JPH02132943U - - Google Patents

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JPH02132943U
JPH02132943U JP4114989U JP4114989U JPH02132943U JP H02132943 U JPH02132943 U JP H02132943U JP 4114989 U JP4114989 U JP 4114989U JP 4114989 U JP4114989 U JP 4114989U JP H02132943 U JPH02132943 U JP H02132943U
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  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案水切乾燥装置の実施の一例を示
した要部の縦断面図、第２図は同縦断面図でロー
ター内に軸支配設されたクレードルを押し上げて
水平に保つ状態を示す、第３図は従来例を示す縦
断面図である。 尚、図中、Ａ……装置本体、ａ１……ローター
ケース、ａ２……ローター、ａ３……駆動軸、ａ
４……クレードル、１……キヤリア、２……軸支
部、３……突上げローラー、４……昇降軸、１２
……押上げ板、１３……ローラーテイングユニオ
ン、１４……昇降駆動機（シリンダー１７）。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ローターケース内にローターを設置し、該ロー
    ターをローターケースの底面中心部より貫通突出
    させて同ケース内に臨ませた駆動軸の上端に取付
    けて回動可能に軸支し、該ローター内にウエハー
    が収容されたキヤリアを収納保持させる複数のク
    レードルを、前記駆動軸の軸芯線上における同ロ
    ーターの中心部に向けた対向関係で軸支配設せし
    めてその軸支部を支点に各クレードルの対向側を
    上下傾動自在にならせしめてなる水切乾燥装置に
    於いて、前記各クレードルの上下傾動自在な対向
    側に突上げローラーを夫々取付け、駆動軸には内
    部軸芯を挿通させて回転方向に係合連結自在とし
    且つ軸方向にスライド自在とした昇降軸を上下端
    貫通状に挿設し、この昇降軸のローター内に突出
    する上端に各クレードルの突上げローラーに突き
    当り各クレードルの対向側を押し上げる押上げ板
    を取付けると共に、昇降軸の下端にはローテーテ
    イングユニオンを介して昇降駆動機を連結したこ
    とを特徴とするウエハーの水切乾燥装置。
JP1989041149U 1989-04-07 1989-04-07 ウエハーの水切乾燥装置 Expired - Fee Related JP2530285Y2 (ja)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS617028U (ja) * 1984-06-15 1986-01-16 黒谷 巌 半導体材料の水切乾燥装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS617028U (ja) * 1984-06-15 1986-01-16 黒谷 巌 半導体材料の水切乾燥装置

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