磁気コアを磁性基板とした場合は、最上層の磁気
コアの上に基板や保護膜等を配する工程が不要になると
ともに、基板上に最下層の磁気コアを形成する工程が不
要となり、さらに工程を削減できる。
【００１６】
【実施例】本発明を適用した具体的な実施例について、
図面を参照しながら説明する。
図面を参照しながら説明する。
【００１７】実施例１ 本実施例の複合型薄膜磁気ヘッドは、図１に示すよう
に、非磁性体からなる基板１上に、再生用薄膜磁気ヘッ
ド２，記録用薄膜磁気ヘッド３，再生用薄膜磁気ヘッド
４が重なり合うように形成されてなる。
に、非磁性体からなる基板１上に、再生用薄膜磁気ヘッ
ド２，記録用薄膜磁気ヘッド３，再生用薄膜磁気ヘッド
４が重なり合うように形成されてなる。
【００１８】上記再生用薄膜磁気ヘッド２は、磁界によ
って抵抗率が変化する磁気抵抗効果膜の抵抗変化を再生
出力電圧として検出する磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド
であり、薄膜工程によって、基板１上に形成される。そ
して、この再生用薄膜磁気ヘッド２は、主に、センス電
流を供給するための電極（図示せず）が取り付けられた
磁気抵抗効果膜２ａと、前記磁気抵抗効果膜２ａを挟み
込む絶縁膜２ｂと、前記絶縁膜２ｂを介して磁気抵抗効
果膜２ａを挟み込む一対の磁気コア２ｃと、前記磁気抵
抗効果膜２ａにバイアス磁界を印加するバイアス導体
（図示せず）とからなる。
って抵抗率が変化する磁気抵抗効果膜の抵抗変化を再生
出力電圧として検出する磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド
であり、薄膜工程によって、基板１上に形成される。そ
して、この再生用薄膜磁気ヘッド２は、主に、センス電
流を供給するための電極（図示せず）が取り付けられた
磁気抵抗効果膜２ａと、前記磁気抵抗効果膜２ａを挟み
込む絶縁膜２ｂと、前記絶縁膜２ｂを介して磁気抵抗効
果膜２ａを挟み込む一対の磁気コア２ｃと、前記磁気抵
抗効果膜２ａにバイアス磁界を印加するバイアス導体
（図示せず）とからなる。
【００１９】また、上記記録用薄膜磁気ヘッド３は、誘
導型薄膜磁気ヘッドであり、上記再生用薄膜磁気ヘッド
２上に、薄膜工程によって、非磁性膜５を介して形成さ
れる。そして、この記録用薄膜磁気ヘッド３は、主に、
薄膜コイル３ａと、前記薄膜コイル３ａの絶縁のために
薄膜コイル３ａのコイル間及びその上下に形成される絶
縁膜３ｂと、前記絶縁膜３ｂを介して薄膜コイル３ａを
挟み込み、磁気ギャップｇを介して閉磁路を構成する一
対の磁気コア３ｃとからなる。
導型薄膜磁気ヘッドであり、上記再生用薄膜磁気ヘッド
２上に、薄膜工程によって、非磁性膜５を介して形成さ
れる。そして、この記録用薄膜磁気ヘッド３は、主に、
薄膜コイル３ａと、前記薄膜コイル３ａの絶縁のために
薄膜コイル３ａのコイル間及びその上下に形成される絶
縁膜３ｂと、前記絶縁膜３ｂを介して薄膜コイル３ａを
挟み込み、磁気ギャップｇを介して閉磁路を構成する一
対の磁気コア３ｃとからなる。
【００２０】また、上記再生用薄膜磁気ヘッド４は、前
述の再生用薄膜磁気ヘッド２と同様の磁気抵抗効果型薄
膜磁気ヘッドであり、上記記録用薄膜磁気ヘッド３上
に、薄膜工程によって、非磁性膜５を介して形成され
る。
述の再生用薄膜磁気ヘッド２と同様の磁気抵抗効果型薄
膜磁気ヘッドであり、上記記録用薄膜磁気ヘッド３上
に、薄膜工程によって、非磁性膜５を介して形成され
る。
【００２１】そして、必要に応じて、上記再生用薄膜磁
気ヘッド４上や、記録媒体摺動面を除く周囲に、非磁性
体からなる保護層６を形成する。
気ヘッド４上や、記録媒体摺動面を除く周囲に、非磁性
体からなる保護層６を形成する。
【００２２】なお、上記各薄膜磁気ヘッドの記録媒体摺
動面、すなわち再生用薄膜磁気ヘッドの磁気抵抗効果膜
の端面及び記録用薄膜磁気ヘッドの磁気ギャップ形成面
は、同一面となるように形成される。
動面、すなわち再生用薄膜磁気ヘッドの磁気抵抗効果膜
の端面及び記録用薄膜磁気ヘッドの磁気ギャップ形成面
は、同一面となるように形成される。
【００２３】また、各薄膜磁気ヘッドのトラック幅は、
図２に示すように、各再生用薄膜磁気ヘッド２，４のト
ラック幅が同一となるように、かつ記録用薄膜磁気ヘッ
ド３のトラック幅が各再生用薄膜磁気ヘッド２，４のト
ラック幅よりも狭くなるように形成する。
図２に示すように、各再生用薄膜磁気ヘッド２，４のト
ラック幅が同一となるように、かつ記録用薄膜磁気ヘッ
ド３のトラック幅が各再生用薄膜磁気ヘッド２，４のト
ラック幅よりも狭くなるように形成する。
【００２４】上記複合型薄膜磁気ヘッドでは、各薄膜磁
気ヘッドが薄膜工程によって積層され形成されるため、
それらの位置合わせの精度は、薄膜工程におけるアライ
メント装置の精度（現状では０．２５μｍ程度）とな
る。したがって、各薄膜磁気ヘッドの記録媒体摺動面の
位置のずれは、約０．２５μｍ以下に抑えられる。
気ヘッドが薄膜工程によって積層され形成されるため、
それらの位置合わせの精度は、薄膜工程におけるアライ
メント装置の精度（現状では０．２５μｍ程度）とな
る。したがって、各薄膜磁気ヘッドの記録媒体摺動面の
位置のずれは、約０．２５μｍ以下に抑えられる。
【００２５】実施例２ 本実施例の複合型薄膜磁気ヘッドは、図３に示すよう
に、磁性体からなる基板１１上に、再生用薄膜磁気ヘッ
ド１２，記録用薄膜磁気ヘッド１３，再生用薄膜磁気ヘ
ッド１４が重なり合うように形成されてなる。
に、磁性体からなる基板１１上に、再生用薄膜磁気ヘッ
ド１２，記録用薄膜磁気ヘッド１３，再生用薄膜磁気ヘ
ッド１４が重なり合うように形成されてなる。
【００２６】上記再生用薄膜磁気ヘッド１２は、磁気抵
抗効果型薄膜磁気ヘッドであり、基板１１上に、薄膜工
程によって形成される。そして、この再生用薄膜磁気ヘ
ッド１２は、主に、センス電流を供給するための電極
（図示せず）が取り付けられた磁気抵抗効果膜１２ａ
と、前記磁気抵抗効果膜１２ａを挟み込む絶縁膜１２ｂ
と、前記絶縁膜１２ｂの下に位置し下層側磁気コアとな
る前記基板１１と、前記絶縁膜１２ｂの上に位置する上
層側磁気コア１２ｃと、前記磁気抵抗効果膜１２ａにバ
イアス磁界を印加するバイアス導体（図示せず）とから
なる。
抗効果型薄膜磁気ヘッドであり、基板１１上に、薄膜工
程によって形成される。そして、この再生用薄膜磁気ヘ
ッド１２は、主に、センス電流を供給するための電極
（図示せず）が取り付けられた磁気抵抗効果膜１２ａ
と、前記磁気抵抗効果膜１２ａを挟み込む絶縁膜１２ｂ
と、前記絶縁膜１２ｂの下に位置し下層側磁気コアとな
る前記基板１１と、前記絶縁膜１２ｂの上に位置する上
層側磁気コア１２ｃと、前記磁気抵抗効果膜１２ａにバ
イアス磁界を印加するバイアス導体（図示せず）とから
なる。
【００２７】また、上記記録用薄膜磁気ヘッド１３は、
誘導型薄膜磁気ヘッドであり、上記再生用薄膜磁気ヘッ
ド１２上に、薄膜工程によって、非磁性膜１５を介して
形成される。そして、この記録用薄膜磁気ヘッド１３
は、主に、薄膜コイル１３ａと、前記薄膜コイル１３ａ
の絶縁のために薄膜コイル１３ａのコイル間及びその上
下に形成される絶縁膜１３ｂと、前記絶縁膜１３ｂを介
して薄膜コイル１３ａを挟み込み、磁気ギャップｇを介
して閉磁路を構成する一対の磁気コア１３ｃとからな
る。
誘導型薄膜磁気ヘッドであり、上記再生用薄膜磁気ヘッ
ド１２上に、薄膜工程によって、非磁性膜１５を介して
形成される。そして、この記録用薄膜磁気ヘッド１３
は、主に、薄膜コイル１３ａと、前記薄膜コイル１３ａ
の絶縁のために薄膜コイル１３ａのコイル間及びその上
下に形成される絶縁膜１３ｂと、前記絶縁膜１３ｂを介
して薄膜コイル１３ａを挟み込み、磁気ギャップｇを介
して閉磁路を構成する一対の磁気コア１３ｃとからな
る。
【００２８】また、上記再生用薄膜磁気ヘッド１４は、
磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッドであり、上記記録用薄膜
磁気ヘッド１３上に、薄膜工程によって、非磁性膜１５
を介して形成される。そして、この再生用薄膜磁気ヘッ
ド１４は、主に、センス電流を供給するための電極（図
示せず）が取り付けられた磁気抵抗効果膜１４ａと、前
記磁気抵抗効果膜１４ａを挟み込む絶縁膜１４ｂと、前
記絶縁膜１４ｂの下に位置する下層側磁気コア１４ｃ
と、前記絶縁膜１４ｂの上に位置し上層側磁気コアとな
る磁性体よりなる基板１６と、前記磁気抵抗効果膜１２
ａにバイアス磁界を印加するバイアス導体（図示せず）
とからなる。
磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッドであり、上記記録用薄膜
磁気ヘッド１３上に、薄膜工程によって、非磁性膜１５
を介して形成される。そして、この再生用薄膜磁気ヘッ
ド１４は、主に、センス電流を供給するための電極（図
示せず）が取り付けられた磁気抵抗効果膜１４ａと、前
記磁気抵抗効果膜１４ａを挟み込む絶縁膜１４ｂと、前
記絶縁膜１４ｂの下に位置する下層側磁気コア１４ｃ
と、前記絶縁膜１４ｂの上に位置し上層側磁気コアとな
る磁性体よりなる基板１６と、前記磁気抵抗効果膜１２
ａにバイアス磁界を印加するバイアス導体（図示せず）
とからなる。
【００２９】なお、上記各薄膜磁気ヘッドの記録媒体摺
動面、すなわち再生用薄膜磁気ヘッドの磁気抵抗効果膜
の端面及び記録用薄膜磁気ヘッドの磁気ギャップ形成面
は、同一面となるように形成される。
動面、すなわち再生用薄膜磁気ヘッドの磁気抵抗効果膜
の端面及び記録用薄膜磁気ヘッドの磁気ギャップ形成面
は、同一面となるように形成される。
【００３０】また、各薄膜磁気ヘッドのトラック幅は、
図４に示すように、各再生用薄膜磁気ヘッド１２，１４
のトラック幅が同一となるように、かつ記録用薄膜磁気
ヘッド１３のトラック幅が各再生用薄膜磁気ヘッド１
２，１４のトラック幅よりも狭くなるように形成する。
図４に示すように、各再生用薄膜磁気ヘッド１２，１４
のトラック幅が同一となるように、かつ記録用薄膜磁気
ヘッド１３のトラック幅が各再生用薄膜磁気ヘッド１
２，１４のトラック幅よりも狭くなるように形成する。
【００３１】上記複合型薄膜磁気ヘッドでは、各薄膜磁
気ヘッドが薄膜工程によって積層され形成されるため、
それらの位置合わせの精度は、薄膜工程におけるアライ
メント装置の精度（現状では０．２５μｍ程度）とな
る。したがって、各薄膜磁気ヘッドの記録媒体摺動面の
位置のずれは、約０．２５μｍ以下に抑えられる。
気ヘッドが薄膜工程によって積層され形成されるため、
それらの位置合わせの精度は、薄膜工程におけるアライ
メント装置の精度（現状では０．２５μｍ程度）とな
る。したがって、各薄膜磁気ヘッドの記録媒体摺動面の
位置のずれは、約０．２５μｍ以下に抑えられる。
【００３２】また、上記複合型薄膜磁気ヘッドでは、最
下層の磁気コアである再生用薄膜磁気ヘッド１２の下層
側磁気コアを磁性体よりなる基板としたので、基板上に
再生用薄膜磁気ヘッド１２の下層側磁気コアを形成する
工程が不要である。そして、さらに最上層の磁気コアで
ある再生用薄膜磁気ヘッド１４の上層側磁気コアを磁性
体よりなる基板としたので、再生用薄膜磁気ヘッド１４
の上層側磁気コアの上に基板や保護膜等を配する工程が
不要である。
下層の磁気コアである再生用薄膜磁気ヘッド１２の下層
側磁気コアを磁性体よりなる基板としたので、基板上に
再生用薄膜磁気ヘッド１２の下層側磁気コアを形成する
工程が不要である。そして、さらに最上層の磁気コアで
ある再生用薄膜磁気ヘッド１４の上層側磁気コアを磁性
体よりなる基板としたので、再生用薄膜磁気ヘッド１４
の上層側磁気コアの上に基板や保護膜等を配する工程が
不要である。
【００３３】
【発明の効果】上述の説明から明らかなように、本発明
の複合型薄膜磁気ヘッドでは、各磁気ヘッドを接合する
工程が不要であるとともに、それらの位置合わせの精度
が、非常に優れたものとなる。
の複合型薄膜磁気ヘッドでは、各磁気ヘッドを接合する
工程が不要であるとともに、それらの位置合わせの精度
が、非常に優れたものとなる。
【００３４】したがって、本発明によれば、高容量デー
タレコーダー用磁気ヘッドのような、高精度で各磁気ヘ
ッドの位置を合わせることが要求される複合型薄膜磁気
ヘッドを提供することができる。
タレコーダー用磁気ヘッドのような、高精度で各磁気ヘ
ッドの位置を合わせることが要求される複合型薄膜磁気
ヘッドを提供することができる。
【００３５】さらに、薄膜磁気ヘッドを構成する各磁気
コアのうち、最上層の磁気コアと最下層の磁気コアの少
なくとも一方を、磁性基板により構成することにより、
工程を削減することができる。
コアのうち、最上層の磁気コアと最下層の磁気コアの少
なくとも一方を、磁性基板により構成することにより、
工程を削減することができる。
【図１】本発明を適用した複合型薄膜磁気ヘッドの一構
成例を示す要部概略横断面図である。
成例を示す要部概略横断面図である。
【図２】図１に示す複合型薄膜磁気ヘッドを記録媒体摺
動面側から見た要部概略平面図である。
動面側から見た要部概略平面図である。
【図３】本発明を適用した複合型薄膜磁気ヘッドの他の
構成例を示す要部概略横断面図である。
構成例を示す要部概略横断面図である。
【図４】図３に示す複合型薄膜磁気ヘッドを記録媒体摺
動面側から見た要部概略平面図である。
動面側から見た要部概略平面図である。
１，６ 基板 ２，４，１２，１４ 再生用薄膜磁気ヘッド ３，１３ 記録用薄膜磁気ヘッド ５ 非磁性膜
Claims (2)
- 【請求項１】 同一基板上に薄膜工程により３以上の薄
膜磁気ヘッドが重なり合うように形成されてなる複合型
薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】 薄膜磁気ヘッドを構成する各磁気コアの
うち、最上層の磁気コアと最下層の磁気コアの少なくと
も一方が、磁性基板よりなることを特徴とする請求項１
記載の複合型薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9603794A JPH07302410A (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 複合型薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9603794A JPH07302410A (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 複合型薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07302410A true JPH07302410A (ja) | 1995-11-14 |
Family
ID=14154289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9603794A Withdrawn JPH07302410A (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 複合型薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07302410A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6178070B1 (en) * | 1999-02-11 | 2001-01-23 | Read-Rite Corporation | Magnetic write head and method for making same |
| US6549370B1 (en) | 1999-12-09 | 2003-04-15 | Tdk Corporation | Thin-film magnetic head having a magnetic layer that defines throat height and includes a sloped portion |
| JP2012169033A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Seagate Technology Llc | 記憶媒体データトラックからの読出信号を検出する方法、およびトランスデューサヘッドを含むシステム |
-
1994
- 1994-05-10 JP JP9603794A patent/JPH07302410A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6178070B1 (en) * | 1999-02-11 | 2001-01-23 | Read-Rite Corporation | Magnetic write head and method for making same |
| US6549370B1 (en) | 1999-12-09 | 2003-04-15 | Tdk Corporation | Thin-film magnetic head having a magnetic layer that defines throat height and includes a sloped portion |
| JP2012169033A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Seagate Technology Llc | 記憶媒体データトラックからの読出信号を検出する方法、およびトランスデューサヘッドを含むシステム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010731 |