JPH02135809U - - Google Patents

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JPH02135809U
JPH02135809U JP4503489U JP4503489U JPH02135809U JP H02135809 U JPH02135809 U JP H02135809U JP 4503489 U JP4503489 U JP 4503489U JP 4503489 U JP4503489 U JP 4503489U JP H02135809 U JPH02135809 U JP H02135809U
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JP
Japan
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light
plunger
light beam
amount
casing
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JP4503489U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の光学式タツチセンサの一実施
例の概略説明図、第2図は受光部の説明図、第3
図は演算値とプランジヤの変位との相関関係の説
明図、第4図及び第5図は従来のタツチセンサの
要部断面図である。 3…演算部、9…プランジヤ、9a…基端、9
b…スプリング(バネ手段)、11e…円筒レン
ズ、11f…受光部、11f,11f,11
,11f…受光素子、w…被測定物。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ケーシングより出没して被測定物に当接す
    る先端を有し、かつケーシングより突出方向へバ
    ネ手段により付勢されたプランジヤの変位量によ
    り被測定物の測定部位の位置を検出するタツチセ
    ンサにおいて、プランジヤの基端に向けて光ビー
    ムを放出する光源と、この基端により反射される
    光ビームを検出する受光部と、受光部で検出した
    光ビームの光量検出値に基づいてプランジヤの変
    位量を演算する演算部を具備することを特徴とす
    る光学式タツチセンサ。 (2) ケーシングより出没して被測定物に当接す
    る先端を有し、かつケーシングより突出方向へバ
    ネ手段により付勢されたプランジヤの変位量によ
    り被測定物の測定部位の位置を検出するタツチセ
    ンサにおいて、プランジヤの基端に向けて光ビー
    ムを放出する光源と、この光ビームを集光する対
    物レンズと、基端により反射される光ビームが上
    記対物レンズにて集光される経路中に設けたビー
    ムスプリツタおよび円筒レンズと、円筒レンズを
    透過した光ビームの光量を各々検出する4分割の
    受光素子を有する受光部とを設け、公知の焦点位
    置検出方式の非点収差法を形成し、各々の受光素
    子の光量検出値より、公知の演算によりプランジ
    ヤの変位量を求める演算部を具備することを特徴
    とする光学式タツチセンサ。
JP4503489U 1989-04-19 1989-04-19 Pending JPH02135809U (ja)

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JP4503489U JPH02135809U (ja) 1989-04-19 1989-04-19

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