JPH02137777A - セラミックスの接合方法 - Google Patents
セラミックスの接合方法Info
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- JPH02137777A JPH02137777A JP29170088A JP29170088A JPH02137777A JP H02137777 A JPH02137777 A JP H02137777A JP 29170088 A JP29170088 A JP 29170088A JP 29170088 A JP29170088 A JP 29170088A JP H02137777 A JPH02137777 A JP H02137777A
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- zirconia
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
a、 産業上の利用分野
本発明はアルミナを含む複合セラミックスの接合方法に
関する。
関する。
b、 従来の技術と解決しようとするyg題アルミナ(
^1 zOs)は、その電気絶縁性のため点火プラグ、
IC基板等に数多く使用されている。そのため大量生産
されておりコストが安いというメリットがあるが、靭性
が低く構造材料としての応用範囲はかなり限定されてい
る。近年、ジルコニア(ZrO□)添加によるアルミナ
の高強度、高靭性化が盛んに行われているが、コストの
上昇を招来するという問題点がある。また、セラミック
ス同志の拡散による接合は従来から行われているが、セ
ラミックスがある温度域で容易に塑性変形することを利
用した例はない。従来の技術では接合面における接触面
積を大きくするため、平滑な接合面と大きな圧力を必要
とし、迅速な接合が行えなかった。
^1 zOs)は、その電気絶縁性のため点火プラグ、
IC基板等に数多く使用されている。そのため大量生産
されておりコストが安いというメリットがあるが、靭性
が低く構造材料としての応用範囲はかなり限定されてい
る。近年、ジルコニア(ZrO□)添加によるアルミナ
の高強度、高靭性化が盛んに行われているが、コストの
上昇を招来するという問題点がある。また、セラミック
ス同志の拡散による接合は従来から行われているが、セ
ラミックスがある温度域で容易に塑性変形することを利
用した例はない。従来の技術では接合面における接触面
積を大きくするため、平滑な接合面と大きな圧力を必要
とし、迅速な接合が行えなかった。
また、熱間静水圧プレス(IIIP) 、あるいは熱間
プレス(+I P )により焼結されたアルミナ/ジル
コニア複合セラミックスは高強度セラミックスとして注
目されているが、これらの焼結法は高温で高圧を必要と
するため、大きなものを焼結する場合には、装置および
技術面において困難な点が多い。
プレス(+I P )により焼結されたアルミナ/ジル
コニア複合セラミックスは高強度セラミックスとして注
目されているが、これらの焼結法は高温で高圧を必要と
するため、大きなものを焼結する場合には、装置および
技術面において困難な点が多い。
また、近年、アルミナにSic ウィスカー等を分散さ
せることにより、高強度、高靭性化がはかられている。
せることにより、高強度、高靭性化がはかられている。
ところが、Sic ウィスカー、ファイバーは高価であ
るため、これらで分散強化をおこなうと、コストが大幅
に上昇するとともに、焼結性が著しく低下し、大きな焼
結体を得ることが困難であった。
るため、これらで分散強化をおこなうと、コストが大幅
に上昇するとともに、焼結性が著しく低下し、大きな焼
結体を得ることが困難であった。
C1課題を解決するための手段
本発明は前記事情に鑑み”ζなされたもので、前記課題
を解決してなるセラミックスの接合方法を提供しようと
するものである。
を解決してなるセラミックスの接合方法を提供しようと
するものである。
すなわち、本発明においてはアルミナ/ジルコニア複合
セラミックスとアルミナとの接合、l−11Pあるいは
IIPにより焼結されたアルミナ/ジルコニア複合セラ
ミックス同志、あるいは、この複合セラミックスと常圧
焼結されたアルミナ/ジルコニア複合セラミックスとの
接合、層状に重ねた組成の異なるアルミナ/ジルコニア
複合セラミックスと、この層状複合セラミックスを介設
しておこなうアルミナとジルコニアの接合、アルミナと
、アルミナ/ウィスカーあるいはファイバー複合セラミ
ックスとの接合について本発明の方法を適用するもので
ある。
セラミックスとアルミナとの接合、l−11Pあるいは
IIPにより焼結されたアルミナ/ジルコニア複合セラ
ミックス同志、あるいは、この複合セラミックスと常圧
焼結されたアルミナ/ジルコニア複合セラミックスとの
接合、層状に重ねた組成の異なるアルミナ/ジルコニア
複合セラミックスと、この層状複合セラミックスを介設
しておこなうアルミナとジルコニアの接合、アルミナと
、アルミナ/ウィスカーあるいはファイバー複合セラミ
ックスとの接合について本発明の方法を適用するもので
ある。
本発明はアルミナを含む複合セラミックスの接合条件を
温度1000〜1600℃1加圧応力15kg/預1以
下、歪速度lU”/sec以下、結晶粒径アルミナ3μ
−以下として、拡散により接合することによって前記課
題を解消した。
温度1000〜1600℃1加圧応力15kg/預1以
下、歪速度lU”/sec以下、結晶粒径アルミナ3μ
−以下として、拡散により接合することによって前記課
題を解消した。
さらに互いに組成の近(以したアルミナ/ジルコニア複
合セラミックスを複数層に重ね、これをアルミナとジル
コニアの間に介設して、前記接合条件により一体に接合
することによって前記課題を解消した。
合セラミックスを複数層に重ね、これをアルミナとジル
コニアの間に介設して、前記接合条件により一体に接合
することによって前記課題を解消した。
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。
に説明する。
本発明の方法を適用する第1の対象としてアルミナ/ジ
ルコニア複合セラミックスとアルミナの接合について述
べる。
ルコニア複合セラミックスとアルミナの接合について述
べる。
本発明ではアルミナの複合セラミックスとして、アルミ
ナ/ジルコニア複合セラミックスを用いる。
ナ/ジルコニア複合セラミックスを用いる。
このアルミナ/ジルコニア複合セラミックスは、そのな
かにSic粒子あるいはSicファイバー、ウィスカー
等を含むものでもよい、結晶粒の粒径は、アルミナ、ジ
ルコニアともに3μ−以下であることがよく、2μ慨以
下であることがより好ましい。
かにSic粒子あるいはSicファイバー、ウィスカー
等を含むものでもよい、結晶粒の粒径は、アルミナ、ジ
ルコニアともに3μ−以下であることがよく、2μ慨以
下であることがより好ましい。
結晶粒が3μ隅を越える場合は、容易に塑性変形せず、
加圧中にクランクが生ずるおそれがある。
加圧中にクランクが生ずるおそれがある。
一方、接合されるアルミナとして、大気中で例えば約1
600’Cで焼結されたアルミナ焼結晶を用いる。
600’Cで焼結されたアルミナ焼結晶を用いる。
アルミナ/ジルコニア複合セラミックスと、これと接合
するアルミナとは1000〜1600℃の接合温度範囲
をもって接合する。 1000°C未満の接合温度では
容易に塑性変形しないため不可である。また1600°
Cを超える接合温度になると結晶粒の成長が著しく弱く
なり、完全な接合ができない。
するアルミナとは1000〜1600℃の接合温度範囲
をもって接合する。 1000°C未満の接合温度では
容易に塑性変形しないため不可である。また1600°
Cを超える接合温度になると結晶粒の成長が著しく弱く
なり、完全な接合ができない。
加圧条件は、変形応力が15kg/am”以下であって
、その加圧時の変形速度はI X 10−’/sec以
下とする。変形応力が15kg/as”以上となると、
加圧中にクランクが発生する。また変形速度をI X
10−’/sec以上とすると結晶粒界にキャビティの
生成と成長が著しくなり、強度が低下する。
、その加圧時の変形速度はI X 10−’/sec以
下とする。変形応力が15kg/as”以上となると、
加圧中にクランクが発生する。また変形速度をI X
10−’/sec以上とすると結晶粒界にキャビティの
生成と成長が著しくなり、強度が低下する。
次に本発明の方法を適用する第2の対象としてアルミナ
/ジルコニア複合セラミックス同志の接合に用いる。す
なわち、HIP もしくはIIPにより焼結される高強
度、高靭性アルミナ/ジルコニア複合セラミックス同志
、もしくはこの複合セラミックスと常圧焼結されたアル
ミナ/ジルコニア複合セラミックスを接合するものであ
る。
/ジルコニア複合セラミックス同志の接合に用いる。す
なわち、HIP もしくはIIPにより焼結される高強
度、高靭性アルミナ/ジルコニア複合セラミックス同志
、もしくはこの複合セラミックスと常圧焼結されたアル
ミナ/ジルコニア複合セラミックスを接合するものであ
る。
この接合対象の接合方法は前記第1の対象の場合と同一
の条件によっておこなえばよい。
の条件によっておこなえばよい。
また、本発明の方法を適用する第3の対象は、組成の近
似した複数のアルミナ/ジルコニア複合セラミックスを
層状に重ね、これを介してアルミナとジルコニアとを接
合するものである。
似した複数のアルミナ/ジルコニア複合セラミックスを
層状に重ね、これを介してアルミナとジルコニアとを接
合するものである。
すなわち、アルミナ/ジルコニア複合セラミックスは、
アルミナと直接々合する側において、アルミナの組成の
多い複合セラミックスとし、ジルコニアと直接々合する
側においてジルコニアの組成の多い複合セラミックスと
して、このいくつかの組成の異なる複数のアルミナ/ジ
ルコニア複合セラミックスを重ねて、層状のアルミナ/
ジルコニア複合セラミックスとして、この複合セラミッ
クスを介設してアルミナとジルコニアとを接合するもの
である。
アルミナと直接々合する側において、アルミナの組成の
多い複合セラミックスとし、ジルコニアと直接々合する
側においてジルコニアの組成の多い複合セラミックスと
して、このいくつかの組成の異なる複数のアルミナ/ジ
ルコニア複合セラミックスを重ねて、層状のアルミナ/
ジルコニア複合セラミックスとして、この複合セラミッ
クスを介設してアルミナとジルコニアとを接合するもの
である。
この接合対象の接合要領は前記第1の対象における接合
条件と同様である。
条件と同様である。
さらに、本発明の方法における第4の対象は、アルミナ
と、Sic ウィスカー、ファイバー等を分散したアル
ミナ複合セラミックスとを接合するものである。
と、Sic ウィスカー、ファイバー等を分散したアル
ミナ複合セラミックスとを接合するものである。
その接合条件は前記第1の対象の場合と同じに処理すれ
ばよい。
ばよい。
d、 実施例
実施例1 第1図に示すように冷間静水圧プレスにより
成形され大気中1600°Cで焼結されたアルミナ (
材寸25X20X15曜)1aと、冷間静水圧プレスに
より大気中1600℃で焼結されたイツトリアを3モル
%固溶したジルコニアを15体積%含んだアルミナ/ジ
ルコニア複合セラミ ックス (材寸25X20X15ms) 2aとを、第
1図に示す要領で当接し接合した。
成形され大気中1600°Cで焼結されたアルミナ (
材寸25X20X15曜)1aと、冷間静水圧プレスに
より大気中1600℃で焼結されたイツトリアを3モル
%固溶したジルコニアを15体積%含んだアルミナ/ジ
ルコニア複合セラミ ックス (材寸25X20X15ms) 2aとを、第
1図に示す要領で当接し接合した。
接合条件は大気中14SO’C,圧縮速度0.05m/
m111.変形11 m (加圧方向)とした。
m111.変形11 m (加圧方向)とした。
また、接合前の曲げ強度はアルミナ
が4 Q kg / −II ” 、 アルミナ/ジ
ルコニア複合セラミックスが70kg/s+m”である
、接合強度を求めるため接合体から3×4 ×401の曲げ試験片に加工し、JrSR1601に従
って4点曲げ試験を行った。求め られた接合強度は約30 kg / m s ”であり
、これはアルミナ単味の約80%という高い値を示した
。
ルコニア複合セラミックスが70kg/s+m”である
、接合強度を求めるため接合体から3×4 ×401の曲げ試験片に加工し、JrSR1601に従
って4点曲げ試験を行った。求め られた接合強度は約30 kg / m s ”であり
、これはアルミナ単味の約80%という高い値を示した
。
実施例2 アルゴンガス中1500°C、100MPa
で熱間静水圧プレスにより焼結されたアル ミナを20重量%含んだイツトリア3モル%固溶ジルコ
ニア/アルミナ複合セ ラミックス (材寸25 x 20 X 15m>同志
lb、 2bを、第1図に示す要領で当接し接合した。
で熱間静水圧プレスにより焼結されたアル ミナを20重量%含んだイツトリア3モル%固溶ジルコ
ニア/アルミナ複合セ ラミックス (材寸25 x 20 X 15m>同志
lb、 2bを、第1図に示す要領で当接し接合した。
また、接合条件は大気中
1450°C1圧縮速度0.05mm/l1in、変形
量2m5(加圧方向)とした。
量2m5(加圧方向)とした。
接合前の曲げ強度は約180 kg/am”である、接
合強度を求めるため接合体か ら3 x 4 ×40mの曲げ試験片に加工し、JrS
[601に従って4点曲げ試験を行った。求められた接
合強度は約80kg/I”と高い強度を示した。
合強度を求めるため接合体か ら3 x 4 ×40mの曲げ試験片に加工し、JrS
[601に従って4点曲げ試験を行った。求められた接
合強度は約80kg/I”と高い強度を示した。
実施例3 アルゴンガス中1550”C、100MPa
で熱間静水圧プレスにより焼結されたアル ミナを80重量%含んだイツトリア3モル%固溶ジルコ
ニア/アルミナ複合セ ラミックスと、冷間静水圧プレスによ り成形され、大気中1600°Cで常圧焼結されたアル
ミナを80重量%含んだイツト9フ3 ミナ複合セラミックスとを接合した。
で熱間静水圧プレスにより焼結されたアル ミナを80重量%含んだイツトリア3モル%固溶ジルコ
ニア/アルミナ複合セ ラミックスと、冷間静水圧プレスによ り成形され、大気中1600°Cで常圧焼結されたアル
ミナを80重量%含んだイツト9フ3 ミナ複合セラミックスとを接合した。
材寸および接合条件は実施例2と同
様である。
接合前の曲げ強度は熱間静水圧プレ
スしたものが約100 kg/ms富,常圧焼結したも
のが約7 0 kg / m * ”である。接合強度
を求めるため実施例2と同様に曲げ 試験を行った.求められた接合強度は 約50kg/ms”と高い強度を示した。
のが約7 0 kg / m * ”である。接合強度
を求めるため実施例2と同様に曲げ 試験を行った.求められた接合強度は 約50kg/ms”と高い強度を示した。
実施例4 第2図に示すようにアルミナ(材寸20 X
25 X 15m) 3とイツトリア3モル%固溶
した部分安定化ジルコニア (材寸20X25X15m
)7との間に、組成を変えたイツトリア3モル%固溶ジ
ルコ ニア/アルミナ複合セラミックス (材寸20X25X
3■)を3層インサートし接合した。すなわち、イツト
リア3モ ル%固溶ジルコニア25νo1%/アルミナ75 vo
1%複合セラミックス4と、イツトリア3モル%固溶ジ
ルコニア50vo 1%/アルミナ50 vo1%複合
セラミックス5と、イツトリア3モル%固溶ジル コニア75 vo1%/アルミナ25vol %複合セ
ラミックス6とを重ねて接合した。
25 X 15m) 3とイツトリア3モル%固溶
した部分安定化ジルコニア (材寸20X25X15m
)7との間に、組成を変えたイツトリア3モル%固溶ジ
ルコ ニア/アルミナ複合セラミックス (材寸20X25X
3■)を3層インサートし接合した。すなわち、イツト
リア3モ ル%固溶ジルコニア25νo1%/アルミナ75 vo
1%複合セラミックス4と、イツトリア3モル%固溶ジ
ルコニア50vo 1%/アルミナ50 vo1%複合
セラミックス5と、イツトリア3モル%固溶ジル コニア75 vo1%/アルミナ25vol %複合セ
ラミックス6とを重ねて接合した。
接合条件は大気中1500°C1圧縮速度0.05w/
sin、全体の変形12 ttta (加圧方向)とし
た。
sin、全体の変形12 ttta (加圧方向)とし
た。
また、接合前の曲げ強度はアルミナ
が40 b / m m″、イツトリア3モル%固溶ジ
ルコニア25 vo1%/アルミナ75 vo1%が約
70kg/wm”、 イツトリア3モル%固溶ジルコ
ニア50 vo1%/アルミナ50vo1%が約100
kg/m+w”、 イツトリア3モル%固溶ジルコ
ニア75 vo1%/アルミナ25 vo1%/が約1
20 kg/ms”、 イツトリア3モル%固溶部分
安定化ジルコ ニアが約100 kg/am”であった。
ルコニア25 vo1%/アルミナ75 vo1%が約
70kg/wm”、 イツトリア3モル%固溶ジルコ
ニア50 vo1%/アルミナ50vo1%が約100
kg/m+w”、 イツトリア3モル%固溶ジルコ
ニア75 vo1%/アルミナ25 vo1%/が約1
20 kg/ms”、 イツトリア3モル%固溶部分
安定化ジルコ ニアが約100 kg/am”であった。
接合強度を求めるため接合体を加工
して3 X 4 X40mの曲げ試験片を作り、JIS
R1601に定める方法に従って4点曲げ試験を行った
ところ約30kg/sum”と高い接合強度が得られた
。
R1601に定める方法に従って4点曲げ試験を行った
ところ約30kg/sum”と高い接合強度が得られた
。
実施例5 冷間静水圧プレスにより成形され、大気中1
600°Cで焼結されたアルミナ(材寸25 X 20
X 15W)ICと、アルゴンガス中1800°C,
30MPaで熱間プレスにより焼結させたSicウィス
カーを20vo1%含んだアルミナ/Sicウィスカー
複合セラミックス (材寸25 X 20 X 15
m >2cとを第1図に示す要領で当接し、接合 した。
600°Cで焼結されたアルミナ(材寸25 X 20
X 15W)ICと、アルゴンガス中1800°C,
30MPaで熱間プレスにより焼結させたSicウィス
カーを20vo1%含んだアルミナ/Sicウィスカー
複合セラミックス (材寸25 X 20 X 15
m >2cとを第1図に示す要領で当接し、接合 した。
接合条件は大気中1500℃、圧縮速度0.05w/s
in、変形11 tm (加圧方向)とした。
in、変形11 tm (加圧方向)とした。
また、接合前の曲げ強度はアルミナ
が約40kg/as”、 アルミナ/ S i c
ウィスカー複合セラミックスが約60kg/ms”であ
った。
ウィスカー複合セラミックスが約60kg/ms”であ
った。
接合強度を求めるため接合体を加工
して3 X 4 x40mmの曲げ試験片を作りJrS
R1601に定める方法に従って4点曲げ試験を行った
。求められた接合強度 は約30kg/lll1zとアルミナ単味の約80%と
いう高い値を示した。
R1601に定める方法に従って4点曲げ試験を行った
。求められた接合強度 は約30kg/lll1zとアルミナ単味の約80%と
いう高い値を示した。
e、 発明の効果
以上、本発明の方法により次のような効果かえられる。
■ 第1.第3.第4の各適用対象によって低コストで
ありながら強度と靭性が低いため適用範囲が限られてい
たアルミナの応用範囲を大幅に広げることができ、工業
的価値は極めて大である。
ありながら強度と靭性が低いため適用範囲が限られてい
たアルミナの応用範囲を大幅に広げることができ、工業
的価値は極めて大である。
■ また第2の適用対象によってIIIP もしくはH
Pにより焼結される高強度、高靭性の複合セラミックス
を容易に大型化することができ、上記と同様な効果かえ
られる。
Pにより焼結される高強度、高靭性の複合セラミックス
を容易に大型化することができ、上記と同様な効果かえ
られる。
■ いずれの適用対象においても、塑性変形により接触
面積が急速に増加するため従来の拡散接合に比べ、すば
やく接合でき接合面の表面粗さの影響も少ない、しかも
低い応力で容易に変形するため加圧する圧力も小さくて
良い。
面積が急速に増加するため従来の拡散接合に比べ、すば
やく接合でき接合面の表面粗さの影響も少ない、しかも
低い応力で容易に変形するため加圧する圧力も小さくて
良い。
■ 第1.第2.第3の適用対象において、必要な部分
のみ高強度、高靭性化することが可能となり、全体をジ
ルコニアで強化することに比べて大幅なコストダウンに
つながる。また第4の適用対象においても、Sicウィ
スカー等で強化することに比べて大幅なコストダウンに
つながる。
のみ高強度、高靭性化することが可能となり、全体をジ
ルコニアで強化することに比べて大幅なコストダウンに
つながる。また第4の適用対象においても、Sicウィ
スカー等で強化することに比べて大幅なコストダウンに
つながる。
■ 第3の適用対象において、ジルコニアは熱膨張係数
が大きいため、金属との嵌合に適しており、ジルコニア
を介してアルミナと金属との接合も可能となる。
が大きいため、金属との嵌合に適しており、ジルコニア
を介してアルミナと金属との接合も可能となる。
第1図及び第2図は、本発明に係るセラミックスの接合
方法の接合要領を説明する説明図である。 la・IC・・・アルミナ、 1b・・・ジルコニア/アルミナ複合セラミ・ノクス、
2a・2b・・・アルミナ/ジルコニア複合セラミック
ス、 2c・・・アルミナ/Sicウィスカー複合セラミ・ノ
クス、 3・・・アルミナ、 4.5.6・・・アルミナ/ジルコニア複合セラミック
ス、 7・・・ジルコニア。 第1図 第2図 ↓ 手 続 主甫 正 書 (自発) 1゜ 2゜ 事件の表示 昭和63年特許願第291700号 発明の名称 セラミックスの接合方法 3゜ 補正をする者 事件との関係 名称 (208)
方法の接合要領を説明する説明図である。 la・IC・・・アルミナ、 1b・・・ジルコニア/アルミナ複合セラミ・ノクス、
2a・2b・・・アルミナ/ジルコニア複合セラミック
ス、 2c・・・アルミナ/Sicウィスカー複合セラミ・ノ
クス、 3・・・アルミナ、 4.5.6・・・アルミナ/ジルコニア複合セラミック
ス、 7・・・ジルコニア。 第1図 第2図 ↓ 手 続 主甫 正 書 (自発) 1゜ 2゜ 事件の表示 昭和63年特許願第291700号 発明の名称 セラミックスの接合方法 3゜ 補正をする者 事件との関係 名称 (208)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)アルミナを含む複合セラミックスの接合条件を、 温度1000〜1600℃ 加圧応力15kg/mm^2以下、 歪速度10^−^3/sec以下、 結晶粒径アルミナ3μm以下 として、拡散により接合することを特徴とするセラミッ
クスの接合方法。 2)接合するセラミックスが、アルミナ/ジルコニア複
合セラミックス同志、またはその一方または両方が高強
度の複合セラミックス、またはアルミナ/ジルコニア複
合セラミックスとアルミナ、またはアルミナ/ジルコニ
ア複合セラミックスとジルコニア、またはアルミナとウ
ィスカーあるいはファイバーを含む複合セラミックスで
あることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載のセ
ラミックスの接合方法。 3)互いに組成の近似したアルミナ/ジルコニア複合セ
ラミックスを複数層に重ね、これをアルミナとジルコニ
アの間に介設して前記接合条件により一体に接合するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載のセラミッ
クスの接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29170088A JP2803111B2 (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | セラミックスの接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29170088A JP2803111B2 (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | セラミックスの接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02137777A true JPH02137777A (ja) | 1990-05-28 |
| JP2803111B2 JP2803111B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=17772268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29170088A Expired - Lifetime JP2803111B2 (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | セラミックスの接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2803111B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5447618A (en) * | 1993-04-13 | 1995-09-05 | Nippondenso Co., Ltd. | Oxygen sensor |
| US5660661A (en) * | 1993-04-13 | 1997-08-26 | Nippondenso Co., Ltd. | Oxygen sensor |
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| DE4412525B4 (de) * | 1993-04-13 | 2005-05-25 | Denso Corp., Kariya | Sauerstoffsensor |
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-
1988
- 1988-11-18 JP JP29170088A patent/JP2803111B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JPWO2021141056A1 (ja) * | 2020-01-10 | 2021-07-15 | ||
| WO2021141056A1 (ja) * | 2020-01-10 | 2021-07-15 | 京セラ株式会社 | セラミック接合体、セラミック接合体の製造方法、流路切替弁用ステータおよび流路切替弁 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2803111B2 (ja) | 1998-09-24 |
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