JPH02131943A

JPH02131943A - 液体噴射記録ヘッド

Info

Publication number: JPH02131943A
Application number: JP1003392A
Authority: JP
Inventors: Hiromichi Noguchi; 弘道野口; Tadaki Inamoto; 忠喜稲本; Emi Munakata; 棟方　恵美
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1988-07-07
Filing date: 1989-01-10
Publication date: 1990-05-21
Also published as: JPH02131945A; JPH02192946A; JPH02131946A; JPH02131947A; JPH02131944A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業トの利用分野〕本発明は、液体噴射記録ヘッド、詳しくは、インク等の
記録用液体の小滴を発生させ、それを紙などの被記録材
に付着させて記録を行なう液体噴射記録方式に用いる記
録用液体の小摘発生用の記録ヘッドに関する。

〔従来の技術〕

インク等の記録用液体の小滴を発生させ、それを紙など
の被記録材に付着させて記録を行なう液体噴射記録方式
は、記録時の騒音の発生が無視できる程度に極めて小さ
く、かつ高速記録が可能であり、しかも淳通紙に定着な
どの特別な処理を必要とせずに記録を行なうことのでき
る記録方式として注「１され、最近種々のタイプのもの
か活発に研究されている。

液体噴射記録方式に用いられる記録装置の記録ヘッド部
は、一般に、記録用液体を吐出するためのオリフィス（
液体吐出口）と、該オリフィスに連通し、記録用液体を
吐出するためのエネルギーが記録用液体に作用する部分
を有する液体通路と、該液体通路に供給する記録用液体
を貯留するための液室とを有して構成されている。

記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギーは
、液体通路の一部を構成する記録用液体に吐出エネルギ
ーを作用させる部分（エネルギー作用部）の所定の位置
に配設さわた発熱素子、圧電素子等の種々のタイプの吐
出エネルギー発生素子によって発生されるものが多い。

このような構成の液体噴射記録ヘッドを製造する方法と
しては、例えば、ガラス、金属等の平板に切削やエッチ
ング等によって５微細な溝を形成し、更にこの溝を形成
した平板に他の適当な板を接合して液体通路を形成する
工程を含む方法、あるいは例えば吐出エネルギー発生素
子の配置されたＪ，＋１，板十に硬化した感光性樹脂の
溝壁をフォトリソグラフィー工程によって形成して、基
板トに液体通路となる溝を設け、このようにして形成さ
れた溝付き板に、他の）Ｖ−板（覆い）を接合して液体
通路を形成する王程を含む方法が知られている（例えば
特開昭５７−４３８７８号）。

これらの液体噴射記録ヘッドの製造方法のなかでは、感
光性樹脂を使用した後者の方法は、航者の方法に対して
、液体通路をより精度良く、かつ歩留り良く微細加Ｌで
き、しかも量産化が容易であるので、品質が良く、より
安価な液体噴射記録ヘットを提供することができるとい
う利点を有していろうこのような記録ヘッドの製造に用いる感光性樹脂として
は、印刷版，プリント配線等におけるパターン形成用と
して用いられてきたもの、あるいはガラス、金属、セラ
ミックス等に用いる光硬化型の塗料や接着剤として知ら
れているものが用いられており、また作業能率などの而
からドライフィルムタイプの樹脂が主に利用されてきた
。

〔発明が解決しようとするａ！）感光性樹脂の硬化膜を構成の一部に利用する記録ヘット
において、高度な記録特性、耐久性及びイ，暦頼性等の
優れた特性を得るためには、用いる感光性樹脂に、（＋）特に、硬化膜としてμ板等との接着性に優れてい
る、（２）硬化した際の機械的強度及び耐久性等に優れてい
る、（３）パターン露光を用いたパターンニングの際の感度
及び解像度に優れているなどの特性を仔していることが要求される。

ところか、これまでに知られている液体噴射記録ヘッド
の形成に用いられてきた感光性樹脂には、Ｆ記の要求特
性を全て満足したものは少ないのか現状である。

例えば、記録ヘッド用の感光性樹脂として、印刷版、プ
リント配線等におけるパターン形成用として用いられて
いるものは、感度及び解像度においては優れているが、
基板として用いられるガラス、セラミックス、プラスチ
ックフイルムなどに対する接着性や密着性に劣り、しか
も硬化した際の機械的強度や耐久性が十分でない。その
ため、記録ヘッドの製造段階において、または使用にと
もなって、例えば液体通路内の記録用液体の流れを阻害
したり、あるいは液滴吐出方向を不安定にするなどして
記録特性を低下させる等、記録ヘッドの信頼性を著しく
損なう原因となる樹脂硬化膜の変形や基板からの剥離、
損傷などが起き易いという欠点を有している。

一方、ガラス、金属、セラミックス等に用いる光硬化型
の塗料や接着剤として知られているものは、これらの材
質からなる基板に対する密着性や接着性に優れ、かつ硬
化した際に十分な機械的強度や耐久性が得られるという
利点を仔しているものの、感度及び解像度に劣るために
、より高強度の露光装置や長時間の露光操作が必要とさ
れ、また、その時性ト、解像度良く精密な高密度パター
ンを得ることができないために、特に微細な精密加王が
要求される記録ヘット用としては向いていないという問
題点を有している。

また、従来の種々の用途に利用ざれている感光性樹脂組
成物においては、例えば金属との錯体形成能を有する複
素環式化合物等の種々の添加助削、あるいはカップリン
グ剤等を感光性樹脂組成物に添加し、金属等との密着性
を向上させていたく特公昭５１−５９３４、特公昭５８
−２４０３５など），，シかしこの方法には、長期間が
経過すると、−ヒ記添加助剤等がその組成物の酸化およ
びｌｒｘ蝕等の現象を引き起こしてしまうという問題が
あった。

方、そのような添加助剤等を添加しなくとも十分な密着
性を有する硬化組成物を得ることを目的として、枝鎖に
極性基を有するグラフト共巾合体より成る高分子物質が
特開昭６１−２８３６４５　，特開昭６　１−２８：１
６４６において開示されている。そこで開示された高分
子物質（グラフト共重合高分子）を含イ１−する活性エ
ネルギー線硬化ｐ．＋１樹脂組成物は、添加助剤等に頼
ること無く、密着性の向上、史には塗膜の耐久性の向］
一を実現することかできるという１１１点を有している
。

しかしなから、この組成物においては、その高分子物質
（グラフト共重合高分子）の分子設計に困難性が伴なう
という問題がまだ残されていた。

すなわち、一般に、枝鎖の分子量および含有率を定にし
つつ，グラフト共頃合体全体の市量平均分子１鋒を広範
囲（５万〜３５万程度）に漁り適宜所望の埴の分子寸に
なるよう合成することは、技術的に困難を伴なう。

つまり、パターン形成時の現像特性、すなわち未Ｉ■合
部の溶解速度、重合部の膨潤性、干してそ打らの結果と
しての感度、パターンのシャープさ、解像度を良好なも
のとするには、高分子物質の平均分子量は小さ過ぎては
ならない。グラフト共重合高分子において、比較的大き
な分子量の幹鎖に、有効な密着性が得られる程度に十分
な長さを持った枝鎖を多数結合させ、−１二連した目的
に合致する（Ｙ均分子ｊＪを得ることは、現在の合成技
術においては、立体的障害の点から困難を伴なうもので
ある。

π−い替えれば、高分子物質の平均分子量が低すぎると
、それを用いたパターン形成材料の現像特性、すなわち
未１［合部の溶解速度、重合部の膨潤性、モしてそわら
の結果としての感度、パターンのシャープさ、解像度の
調節に一定の制限を受けるのである。

本発明はＦ記問題点に鑑み成されたものであり、その目
的は、添加助剤等を添加しなくとも七分な密着性を有し
、パターン形成時の現像特性に優れ、かつ液体噴射記録
ヘッドの構成部材として良好な特性を得られるようにそ
の特性を制御することが容易な活性エネルギー線硬化型
樹脂組成物を用い、安価で精密であり、信頼性が扁く、
耐久性に優れた記録ヘッドを提供することにある。

本発明の他の目的は、液体通路が蹟度良くかっ歩留り良
く微細加工ざれた構成を有した液体噴射記録ヘッドを提
供することにある。

本発明の他の目的は、マルチオリフィス化された場合に
も信頼性が高く、耐久性に優れた液体噴射記録ヘッドを
提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的は以下の本発明によって達成することができ
る。

本発明は、活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化物
をその構成の一部とする液体噴射記録ヘッドであって、
前記組成物が、（Ａ）アルキルメタアクリレート、アクリロニトリルお
よびスチレンからなる群より選ばれた一種以上−のモノ
マー（以下モノマー成分■という）に由来する構造単位
を主体とする９？釦に、下記一般式（ｘ）で表わさわる
モノマーおよび下記一般式（ｙ）で表わさ九るモノマー
からなる群より選択された少なくとも一種のモノマー（
以下モノマー成分（りという）に由来する構造単位を打
する枝鎖が付加されてなり、かつ数゛ト均分子縫が５千
以上であり、重購゛ト均分子晴が５万以下であるグラフ
ｔ４［合高分子と、Ｒ１ＲＣＨ，＝Ｃ　　　　　　　　　　　　　　　　　　・・
・　（ｙ）０＝Ｃ−０−Ｒ３　−ＯＨ［ただし、Ｒｌは水素、もしくは炭素原子数が１〜３の
アルキル基またはヒドロキシアルキル基を表わし、Ｒ２
は水素、もしくは炭素原子数が１〜４のヒドロキシ基を
有していてもよいアルキル基またはアシル基を表わし、
Ｒ３は炭素原子数２〜６のアルキル基、あるいはハロゲ
ン置換されたアルキル基、 →ＣＨ２片『−〇一廿ＣＨ，ｉ（ただし、２≦ｍ＋ｎ≦６、ｎ≠０、ｍ≠０）で表わさ
れるアルキルエーテル基、（たたし、２≦ｍ　＋　ｎ≦４、ｎ＝ｏあるいはｍ−０
の場合も含む）で表わされるフエニルアルキル基である。］（Ｂ）メチ
ルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、イソブ
チルメタアクリレート、ｔ−プチルメタアクリレート、
ペンジルメタアクリレート、アクリロニトリル、インボ
ルニルメタアクリレート、イソホルニルアクリレート、
トリシクロデカンアクリレート、トリシクロデカンメタ
アクリレート、トリシクロデカンオキシエチルメタアク
リレート、スチレン、ジメチルアミノエチルメタクリレ
ート、シクロへキシルメタクリレートからなる群より選
ばれた一種以上のモノマー（以下モノマー成分■という
）に由来する構造単位を有し、かつ前記一般式（ｘ）で
表わされるモノマーおよび前記一般式（ｙ）で表わされ
るモノマーからなる群より選択された少なくとも一種の
モノマー（以下モノマー成分■′　という；ただし、モ
ノマー成分■とモノマー成分■′は同一の組成を有する
ものであっても、異なる組成のものであっても良い）に
由来する構造単位を有し、かつ数平均分子量が５万以」
二であり、重量平均分子量が３５万以下であり、ガラス
転移温度が６０℃以上である線状高分子と、（Ｃ）分子内にエボキシ基を１個以上有する化合物の少
なくとも１種を含んでなるエポキシ樹脂と、（Ｄ）活性エネルギー線の照射によってルイス酸を発生
する１Ｆ合開始剤とを含むことを特徴とする液体噴射記
録ヘッドである。

本発明の液体噴射記録ヘッドは所望に応じて神々の構成
を取ることができるが、少なくともト記樹脂組成物の硬
化物がその構成の一部として用いられる。

以下、図面に従って本発明の液体噴射記録ヘッドの一例
を詳細に説明する。

第１図は本発明の液体噴射記録ヘッドの一例であり、第
１図（ａ）はその主要部の斜視図、第１図（ｂ）は第１
図（ａ）のＣ−Ｃ線に添った切断断面図である。

この液体噴射記録ヘッドは、基本的に、基板１と、該基
板上に設けられ、所定の形状にパターンニングされた樹
脂硬化膜からなる液体通路壁３１１と、該液体通路壁上
に積層された覆い７とを有してなり、これらの部材によ
って、記録用液体を吐出するためのオリフィス９、該オ
リフィスに連通し、記録用液体を吐出するためのエネル
ギーが記録用液体に作用する部分を有する液体通路６−
２及び該液体通路に供給する記録用液体を貯留するため
の液室６−１が形成されている。更に、覆いに設けられ
た貫通孔８には、記録ヘッド外部から液室６−１に記録
用液体を供給するための供給管ＩＯが接合されている。

尚、第１図（ａ）には、供給管１０は省略してある。

記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギーは
、液体通路６−２の一部を構成する記録用液体に吐出エ
ネルギーを作用させる部分の所定の位置に配設された発
熱素子、圧電素子等の種々のタイプの吐出エネルギー発
生素子２に、これら素ｆに接続してある配線（不図示）
を介して吐出信号を所望に応じて印加することにより発
生される。

本発明の記録ヘッドを構成する基板ｌは、ガラス、セラ
ミックス、プラスチックあるいは金属等からなり、発生
素子２が所望の個数所定位置に配設される。なお、第１
図の例においては発生素子か２個設けられているか、発
熱素子の個数及び配置は記録ヘッドの所定の構成に応じ
て適宜決定される。

また、覆い７は、ガラス、セラミックス、プラスチック
または金属等の平板からなり５融着あるいは接着剤を用
いた接着方法により液体通路壁３Ｈトに接合されており
、また所定の位置に供給管１０を接続するためのＪ通孔
８が設けられている。

この記録ヘッドにおいて、液体通路６−２及び液室６−
１の壁３Ｈを構成する所定の形状にパターンニングされ
た樹脂硬化膜は、基板１−Ｌに、または覆い７Ｆに設け
た而述した構成成分（Ａ）〜（Ｄ）を含む活性エネルギ
ー線硬化型樹脂組成物からなる層をフォトリソグラフィ
ー王程によってパターンニングして得られたものである
。

以上、液体通路壁３Ｈの構成に該樹脂組成物の硬化膜を
用いた例を説明したが、該樹脂組成物の硬化膜（硬化物
）は、記録ヘットのその他の部分に好適に利用し得る。

例えば、液体通路に垂直な記録ヘッドの部分断而として
表した第７図（ａ）〜（ｈ）に示すように１　覆い７として（ａ）２．液体通路壁３Ｈ及び覆い７として（ｂ）（この場合
液体通路壁３Ｈと覆い７は一体化されて形成されていて
も良いし、別途形成後接合されたものあっても良い。）３．各種樹脂等から形成した液体通路壁３１１と覆い７
との接着ＷＩｌ４（ｃ）、（ｅ）及び（ｇ）として４．液体通路壁３Ｈ及び液体通路壁３１１と覆い７との
接着層ｌ４として（ｄ）及び（ｆ）５．ＩＩＩ．体通路壁３１１及び液体通路壁３１１と覆
い７との接着層ｌ４（２層構成）として（ｈ）の利用を挙げることができる。なお、上記構成のなかで
第７図（ａ）〜（ｅ）．（ｈ）の構成及び第７図（ｆ）
における液体通路壁３■の形成には、ドライフィルムタ
イプのものが好適に利用でき、また第７図（ｆ）及び（
Ｇ）の接着剤層ｌ４には、液体状で用いて硬化させるタ
イプが好適に用いらわる。

史に、本発明の記録ヘッドは、第８図（ａ）及び（ｂ）
並びに第９図に示す液体通路（６−２）に対して垂直な
方向に液滴を吐出する構造を有するものであっても良く
、その際には、例えば第１０図（ａ）及び（ｂ）に示す
部分等上記第７図に示したのと同様の部分などに該樹脂
組成物の硬化膜が好適に利用できる。

以下、本発明の記録ヘッドの構成の用いる館述した構成
成分（Ａ）〜（Ｄ）を含む活性エネルギー線硬化型樹脂
組成物について説明する。

該樹脂組成物は、特に硬化膜とした際にガラス、プラス
チック、セラミックス等からなる基板等の各種部材に対
して良好な接着性を有し、かつインク等の記録用液体に
対する耐性及び機械的強度にも優れ、しかも活性エネル
ギー線によるパターニングによって蹟密で高解像度のパ
ターンを形成することができるという液体噴射記録ヘッ
ドの構成部材として優れた特性を存するものである。

更に、この樹脂組成物は、ドライフィルムとして用いる
ことができ、その際にも上記の優れた特性が発揮される
。

該樹脂組成物に含まれるグラフト共重合高分子（Ａ）の
幹鎖の形成には、而述のモノマー成分■が主成分として
用いらわる。

枝鎖に用いるモノマーとしては、前述のモノマー成分■
に加え、必要に応じて以下の極性モノマーを併用するこ
とが可能である。

（１）アミン基またはアルキルアミノ基含有アクリルモ
ノマー（１１）カルボキシル基含有アクリルまたはビニルモノ
マー（ＩＩＩ）Ｎ−ビニルピロリトン、もしくはその誘導体（ＩＶ）ビニルピリジン、もしくはその誘導体また、疎
水性モノマーも、約２５モル％以Ｆの範囲内で共１Ｒ合
の成分として用いることができる。

詑クラフト共屯合高分子（八）の形成には、例えば［ボ
リマーアロイ基礎と応用」　（高分子学会編災、東京化
学同人■発行、１９８１年）のｌθ〜３５０に記載され
ているような、従来より公知の種々の方法を用いること
ができる。それらの方法としては、■連鎖移動法、■放
射線を用いる方法、■酸化重合法、■イオングラフト重
合法、■マクロモノマー法などがある。これらの方法を
用い、先に例示した千ノマ一等を用いて、数平均分子量
５千以Ｅ、重量平均分子量５万以下のグラフト共重合高
分子が得らえるように適宜重合条件を選定して重合する
ことによって、該グラフト共重合高分子（＾）を得るこ
とができる。

なお、而記方法のうち、■あるいは■の方法を１４１い
ると、共重合高分子（Ａ）の鎖枝の長さが揃うので、特
に■の方法がより好ましい。

上記線状高分子（ｎ）は、簡述したモノマー成分■を１
成分とし、かつ１前述したモノマー成分■′を用い、数
平均分’ｊ．；１５万以上、重量平均分千雀３５万以下
で、ガラス転移温度６０℃以上の重合体になるように、
適宜重合条件を選定しつつ、従来より公知の方法を用い
て重合することにより得ることができる。なお、モノマ
ー成分■′は、５モル％か６３０モル％の範囲で加える
ことが好ましい。線状高分子中にモノマー成分■′が３
０モル％を越えて含有されると、硬化塗膜中の極性基濃
度が高くなり、密着性向上の効果がそれ以上上昇せずに
、耐水性の低下が現われてくるので好ましくない。また
、モノマー成分■′が５モル％未満であると、密着性向
上および塗膜の結合剤としての効果が不十分になる。

該樹脂組成物の硬化物に高いガラス転移温度を与え、耐
水性を高める目的では、而述したモノマー成分■として
、メチルメタクリレート、イソボルニルメタクリレート
、イソボルニルアクリレート、トリシクロデカンメタク
リレート、トリシクロデカンアクリレート等は特に好ま
しい結果を与える。

而記１分子内にエボキシ基を１個以上含む化合物の１種
以上からなるエボキシ樹脂（Ｃ）とは、後述する重合開
始剤（Ｄ）の存在下に本発明の樹脂組成物に活性エネル
ギー線による高感度で十分な硬化性を発揮させ、これに
加えて、本発明の樹脂組成物を、ガラス、プラスチック
ス、セラミックス等からなる各種支持体上に液体状で塗
布してからこれを硬化させて硬化膜として形成した際に
、あるいはドライフィルムの形で各種支持体１−に接着
して用いた際に該樹脂組成物からなる硬化膜に、より良
好な支持体との密着性、耐水性、耐薬品性、十法安定性
等を付与するための成分である。

このエボキシ樹脂（Ｃ）としては、１分子内にエボキシ
基を１個以上含む化合物の１種以上を用いてなるエボキ
シ樹脂であれば、特に限定することなく用いることがで
きる。しかしながら、例えば本発明の樹脂組成物を硬化
して得られる硬化膜の耐薬品性や機械的強度、構造材料
としての高い耐久性などを考慮したり、あるいは該組成
物の硬化１１ｑからなる各種パターンを支持体上に形成
する際の作業性や、形成されるパターンの解像度などを
考慮すると、１分子内にエボキシ基を２個以七含む化合
物の１種以上からなるエボキシ樹脂を用いることが好ま
しい。

上記１分子内にエボキシ基を２個以上含むエボキシ樹脂
としては、ビスフェノールＡ型、ノボラック型、脂環型
に代表されるエボキシ樹脂、あるいは、ビスフェノール
Ｓ、ビスフェノールＦ、テトラヒド口キシフェニルメタ
ンテトラグリシジルエーテル、レゾルシノールジグリシ
ジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、ペ
ンタエリスリトールトリグリシジルエーテル、イソシア
ヌール酸トリグリシシルエーテルおよび下記一般式エ（ただし、Ｒ４はアルキル基またはオキシアルキルル基
を表わす）で表ねさわるエボキシウレタン樹脂等の多官能性のエボ
キシ樹脂及びこわらの一種以上の混合物などを挙げるこ
とができる。

なお、これら多官能性エボキシ樹脂の具体例としては以
下のようなものを挙げることができる。

すなわち、ビスフェノールＡ型エボキシ樹脂としては、
例えばエピコート８２８　，　８３４　，　８７１、１
００ｌ、＋００４　（商品名、シェル化学社製），ＤＥ
Ｒ：ｌ３１−Ｊ　，　３３７−Ｊ　，　６６１Ｊ　，　
６ｆｉ４−Ｊ　，　６６７−Ｊ　　（ダウケミカル社ｃ
Ａ）及びエビクロン８００（商品名、大日本インキ化学
工業■社製）など：ノボラック型エボキシ樹脂としては
、例えばエビコート１５２、＋５４　、＋７２、（商品
名、シェル化学社製）、アラルダイトＥＰＮ　１１３８
　（商品名、チバガイギー社製），ＤＥＩＩイ３１　、
４３８及び４３９（商品名、ダウケミカル社製）など：
脂環式エポキシ樹脂としては、例えばアラルダイト　Ｃ
Ｙ−１７５　，−１７６、−１７９、＝１８２、−１８
４、−１９２　（商品名、チバガイギーネＬ製）、チッ
ソノックス０９０　、０９１　、０９２　、３０１、３
１３（商品名、チッソ■社製）、シラキュア−（ＧＹ１
＋八Ｃｕｔｌビ）６１００、６１ｌＯ、６２００及び　
Ｆ．ＲＩ．　４０９０、４６１７，　２２５６、５４１
１　（商品名、ユニオン力ーバイト社製）など；脂肪族
多価アルコールの多価グリシジルエーテル類としては、
例えばエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリ
エチレングソコールジグリシジルエーテル、プロピレン
グリコールジグリシジルエーテル，ボリプロビレングリ
コールジグリシジルエーテル，ネオベンチルグリコール
ジグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグ
ワシジルエーテル、グリセリンジグリシジルエーテル、
トリメチロールブロバントリグリシジルエーテル、水素
添加ビスフェノールＡのジグリシジルエーテル、２．２
−ジブロモネオペンチノレグリコーノレジグリシジノレ
エーテノレ等；芳香族多価アルコールから誘導された多
価グリシジルエーテルとしては、ビスフェノールＡのア
ルキレンオキシドの２〜１６モル付加体のジグリシジル
エーテル、ビスフェノールＦのアルキレンオキントの２
〜１６モル付加体のジグリシジルエーテル５ビスフェノ
ールＳのアルキレンオキシドの２〜１６モル付加体のジ
グリシジルエーテルなどがある。

また、１分子内にエポキシ基を１個含む化合物としては
、オレフィンオキサイド、オクチレンオキサイド、プチ
ルグリシジルエーテル、グリシジルメタクリレート，ア
クリルグリシジルエーテル、スチレンオキサイド、フェ
ニルグリシジルエーテル、ｎ−ブチルフェノールグリシ
ジルエーデル、３−ベンタデシルフェニルグリシジルエ
ーテル、シクロヘキサンビニルモノオキサイド、α−ビ
ネンオキサイド、ｔｅｒｔ−カルボン酸のグリシジルエ
ステル等およびそれらの混合物などが挙げられる。

これら一官能性エポキシ樹脂は、航述の多官能性エボキ
シ樹脂とともに、あるいはそれ自身噴独でも用いること
ができる。

萌記活性エネルギー線の照射によってルイス酸を発生す
る重合開始剤（Ｄ）とは、該ルイス酸の作用によって航
述のエボキシ樹脂（Ｃ）を硬化させ、本発明の樹脂組成
物に活性エネルギー線に対する高感度で十分な硬化性を
発揮させるための成分であり、好適には例えば特公昭５
２−１４２７８号公報に示されている第Ｖｌａ族に属す
る元素を含む光感知性を有する芳香族オニウム塩化合物
、または特公昭５２−１４２７９号公報に示されている
第Ｖａ族に属する元素を含む光感知性を有する芳香族オ
ニウム塩化合物、あるいは特公昭５２−１４２７７号に
示されている光感知性を存する芳香族八ロニウム塩など
を用いることができる。これら芳香族オニウム塩化合物
または芳ｈ族ハロニウム塩は、そのいずれもか活性エネ
ルギー線の照射によってルイス酸を放出してエポキシ樹
脂（Ｃ）を硬化させるという特性を自している。

１二記の第Ｖｉａ族若しくは第Ｖａ族に属する元素をイ
』する光感知性の芳香族オニウム塩化合物には、代表的
には下記一般弐〇　．ｃ（ｌ＋６）．，（ｎ’）ｂ（Ｒ８）ｃＸ］ｄ”　　　
［ＭＱ．］−”−”・・・　（　ＩＩ　）Ｃ１一記式中、１｛６は一価の有機芳香族基、Ｒ７はア
ルキル居、シクロアルキル基及び置換アルキル基から選
らばれる一僅の有機脂肪族基、Ｒ８は脂肪族基及び芳香
族基から選らばれる複素環若しくは縮合環構造を構成す
る多価有機基、Ｘはイオウ、セレン及びテルルから選ら
ばれる第Ｖｌａ族または窒素、リン、ヒ素、アンチモン
及びビスマスから選らばれる第Ｖａ族に属する元素、Ｍ
は金属または半金属及びＱはハロゲン基をそれぞれ表わ
し、ａはＸが第Ｖｉａ族に属する元素である場合には０
〜３の整数、Ｘが第Ｖａ族に属する元素である場合には
０〜４の整数、ｂは０〜２の整数、ＣはＸが第Ｖｉａ族
に属する元素である場合には０または１の整数、Ｘが第
Ｖａ族に属する元素である場合には０〜２の整数、ｆは
Ｍの価数で２〜７の整数、ｅはｆより大で８以下の整数
であり、かつａとｂとＣの和はＸが第ＶＴａ族に属する
元素である場合には３、Ｘが第Ｖａ族に属する元素であ
る場合には４及びｄ＝ｅ−ｆである）で表される化合物
が挙げられる。

また、光感知性の芳香族八ロニウム塩としては、下記一
般■：［　（ｒｔ９）．（Ｒ”）ｈｘＬ”［ＭＱ．＋ド（ｋ−
１１　　・・，　（　ｍ　）（上記式中、Ｒ９は一僅の
芳香族有機基、［１０は二僅の芳香族有機基、Ｘはハロ
ゲン基、Ｍは金属または半金属及びＱはハロゲン基をそ
れぞれ表わし、ｇは０または２の整数かつｈは０または
１の整数であって、ｇとｈの和が２またはＸの原子価に
等しく、ｉはｋ−１に等しく、ｊはＭの原子価に等しい
２〜７の整数であり、ｋは１よりも大きい８までの整数
である）で表される化合物が挙げられる。

上記第Ｖｉａ族若しくは第Ｖａ族に属する元素を含む光
感知性の芳香族オニウム塩化合物の具体例としては、例
えばなどの第■ａ族に属する元素の先感知性の芳香族才ニウ
ム塩、及び例えばなどの第Ｖａ族に属する元素の光感知性の芳香族才ニウ
ム塩などを挙げることができる．また、光感知性の芳香
族ハロニウム塩の具体例としては、例えば、尚、上記のようなルイス酸を放出する重合開始剤（Ｅ）
に加えて、エポキシ樹脂の硬化剤として一般に広く知ら
れているポリアミン、ボリアミド、酸無水物、三フッ化
ホウ素一アミンコンプレックス、イミダゾール類、イミ
ダゾールと金属塩のコンプレックス等の硬化剤を必要に
応じて用いてもよい。

以上説明した本発明の液体噴射記録ヘッドの作製に用い
る活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は、活性エネルギ
ー線によって硬化されるものであるが、グラフト共重合
高分子（Ａ）及び／または線状高分子（Ｂ）として光市
合性を有するものを用い、かつ活性エネルキ一線として
波長２５Ｏｒ＋ｍ〜４５０ｎｍの活性エネルギー線を用
いる場合には、活性エネルギー線の作用により賦活化し
得る打機遊離ラジカル生成性のラジカル重合開始剤を該
樹脂組成物中に添加しておくことが好ましい。

そのようなラジカル重合開始剤を具体的に示せば、ベン
ジルエーテル．ヘンゾインイソブチルエーデル、ペンゾ
インイソブ口ビルエーテル、べンゾインー旧−ブチルエ
ーテル、ベンゾインエチルエーテル、ヘンゾインメチル
エーテルなどのペンゾインアルキルエーデル類；ベンゾ
フェノン、４．４′−ビス（Ｎ，Ｎ−シエチルアミノ）
ペンゾフェノン、ペンゾフェノンメチルエーテルなどの
ヘンゾフェノン類；２−エチルアントラキノン、２−ｔ
ｃｒｔ．−ブチルアントラキノンなどのアントラキノン
類：２，４−ジメチルチオキサントン、２．４−シイソ
ブロビルチオキサントンなどのキサントン類：２，２−
ジメトキシ−２−フエニルアセトフェノン、α，α−シ
クロロー４−フエノキシアセトフェノン、ｐ　−　ｔｅ
ｒｔ−プチルトリク口ロアセトフェノン、ｐ　−　ｔｅ
ｒｔ−プチルジク口ロアセトフェノン、２．２−ジェト
キシアセトフェノン、ｐ−シメチルアミノアセトフェノ
ンなどのアセトフェノン類：あるいはヒドロキシシク口
へキシルフェニルケトン（イルガキュア１８４チバ・ガ
イギー■製）；１−（４−イソブロビルフェニル）−２
−ヒトロキシー２−メチルブロバンー１−オン（ダロキ
ュア１１１Ｂ　　メルク（ＭＥＲＣＫ）■製），２−ヒ
トロキシー２−メチル−１一フェニルーブロバンー１−
オン（タロキュア１　１７３　　メルク＠製）等か好適
に用いられるものとして挙げられる。これらのラジカル
重合開始剤に加えて、光＋１合促進剤としてアミノ化合
物を添加してもよい。

光市合促進剤に用いられるアミノ化合物としては、エタ
ノールアミン、エチル−４−シメチルアミノヘンゾエー
ト、２−（ジメチルアミノ）エチルヘンゾエー１・、ｐ
−ジメヂルアミノ安息香酸ｎ一アミルエステル、ρ−ジ
メチルアミノ安息香酸イソアミルエステル等が挙げられ
る。

次に、以上の各組成分の配合比は、これら組成分を含む
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の本発明の液体噴射
記録ヘッドにおける使用部位あるいは使用目的に応じて
適宜選択される。

例えば、グラフト共重合高分子（Ａ）と線状高分ｆ　（
Ｂ）との重量比率は　（Ａ）：（Ｂ）＝　８０４０〜５
０・５０の範囲が望ましく、この範囲であるとグラフト
共重合高分子に基づく良好な密着性と、線状高分子に基
づく良好なバターニング性が得られる．高分子物質の合
計量（Ａ）÷（Ｂ）に対して、エボキシ樹脂（Ｃ）との
重量比率は、｛（Ａ）÷（Ｂ））：（Ｃ）　＝１００・
５０〜１００：２００の範囲が望ましい。光開始剤（Ｄ
）は、前記樹脂の合計看　（Ａ）＋（Ｂ）＋（Ｃ）に対
してｆ（Ａ）＋（Ｂ）＋（Ｃ））：（Ｄ）　＝　＋００
：　１〜１００：１０の範囲で用いるのが望ましい。

また、上記ラジカル重合開始剤（Ｅ）及び／または光重
合促進剤としてのアミノ化合物（Ｆ）を用いる場合のこ
れらの添加量（（Ｅ）＋（Ｆ））　　［　（Ｅ）・０ま
たは（Ｆ）・０の場合を含むコは、府記樹脂の合計星（
Ａ）　”　（ＩＩ）　”　（（；）　”　（Ｄ）　に対
して｛（Ａ）÷（Ｂ）　＋　ＣＧ＞　＋　（Ｄ）　）　
：（（１ミ）＋（Ｆ））　＝］００：１　−１００：１
０の範囲で用いるのが望ましい。

更に、以−Ｆ説明した活性エネルギー線硬化型樹脂組成
物には、必要に応じて、縮合架橋触媒、熱屯合禁止剤、
染料や顔料等の着色剤、ヒドロキノンやパラメドキシフ
ェノール等の熱安定剤、密着促進剤、可〒削、シリカや
タルク等の体質顔料、塗下め性を与えるレヘリング剤な
どを添加しても良い。

例えば、縮合架橋触媒としては、パラトルエンスルホン
酸に代表されるスルホン酸、ギ酸などのカルボン酸等が
挙げられる。熱重合禁止剤としては、ハイドロキノンお
よびその誘導体、パラメトキシフェノール、フェノチア
ジン等が挙げられる。着色剤としては、油溶性染料及び
顔料が活性エネルギー線の透過を実質的に防げない範囲
で添加され得る。充填剤は、塗膜の硬度上昇、着色、密
ｎ性、機械的強度上昇のために、塗料一般で使用される
体質顔料、プラスチック微粒子等か用いらわる。密着促
進剤としては、無機質表面改質剤としてのシランカップ
リング剤、低合子界而活性剤等がある。

本発明の液体噴射記録ヘッドの作製のために、ト記活性
エネルギー線硬化型樹脂組成物を溶液状で用いる際、あ
るいはドライフィルムとする際に、該樹脂組成物をフィ
ルム基材であるプラスチックフィルムなどの上に塗布す
る場合などに用いる溶剤としては、アルコール類、グリ
コール工一デル類、グリコールエステル類等の親水性溶
剤などが挙げらわる。もちろん、これら親水性溶剤をｔ
体とし、それらに必要に応じてメチルエチルケトン、メ
チルイソブチルケトン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸
イソブチル等のエステル類、トルエン、キシレン等の芳
香族炭化水素及びそのハロゲン置換体、塩化メチレン、
１，１．１−トリクロルエタン等の塩素含有の脂肪族溶
剤等を適宜混合したものを用いることもできる。尚、こ
れら溶剤は、該樹脂組成物の現像液として用いることも
できる。

本発明の液体噴射記録ヘッドの作製に際して、該樹脂組
成物は、通常の方法によって基板等の上に硬化層を形成
できる。

例えば、（１）基板等のトに硬化した塗布膜からなる層を形成す
る場合：液体状の−Ｅ記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を基
板等の上に液状塗布膜を形成するため付与し、引き続い
て蒸発乾燥させる。そして得られた乾燥塗布膜に、活性
エネルギー線を照射することでこれを硬化させて、硬化
塗布膜からなる層とする。

（２）基板等のトに所望パターンの形状の硬化した塗布
膜からなる層を形成する場合（その１）；液体状の上記
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を液状塗布膜を形成
するため基板等の上に付与し、引き続いて蒸発乾燥させ
る。そして乾燥した塗布膜からなる層に所望のパターン
にレーザービームを走査し、未露光部を１．１，ｉトリ
クロ口エタン等の適当な溶剤で除去することで基板等の
上に所望のパターン形状の硬化塗布膜層を形成する。

（３）基板等の上に所望のパターン形状の硬化塗布膜か
らなる層を形成する場合（その２）：基板等の上に、液
体状の上記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を液状塗
布膜を形成するために付与し、続いて蒸発乾燥する。得
られた乾燥塗布膜からなる層上に，活性エネルギー線が
透過しない所望の形状をもったパターンを有するフォト
マスクを重ね合わせ、フォトマスク上から活性エネルギ
ー線で露光する。そして、未露光部を１．１，ｉトリク
ロ口エタン等の適当な溶剤によって除去し、基版等の上
に所望のパターン形状の硬化した塗布膜からなる層を形
成する。

（１）感光性ドライフィルムを形成し、基板等のトに面
記ドライフィルムを積層する場合：液体状のト記活性エ
ネルギー線硬化型樹脂を液状膜を形成するためポリエチ
レンテレフタレートフィルム１二に付与し、続いて蒸発
乾燥して前記ポリエチレンテレフタレートフィルム上に
感光性トライフィルムを得る。そのドライフイルムを積
層体を得るため通常の積層方法によって」，（板等のト
に積層する。そして、基板等の上に積層した感光性ドラ
イフィルムを上記した方法（１）と同様の方法で活性エ
ネルギー線で照射することで硬化する。

硬化した感光性フィルムを所望のパターンに形成したい
場合は支持体上に積層したト記ドライフィルムを上記し
た方法（２）又は（３）と同様の方法で処理する。

活性エネルギー線硬化型樹脂組成物が前記一般式（ｘ）
によって表わされるモノマーを含むものである場合、ト
記（１）〜（４）の方法で得た硬化膜を更に８０℃〜２
００℃の温度で加熱処理して縮合硬化させることは望ま
しい。

本発明の液体噴射記録ヘッドの作製過程において、上記
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化、あるいは該
樹脂組成物へのパターン露光等に用いる活性エネルギー
線としては、既に広く実用化されている紫外線あるいは
電子線などが挙げられる。紫外線光源としては、波長２
５０ｎｍ〜４５０ｒ＋ｍの光を多く含む高圧水銀灯、超
高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられ、実用
的に許容されるランブー被照射物間の距離において３６
５ｎｍの近傍の光の強度が１　ｍＷ／ｃ＋ｎ２〜ＩＯＯ
ｍＷ／ｃｍ２程度のものが好ましい。電子線照射装置と
しては、特に限定はないが、０．５〜２０Ｍ　Ｒａｄの
範囲の線量を有する装置が実用的に通している。

以下、液体通路壁３１１をドライフィルムタイプのＬ記
樹脂組成物から得られる硬化膜を用いて形成する場合を
一例として、図面を用いて本発明の液体噴射記録ヘッド
の製造方法を説明する。

第２図〜第６図は、本発明の液体噴射記録ヘットの製作
手順を説明するための模式図である。

本発明の液体噴射記録ヘッドを形成するには、まず、第
２図に示すように、ガラス、セラミック、プラスチック
あるいは金属等の基板１上に発熱素子やピエゾ素子等の
吐出エネルギー発生素子２が所望の個数配置される。尚
、必要に応じて記録用液体に対する耐性、電気絶縁性等
を基板１表面に付与する目的で、該表面にＳｉｎ２、Ｔ
ａ２０５　，ガラス等の保護層を被覆してもよい。また
、吐出エネルギー発生素子２には、図示されていないが
、記録信号人力用電極が接続してある。

次に、第２図の工程を経て得られた基板１の表面を清浄
化すると共に例えば８０〜１５０℃で乾燥させた後、第
３図（ａ）及び第３図（ｂ）に示したようにドライフィ
ルムタイプ（膜厚、約２０一〜２００一）の１ｉ７Ｆ述
した活性エネルギー線硬化型樹脂組成物３を、４０〜１
３０℃程度に加温して、例えば０．５〜０．４　ｆ／ｍ
ｉｎ．の速度、１　〜３　Ｋｇ／　ｃｍ２の加圧条件下
で基板面ＩＡ七にラミネートする。

続いて、第４図に示すように、基板而ＩＡ上に設けたド
ライフィルム層３上に、活性エネルギー線を透過しない
所定の形状のパターン４Ｐを有するフォトマスク４を重
ね合わせた後、このフォトマスク４の上部から露光を行
なう。

なお、フォトマスク４と基板１との位置合わせは、露光
、現像処理等の工程を経て、最終的に形成される液体通
路領域中に上記素子２が位置するように行なわれ、例え
ば、位置合せマークを、基板１とマスク４のそれぞれに
予め描いておき、そのマークに従って位置合わせする方
法等によって実施できる。

このように露光を行うと、前記パターンに覆われた領域
以外、すなわちドライフィルム層３の露光された部分が
重合硬化し、露光されなかった部分が、溶剤可溶性のま
まであるのに対して溶剤不溶性となる。

このパターン露光に用いる活性エネルギー線としては、
上述した活性エネルギー線硬化型組成物の成分の種類等
に応じて、従来より公知の活性エネルギー線のうち好適
なものを適宜選定して用いればよく、具体的には、例え
ば高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、
カーボンアーク灯、電子ビームなどを挙げることができ
る。

例えば、紫外線光源としては、波長２５０ｎｍ〜４５０
ｎｍの光を多く含む高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタル
ハライドランプ等が挙げられ、実用的に許容されるラン
ブー被照射物間の距離において３６５ｎｍの近傍の光の
強度が１　ｍＷ／ｃｍ２〜１００ｍＷ／ｃｍ２程度のも
のが好ましい。電子線照射装置としては、特に限定はな
いが、０．５〜２０　Ｍ　Ｒａｄの範囲の線計を有する
装置が実用的に適している。

ドライフィルム層３のパターン露光を終了したら、次に
、露光済みのドライフィルム３を、例えば１，１．１−
１−リクロルエタン等の揮発性有機溶剤中に浸清するな
どして現像処理し、溶剤可溶性であるドライフィルム層
３の未重合（未硬化）部分を基板１上から溶解除去し、
第５図（ａ）および第５図（ｂ）に示すように基板１上
に残存した樹脂硬化膜３１１によって最終的に液体通路
６−２及び液室６−１となる溝を形成する。

次に、基板１上の硬化樹脂膜３Ｈを、少なくとも８０℃
以上の温度で、１０分〜３時間程度加熱し熱重合させる
。なお、熱硬化性のグラフト共重合高分子が樹脂組成物
３に用いられている場合には、この加熱処理温度を、少
なくとも１００℃で５〜６０分程度とする。

なお、本例の記録ヘッドにおいては、液体通路６−２及
び液室６−１となる溝の形成に、ドライフィルムタイプ
の樹脂組成物、つまり固体状のものを使用した例につい
て説明しているが、本発明の記録ヘッドの形成に際して
使用できる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物としては
、固体状のもののみに限られるものではなく、液状のも
のももちろん使用可能である。

Ｊ．ｔｉ板上に液状の樹脂組成物を用いて該組成物から
なる層を形成する方法としては、例えばレリーフ画像の
作製時に用いられるスキージによる方法、すなわち所望
の樹脂組成物の塗膜の厚さに相当した高さの壁を基板の
周囲に設け、スキージによって余分な樹脂組成物を除去
する方法等を挙げることができる。この場合、樹脂組成
物の粘度は、ｌｏｏｃｐ〜３０００ｃｐが適当である。

また、基板の周囲に置く壁の高さは、感光性樹脂組成物
の含有する溶剤分の蒸発による減量分を見込んで決定す
る必要がある。

また、固体状の樹脂組成物を用いる場合には、前記のよ
うにドライフィルムを基板上に加熱圧着して貼着する方
法等が好適である。

しかしながら、本発明の記録ヘットを形成するに際して
は、取扱い上で、あるいは厚さの制御が容易かつ正確に
できる点に於いて、固体状のフィルムタイプのものが便
利である。

このようにして、樹脂硬化膜３１１によって最終的に液
体通路６−２及び液室６−１を構成する溝を形成した後
、第６図（ａ）及び第６図（ｂ）に示すように、溝の覆
いとなる平板７を樹脂硬化膜３Ｈトに接着剤に接合し、
接合体を形成する。

第６図（ａ）及び第６図（ｂ）に示した工程に於いて、
覆い７を付設する具体的な方法としては、例えばガラス
、セラミック、金属、プラスチック等の平板７にエポキ
シ樹脂系接着剤を厚さ３〜４μにスビンコートした後、
予備加熱して接着剤層を、いわゆるＢステーシ化させ、
これを硬化したドライフィルム３＋１上に貼り合わせた
後前記接着剤層を、本硬化させる等の方法があるが、ア
クリル系樹脂、八ＢＳ樹脂、ポリエチレン等の熱可塑性
樹脂の平板７を樹脂硬化膜３日上に、直接、熱融着させ
る等の接着剤を使用しない方法でも良い。

また、覆い７の液体通路と接合する側に、本発明におけ
る樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物からなる樹脂層を設け
、これを液体通路を形成した樹脂硬化膜３Ｈと熱融着さ
せ、しかる後に活性エネルギー線を照射して加熱すると
いう方法、すなわち本発明における樹脂硬化膜形成用の
樹脂組成物を接着剤として用いる方法も好ましい。

尚、第６図に於いて、　６−１は液室、　６−２は液体
通路、８は液室６−１に不図示の記録ヘッド外部から内
部へ記録用液体を供給するための供給管（不図示）を連
結するための貫通孔を示す。

このようにして、基板１上に設けられた樹脂硬化膜３１
１と平板７との接合が完了した後、この接合体を第６図
（ａ）及び第６図（ｂ）に示した液体通路６−２の下流
側にあたるＣ−ＣＩ．：添って切削して、切削面に於け
る液体通路の開口部である、記録用液体を吐出するため
のオリフィスを形成する。

この玉程は、吐出エネルギー発生素ｆ２とオリフィス９
との間隔を通正化するために行なうものであり、ここで
切削する領域は適宜選択される。

この切削に際しては、半導体工業で通常採用されている
ダイシング法等を採用することができる。

なお、本発明でいう液体通路下流部とは、記録ヘッドを
用いて記録を行なっている際の記録用液体の流れ方向に
於ける下流領域、具体的には、吐出エネルギー発生素子
２の設置位置より下流の液体通路の部分を言う。

切削が終了したところで、切削面を研磨して平滑化し、
貫通孔８に供給管１０を取付けて第１図に示したような
液体噴射記録ヘッドを完成する。

なお、以上説明した例では、基板１上に樹脂硬化膜３１
１を形成した後、これに覆い７が接合されたが、覆い７
側に樹脂硬化膜３■を形成した後これを基板１に接合し
ても良い。また、液体通路６−２と液室６−１とは別々
に形成されたものであっても良い。

〔実施例〕

以下、合成例および実施例により本発明を更に詳細に説
明する。

合成例１本発明の液体噴射記録ヘッドの作製に用いる活性エネル
ギー線硬化型樹脂組成物を構成する成分として、以下に
に示すものを用意した。

グラフト」１二（■今高ノ−　八２−とドロキシエチルメタクリレート８０重量部、プチ
ルアクリレート２０重揖部を用い、チオグリコール酸を
連鎖移動剤、アゾビスイソブチルニトリルを開始剤とし
て用い、ラジカル連鎖移動重合を行ない、末端にカルホ
キシ基を持つオリゴマーを得た。

このオリゴマーに、グリシジルメタアクリレートを反応
させることにより、分子鎖の片末端にメタアクリロイル
基を持つマクロモノマーを得た。

このマクロモノマーのＧＰＣ法による数平均分子量は、
約３千であった。このマクロモノマー３０屯量部とメチ
ルメタクリレート７０重量部とを、メチルセロソルブ溶
媒中で溶液重合し、重μ平均分子量が約４万、数平均分
子量が約５千５百のグラフト共重合高分子を得た。

致吠Ａ±ゴ」■ メチルメタクリレートを重合して得た線状アクリル重合
体。なお、その数モ均分子量は約７万、その重量平均分
子量は約２５万である。

と並上／椎胤μ）ｌ）．エピコート１００１　（油化シェルエポキシ■社
製のビスフェノールＡタイプのエボキシ樹脂、エボキシ
当量４５０〜５００）２）．エピコートｌ５２（油化シェルエボキシ■社製の
クレゾールノホラックタイプのエボキシ樹脂、エボキシ
当量１７２〜ｌ７９）３），セロキサイド２０２１　（ダイセル化学■社製の
脂環タイブのエポキシ樹脂、エボキシ当量１２８〜１４
５）肌企肌椎剋便）面述の構造弐〇）で示されるビス−［４−（ジフェニル
スルフォニオ）フェニル］スルフィドービスーヘキサフ
ルオロアンチモネート次に、以上の材料を以下に示すような市量比で混合する
ことによって、液体状の活性エネルギー線硬化型樹脂組
成物を得た。

材料　　　　　　　　重量部（Ａ５０（Ｂ５０（Ｃ　−１　　　　　　　　　　５０（（：）−２　　　　　　　　　　２０（Ｃ　−３　　
　　　　　　　　３０（Ｄ　　　　　　　　　　　１０トルエン　　　　　　　　１００メチルセロソルブ　　　２００実施例１合成例１で得た液体状の活性エネルギー線硬化型樹脂組
成物を用い、先に明細書中で説明した第１図〜第６図の
工程に従って、吐出エネルギー発生素子としてＩＯ個の
発熱素子［ハフニウムボライド（ｌ１ｆＢ２）　］及び
該発熱素子に対応して設けられたオリフィス（オリフィ
ス寸法；８０μ×５０μ１、配列ピッチ０．１３０　ｍ
ｍ）を有する第７図（ｆ）に示すタイプのオンデマン｝
’　ＩＦＦ液体噴射記録ヘッドの作成を以下のようにし
て実施した。尚、記録ヘッドは、同形状のものを各３０
個宛試作した。

まず、シリコンからなる基板上に発熱素子の複数を所定
の位置に配設し、これらに記録信号印加用′准極を接続
した。

次に、発熱素子か配設された基板面上に保護膜としての
Ｓｉ０２層（Ｊフさ１．０．）を設け、保護層の表面を
清浄化すると共に乾燥させた後、該保護層トに合成例１
で得た液体状の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を、
ロールコーターを用いて塗布し、得られた塗布膜層をｉ
ｏｏ℃、１５分間熱風乾燥して、膜Ｊ７約５０−の乾燥
塗布膜層を得た。

次に、該乾燥塗布膜層上に、液体通路及び液室の形状に
対応したパターンを有するフォトマスクを重ね合わせ、
最終的に形成される液体通路中に上記素子が設けられる
ように位置合せを行なって真空密着した後、このフォト
マスクの上部から最大照射エネルギーが１００ｍＶＩ／
ｃｆｆｉ２の高圧水銀灯下で、６０秒間の露光を行なっ
た。

露光終了後、乾燥塗布膜層をエターナＮＵで３５℃、６
０秒間のスプレー現像処理して、乾燥塗布膜層の未重合
（未硬化）部分を基板上から溶解除去し、基板上に残存
した硬化塗布膜からなる壁によって最終的に液体通路及
び液室となる溝を形成した。

現像処理終了後、基板上の硬化塗布膜に、ＩＯＪ／ｃｎ
＋２の紫外線による後露光を行ない、更に１５０℃で：
ｌＯ分間の加熱処理を行なった。

このようにして、硬化塗布膜からなる壁によって液体通
路及び液室となる溝を基板上に形成した後、形成した溝
の覆いとなるソーダガラスからなる貫通孔の設けられた
平板（天板）に、合成例１で得た液体状の活性エネルギ
ー線硬化型樹脂組成物をロールコーターにより塗布し、
得られた塗布膜層を８０℃、５分間熱風乾燥させ、厚さ
３μｍの乾燥塗布膜層を得た。

次に、天板を乾燥塗布膜層側から先に得た基板上の硬化
塗布膜からなる壁に位置合せを行なって加圧接合し、更
に天板側から乾燥塗布膜層に５０１！ｌＷ／ｃｒｎ２、
６０秒間の紫外線照射を行なった。

続いて、接合体の液体通路の下流側、すなわち吐出エネ
ルギー発生素子の設置位置から下流側へ０．１５０　ｍ
ｍのところを液体通路に対して垂直に、市販のダイシン
グ・ソー（商品名：　ＤＡＤ　２Ｈ／Ｂ型、ＤＩＳＣＯ
社製）を用いて切削し、記録用液体を吐出するためのオ
リフィスを形成した。

最後に、切削面を洗浄したのち乾燥させ、更に、切削面
を研磨して平滑化し、貫通孔に記録用液体の供給管を取
付けて液体噴射記録ヘッドを完成した。得られた記録ヘ
ッドは、何れもマスクパターンを忠実に再現した液体通
路及び液室を有する寸法精度に優れたものであった。ち
なみに、オリフィス寸法は、８０±　５ｐＸ５０±　５
−、オリフィスビッチは、１３０±５鱗の範囲にあった
。

このようにして試作した記録ヘッドの品質及び長期使用
に際しての耐久性を以下のようにして試験した。

まず、得られた記録ヘッドについて、次の各組成からな
る記録用液体中に、６０℃で１０００時間浸漬処理（記
録ヘッドの長期使用時に匹敵する環境条件）する耐久試
験を実施した。

記録用液体成分１）Ｈ，０　／ジエチレングリコール／１．３−ジメチ
ル−２−イミダゾリジノン／　Ｃ．Ｉ．ダイレクトブル
ー８６”　’ （−５７／３０／１０／３重量部）　ｐＨ−８。０２）
｝１２０　／ジエチレングリコール／Ｎ−メチル−２−
ピロリドン／Ｇ．Ｉ．ダイレクトブラック１５４　”（
・５５／３０／１０／５重量部）　ｐＨ−９．０：］）
Ｈ２０　／ジエチレングリコール／ポリエチレングリコ
ール＠４００　／Ｎ−メチル−２−ピロリドン／Ｃ．Ｉ
．ダイレクトイエロー８６９３（−６５／１０／１０／１０／５重量部）　ｐＨ−７．
０４）Ｉ１２０　／エチレングリコール／トリエチレン
グリコール／トリエチレングリコールモノメチルエーテ
ル／Ｃ．Ｉ．フードブラック　２ｍ４（−６７／ＩＯ／
１５／５／３重量部）　ｐＨ〜１０．０尚、注）１１〜
９４は、水溶性染料であり、ｐＨの調整には、カセイソ
ーダを用いた。

耐久試験後、該試験を実施した各ヘッドにつき基板及び
■いと硬化ドライフィルム膜の接合状態を観察した結果
、すべての記録ヘッドにおいて剥離や損傷は全く認めら
れず、良好な密着性を示していた。

次いでこれとは別に、得られた記録ヘッドの１０個につ
いて、各ヘッドを記録装置に取付け、面記の記録用液体
を用いて１０’パルスの記録信号を１４時間連続的に記
録ヘッドに印加して印字を行なう印字試験を実施した。

何れの記録ヘッドに関しても、印字開始直後と１４時間
経過後において、記録用液体の吐出性能及び印字状態共
に性能の低下が殆ど認められず、耐久性に優れた記録ヘ
ッドであった。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明の液体噴射記録ヘッドの構
成に用いられる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は、
グラフト共重合高分子（Ａ）を構成成分とするので、添
加助剤等を添加しなくとも、種々の部材に対して十分な
密着性を有し、かつ線状高分子（Ｂ）を構成成分として
含むので、パターン形成時の現像特性に優れる。また、
同時にその硬化膜は十分な耐薬品性、耐久性等を有する
。

更には、該組成物は、その構成成分である高分子物質と
して、グラフト共重合高分子と線状高分子とを併用して
用いるので、そのグラフト共重合高分子のみを高分子物
質として用いた場合に比べて、少ない活性エネルギー線
照射で、現像液に対する耐溶剤の塗ｊ漠になる。その結
果、高感度、解像度のアップ、部材の種類あるいは状態
に左右されずにパターン形成ができる等のパターニング
プロセスの性質が向−卜し、作業条件巾が拡大する。

従って、該組成物の硬化物をその構成の一部とすること
によって本発明の記録ヘッドは、安価で精密であり、信
頼性が高く、耐久性に優れたものとなる。また、液体通
路壁を該組成物の硬化膜で形成すれば、精度良くかつ歩
留り良く微細加工された液体通路を有する記録ヘッドが
得られる。

更に、本発明の記録ヘッドは上記の構成を有することに
より、マルチオリフィス化された場合にも信頼性が高く
、耐久性に優れたものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜Ｍ６図は本発明の液体噴射記録ヘッドならびに
その製造方法を説明するための模式図、第７図及び第ｌ
Ｏ図は樹脂硬化膜の使用部分を示す記録ヘッドの液体通
路に垂直な面での横断面部分図、第８図（ａ）及び（ｂ
）並びに第９図は記録ヘッドの他の構成を示す図である
。１二基板２：吐出エネルギー発生素子３：樹脂層３１１：樹脂硬化膜（液体通路壁）４：フォトマスク旧）：マスクパターン６−１＝液室６−２＝液体通路７：覆いＢ　，　ｔｊｒ通孔９：オリフィス０：供給管！二電極２：−Ｆ部保護層３：発熱抵抗層４：接着層

Claims

【特許請求の範囲】１）活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化物をその
構成の一部とする液体噴射記録ヘッドであって、前記組
成物が、（Ａ）アルキルメタアクリレート、アクリロニトリルお
よびスチレンからなる群より選ばれた一種以上のモノマ
ーに由来する構造単位を主体とする幹鎖に、下記一般式
（ｘ）で表わされるモノマー及び下記一般式（ｙ）で表
わされるモノマーからなる群より選択された少なくとも
一種のモノマーに由来する構造単位を有する枝鎖が付加
されてなり、かつ数平均分子量が５千以上であり、重量
平均分子量が５万以下であるグラフト共重合高分子と、 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・（ｘ） ▲数式、化学式、表等があります▼・・・（ｙ）［ただし、Ｒ＾１は水素、もしくは炭素原子数が１〜３
のアルキル基またはヒドロキシアルキル基を表わし、Ｒ
＾２は水素、もしくは炭素原子数が１〜４のヒドロキシ
基を有していてもよいアルキル基またはアシル基を表わ
し、Ｒ＾３は炭素原子数２〜６のアルキル基、あるいは
ハロゲン置換されたアルキル基、 ▲数式、化学式、表等があります▼ （ただし、２≦ｍ＋ｎ≦６、ｎ≠０、ｍ≠０）で表わさ
れるアルキルエーテル基、 ▲数式、化学式、表等があります▼ （ただし、２≦ｍ＋ｎ≦４、ｎ＝０あるいはｍ＝０の場
合も含む）で表わされるフェニルアルキル基である。］（Ｂ）メチ
ルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、イソブ
チルメタアクリレート、ｔ−ブチルメタアクリレート、
ベンジルメタアクリレート、アクリロニトリル、イソボ
ルニルメタアクリレート、イソボルニルアクリレート、
トリシクロデカンアクリレート、トリシクロデカンメタ
アクリレート、トリシクロデカンオキシエチルメタアク
リレート、スチレン、ジメチルアミノエチルメタクリレ
ート、シクロヘキシルメタクリレートからなる群より選
ばれた一種以上のモノマーに由来する構造単位を有し、
かつ前記一般式（ｘ）および前記一般式（ｙ）で表わさ
れるモノマーからなる群より選択された少なくとも一種
のモノマーに由来する構造単位を有し、かつ数平均分子
量が５万以上であり、重量平均分子量が３５万以下であ
り、ガラス転移温度が６０℃以上である線状高分子と、（Ｃ）分子内にエポキシ基を１個以上有する化合物の少
なくとも１種を含んでなるエポキシ樹脂と、（Ｄ）活性エネルギー線の照射によってルイス酸を発生
する重合開始剤とを含むことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。２）前記グラフト共重合高分子（Ａ）と前記線状高分子
（Ｂ）との重量比が（Ａ）：（Ｂ）＝８０：２０〜５０
：５０である請求項１記載の液体噴射記録ヘッド。３）前記グラフト共重合高分子（Ａ）および前記線状高
分子（Ｂ）の合計重量（Ａ）＋（Ｂ）と前記エポキシ樹
脂（Ｃ）の重量比が｛（Ａ）＋（Ｂ）｝：（Ｃ）＝１０
０：５０〜１００：２００である請求項１または２に記
載の液体噴射記録ヘッド。４）前記グラフト共重合高分子（Ａ）、前記線状高分子
（Ｂ）および前記エポキシ樹脂（Ｃ）の合計重量（Ａ）
＋（Ｂ）＋（Ｃ）と前記重合始剤（Ｄ）の重量比が｛（
Ａ）＋（Ｂ）＋（Ｃ）｝：（Ｄ）＝１００：１〜１００
：１０である請求項１〜３のいずれかに記載の液体噴射
記録ヘッド。５）前記の重合開始剤（Ｄ）が芳香族ハロニウム塩化合
物及び周期率表第VIａ族若しくは第Ｖａ族に属する元素
を含む光感知性を有する芳香族オニウム塩化合物から成
る群より選択した１種以上である請求項１〜４のいずれ
かに記載の液体噴射記録ヘッド。