JPH0291908U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0291908U JPH0291908U JP17039988U JP17039988U JPH0291908U JP H0291908 U JPH0291908 U JP H0291908U JP 17039988 U JP17039988 U JP 17039988U JP 17039988 U JP17039988 U JP 17039988U JP H0291908 U JPH0291908 U JP H0291908U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- light
- light beam
- reflected
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案に係る表面形状測定装置の実施
例を示す断面図、第２図は同実施例におけるフー
コープリズム及び受光素子を示す平面図、第３図
は第２図の−線に沿う略示断面図、第４図は
同実施例の検出器を示す回路図、第５図は同実施
例の受光素子の出力信号を示す線図、第６図は従
来の表面形状測定装置を示す断面図である。 １０……光ビーム、１１……光軸、１２……光
源、１４……被測定物、１４Ａ……被測定表面、
１６……対物レンズ、１８……フーコープリズム
、２０，２２，２４，２６……受光素子、２８…
…検出器。
例を示す断面図、第２図は同実施例におけるフー
コープリズム及び受光素子を示す平面図、第３図
は第２図の−線に沿う略示断面図、第４図は
同実施例の検出器を示す回路図、第５図は同実施
例の受光素子の出力信号を示す線図、第６図は従
来の表面形状測定装置を示す断面図である。 １０……光ビーム、１１……光軸、１２……光
源、１４……被測定物、１４Ａ……被測定表面、
１６……対物レンズ、１８……フーコープリズム
、２０，２２，２４，２６……受光素子、２８…
…検出器。
Claims (1)
- 光ビームを放射する光源と、被測定物の被測定
表面に対向して配置され、該被測定表面と略直交
する前記光ビームの光路上に光軸を備えた対物レ
ンズと；この対物レンズに対して前記被測定物の
反対側に配置され、前記光ビームが前記光路を通
つて前記被測定表面に直進し、且つ、該被測定表
面で反射されて形成され、前記対物レンズを通つ
た反射光を集光させる３角錐以上の多角錐形のフ
ーコープリズムと；前記反射光がこのフーコープ
リズムにより集光される３個以上の光スポツトの
位置に配置された３個以上の受光素子と；これら
受光素子上の前記反射光の光スポツト位置変化に
基づく出力信号の変化により、前記被測定表面の
前記光軸方向の変位量及び被測定表面の傾きを検
出する検出器と；を有してなる表面形状測定装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17039988U JPH0291908U (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17039988U JPH0291908U (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0291908U true JPH0291908U (ja) | 1990-07-20 |
Family
ID=31461305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17039988U Pending JPH0291908U (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0291908U (ja) |
-
1988
- 1988-12-29 JP JP17039988U patent/JPH0291908U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5011287A (en) | Interferometer object position measuring system and device | |
| JPH0140035Y2 (ja) | ||
| JPH0291908U (ja) | ||
| JPS6432105A (en) | Angle deviation measuring instrument for flat plate member | |
| JPS58135405A (ja) | 光電式変位検出装置 | |
| EP0192721A1 (en) | Position sensing apparatus | |
| JPH0721409B2 (ja) | 光学的距離検出装置 | |
| JPH0729452Y2 (ja) | 変位測定装置 | |
| JPH0262184B2 (ja) | ||
| JPH0316630U (ja) | ||
| JPH022611U (ja) | ||
| JPH0316017U (ja) | ||
| JPH01144808U (ja) | ||
| JPS6323765Y2 (ja) | ||
| JPH0395906U (ja) | ||
| JPH0365953U (ja) | ||
| JPH0214005U (ja) | ||
| JPH0355908Y2 (ja) | ||
| JPS6134117U (ja) | 距離検出装置における投光光学系 | |
| JPH0268321U (ja) | ||
| JPH02126111U (ja) | ||
| JPH03252519A (ja) | ミクロン変位計 | |
| JPS645108U (ja) | ||
| JPH01104507U (ja) | ||
| JPH01151232U (ja) |