JPH02131864A - 研磨用加工物取付治具 - Google Patents

研磨用加工物取付治具

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Publication number
JPH02131864A
JPH02131864A JP63285675A JP28567588A JPH02131864A JP H02131864 A JPH02131864 A JP H02131864A JP 63285675 A JP63285675 A JP 63285675A JP 28567588 A JP28567588 A JP 28567588A JP H02131864 A JPH02131864 A JP H02131864A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
polishing
dummy piece
dummy
attached
Prior art date
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Pending
Application number
JP63285675A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuyoshi Kojima
勝義 小島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP63285675A priority Critical patent/JPH02131864A/ja
Publication of JPH02131864A publication Critical patent/JPH02131864A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) この発明はガラス等の被加工物を研磨加工(ラッピング
又はポリシング)する場合に使用する研磨用加工物取付
治具に関するものである。
(従来の技術) 従来、治具本体の加工物貼付け皿の下面中央部にガラス
等の被加工物を貼着し、その周辺部に被加工物と同種で
被加工物より少し厚さの厚い複数個のダミー片を貼着し
て研磨加工を行ない、加工中のガタつきや形状くずれ等
を前記ダミー片で抑えるようにした研磨用加工物取付治
具は知られている。
(発明が解決しようとする課題) 前記従来の研磨用加工物取付治具では、複数個のダミー
片が被加工物とともに貼付け皿に貼着されるので、一度
研磨加工を行なってしまうと、そのダミー片は加工物の
厚さと同じ厚さに擦り減ることになり、このため更に厚
い被加工物を研磨後の加工物と貼り替えて加工しようと
するような場合に、前記ダミー片は貼り替えられた被加
工物の厚さより薄いので使用することができず、被加工
物の厚さより少し厚い新品のものと交換しなければなら
なかった。
この発明の目的はダミー片を交換することなく、被加工
物の厚さに応じて自由に高さ調整できるようにした研磨
用加工物取付治具を提供することにある。
〔発明の構成〕
(課題を解決するための手段) 前記の目的を達成するために、本発明の研磨用加工物取
付治具においては、ガラス等の被加工物を貼着する加工
物貼付け皿を備えた治具本体に、前記ダミー片を貼着す
る上下動可能なダミー片取付体と、このダミー片取付体
を該取付体に貼着されるダミー片が被加工物の厚さに応
じて自由に高さ調整できるように上下動させるネジ送り
機構とを設けたことを特徴とするものである。
(作用) 前記取付治具は加工物貼付け皿の下面中央部にガラス等
の被加工物を貼着し、且つ複数個のダミー片をダミー片
取付体の下面部に貼着して研磨加工を行なうものであり
、その加工手順としては先ずダミー片を回転する研磨定
盤で研磨して面出しした後、ネジ送り機構で被加工物の
上部位に上げておく。次に、被加工物を研磨定盤に当接
させ、ダミー片取付体をネジ送り機構で下げてきて、被
加工物が定盤面より僅かに浮いた状態にセッティングし
て研磨加工を行なう。
(実施例) 以下、本発明の一実施例による研磨用加工物取付治具の
構造を第1図及び第2図に従い説明すると、図中1はオ
スカー型研磨機の回転研磨定盤2の上に設置される治具
本体で、この治具本体1は下面開口の凹所3を有するス
テンレス製の円形基台4と、この円形基台4の下側に接
着固定した円盤状の加工物貼付け皿5とから構成されて
いる。この加工物貼付け皿5は下面中央部にガラス等の
被加工物6を複数個貼着できるように形成されているが
、この加工物貼着部の周辺には基台凹所3に開口する複
数個例えば8個の貫通孔7が同心円上に並べて等間隔に
穿設されている。
8は前記治具本体1の内部(基台凹所3内)に上下動可
能に嵌装されたダミー片取付体で、このダミー片取付体
8は皿貫通孔7を通して加工物貼付け皿5の下側に突出
する複数の脚杆8aを有し、この各脚杆8aの下端面に
被加工物6と同種のダミー片6aが貼着されている。9
はダミー片取付体8を前記ダミー片6aが被加工物6の
厚さに応じて自由に高さ調整できるように上下動させる
ネジ送り機構で、このネジ送り機構9は基台4の中心ネ
ジ孔4aに螺合する雄ネジ部lO及び該ネジ頭部の回転
操作部11と、ダミー片取付体8の中心回転軸承部8b
に係合する回転係合部l2と、図示しない研磨機カンザ
シ棒の先端玉部を回転支承し得るカンザシ受部l3とを
有したネジ部材で構成されている。従って、このネジ部
材を回転操作部11にスパナ等の回転治具を嵌めて回転
させれば、そのネジ送り作用によってダミー片取付体8
は回転せずに上下動し、前記ダミー片6aを被加工物6
の厚さに応じて自由に高さ調整することができる。
而して、前記構成の研磨用加工物取付治具は、加工物貼
付け皿5の下面中央部にガラス等の被加工物6を貼着し
、且つ複数個のダミー片8aをダミー片取付体8の脚杆
8a下端面に貼着した第1図の状態で研磨加工を行なう
ものであり、その加工手順としては先ずダミー片6aを
回転する研磨定盤2で研磨して面出しした後、ネジ送り
機構9で被加工物6の上部位に上げておく。次に、被加
工物6を研磨定盤2に当接させ、ダミー片取付体8をネ
ジ送り機構9で下げてきて、被加工物6が定盤面より第
1図の如く僅かに浮いた状態にセッティングして研磨加
工を行なう。
このように加工することにより、加工中のガタつきや形
状くずれ等はなくなる。また、再び新しい加工物を加工
する場合には、ダミー片6aは交換することなく、ネジ
送り機構9によって高さ調整するだけでよくなった。更
に、前記ネジ送り機構9のネジ頭部にカンザシ受部l3
を設けているので、この取付治具のままピッチポリシン
グ加工を行なうことができる。なお、被加工物6がガラ
スである場合に、加工物貼付け皿5に平面度の良いガラ
スを用いれば、このガラス同志をオブチカルコンタクト
(ガラスとガラスの間に水を入れ、この水を乾燥させて
ガラス同志を貼付ける技術)によつて貼着できるので、
平行度(披加工物上下面の平行度)の優れた研磨加工を
行なうこともできる。
〔発明の効果〕
この発明の研磨用加工物取付治具によると、ダミー片を
被加工物の厚さに応じて自由に高さ調整できるので、加
工ごとにダミー片の面出しさえ行なえば、同じダミー片
を擦り減って無くなるまで何回でも使用することができ
、一回ごとにダミー片を交換していた従来の問題をすべ
て解消することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の研磨用加工物取付治具の一実施例を示
す使用状態の中央縦断面図、第2図は同取付治具を下か
ら見た底面図である。 1・・・治具本体、2・・・研磨定盤、4・・・円形基
台、4a・・・ネジ孔、5・・・加工物貼付け皿、6・
・・被加工物、8a・・・ダミー片、7・・・皿貫通孔
、8・・・ダミー片取付体、8a・・・脚杆、9・・・
ネジ送り機構、lO・・・雄ネジ部、11・・・回転操
作部、l2・・・回転係合部。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第2図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 治具本体の加工物貼付け皿の下面中央部に被加工物を貼
    着し、その周辺部に被加工物と同種のダミー片を複数個
    配置して、研磨加工を行なうようにした研磨用加工物取
    付治具において、この治具本体に前記ダミー片を貼着す
    る上下動可能なダミー片取付体と、このダミー片取付体
    を該取付体に貼着されるダミー片が被加工物の厚さに応
    じて自由に高さ調整できるように上下動させるネジ送り
    機構とを設けたことを特徴とする研磨用加工物取付治具
JP63285675A 1988-11-14 1988-11-14 研磨用加工物取付治具 Pending JPH02131864A (ja)

Priority Applications (1)

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JP63285675A JPH02131864A (ja) 1988-11-14 1988-11-14 研磨用加工物取付治具

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JPH02131864A true JPH02131864A (ja) 1990-05-21

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JP (1) JPH02131864A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0890407A (ja) * 1994-09-22 1996-04-09 Ngk Insulators Ltd ラップ治具およびそれを使用したラップ加工方法
CN103506927A (zh) * 2013-10-28 2014-01-15 中国科学院地球化学研究所 一种抛光机载料块

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0890407A (ja) * 1994-09-22 1996-04-09 Ngk Insulators Ltd ラップ治具およびそれを使用したラップ加工方法
CN103506927A (zh) * 2013-10-28 2014-01-15 中国科学院地球化学研究所 一种抛光机载料块
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