JPH0213831A - 顕微分光装置の光学系 - Google Patents
顕微分光装置の光学系Info
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- JPH0213831A JPH0213831A JP16466888A JP16466888A JPH0213831A JP H0213831 A JPH0213831 A JP H0213831A JP 16466888 A JP16466888 A JP 16466888A JP 16466888 A JP16466888 A JP 16466888A JP H0213831 A JPH0213831 A JP H0213831A
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- optical system
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0229—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using masks, aperture plates, spatial light modulators or spatial filters, e.g. reflective filters
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、試料へ細く収束させたｎＪ定光を照射し、試
料の限られた狭い領域について分光測定を行う顕微分光
ａｐｌ定装蓋装置学系に関するものである。
料の限られた狭い領域について分光測定を行う顕微分光
ａｐｌ定装蓋装置学系に関するものである。
［従来技術］
第３図は、透過スペクトルを得るために従来がらある顕
微赤外分光装置の光学系を示す。第３図において、１は
試料、２は入射測定光Ｌ１を試料１上に細く収束するた
めのカセグレン型集光鏡、３は出射ａｌＪ定光Ｌｏを集
光するためのカセグレン型集光鏡、４は測定視野を規定
するための視野絞りである。この第３図の構成が例えば
赤外干渉分光計の光路内に挿入される。
微赤外分光装置の光学系を示す。第３図において、１は
試料、２は入射測定光Ｌ１を試料１上に細く収束するた
めのカセグレン型集光鏡、３は出射ａｌＪ定光Ｌｏを集
光するためのカセグレン型集光鏡、４は測定視野を規定
するための視野絞りである。この第３図の構成が例えば
赤外干渉分光計の光路内に挿入される。
上記光学系では、第４図（ａ）に示されているように、
視野絞り４の像４′が試料１上に形成されるように集光
鏡２と試料１と視野絞り４の位置関係が調整される。こ
れにより、試料上の視野絞りの像４′の開口部Ｐの部分
から発生した光のみが絞り４を通過し、試料の他の部分
からの光は視野絞り４を通過することができない。その
ため、試料の限られた領域についてのみ分光測定を行う
ことができる。
視野絞り４の像４′が試料１上に形成されるように集光
鏡２と試料１と視野絞り４の位置関係が調整される。こ
れにより、試料上の視野絞りの像４′の開口部Ｐの部分
から発生した光のみが絞り４を通過し、試料の他の部分
からの光は視野絞り４を通過することができない。その
ため、試料の限られた領域についてのみ分光測定を行う
ことができる。
［発明が解決しようとする課ｊｌコ
この様な従来装置では、試料が薄い場合には問題がない
が、厚い試料の場合、視野絞りを十分に絞っても、試料
の下面の広い範囲から試料内へ入射した光が視野絞りを
通過することになる。従って、視野絞りを通過した光は
、第４図（ｂ）において斜線を施した広い領域の情報を
持つことになり、狭い領域の測定を行うことができなく
なってしまう。
が、厚い試料の場合、視野絞りを十分に絞っても、試料
の下面の広い範囲から試料内へ入射した光が視野絞りを
通過することになる。従って、視野絞りを通過した光は
、第４図（ｂ）において斜線を施した広い領域の情報を
持つことになり、狭い領域の測定を行うことができなく
なってしまう。
本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであり
、厚い試料であっても狭い領域について分光測定を行な
うことのできる顕微分光装置の光学系を提供することを
目的としている。
、厚い試料であっても狭い領域について分光測定を行な
うことのできる顕微分光装置の光学系を提供することを
目的としている。
［課題を解決するための手段］
この目的を達成するため、本発明の光学系は、試料表面
へ測定光を収束照射するための第１の集光手段と、該照
射測定光の光路上に配置される前置視野絞りと、該試料
を透過し裏面から出射した出射測定光を集光するための
第２の集光手段と、該出射測定光の光路上に配置される
後置視野絞りとを備え、前記第１の集光手段により前記
前置視野絞りの像が試料の表面状に結像され、かつ前記
第２の集光手段により前記後置視野絞りの像が試料の裏
面に結像されるように構成したことを特徴としている。
へ測定光を収束照射するための第１の集光手段と、該照
射測定光の光路上に配置される前置視野絞りと、該試料
を透過し裏面から出射した出射測定光を集光するための
第２の集光手段と、該出射測定光の光路上に配置される
後置視野絞りとを備え、前記第１の集光手段により前記
前置視野絞りの像が試料の表面状に結像され、かつ前記
第２の集光手段により前記後置視野絞りの像が試料の裏
面に結像されるように構成したことを特徴としている。
［作用］
本発明の光学系では、測定光を試料に照射する光学系に
前置視野絞りを設置し、この前置視野絞りの像が試料の
表面に結像されるように構成する。
前置視野絞りを設置し、この前置視野絞りの像が試料の
表面に結像されるように構成する。
これにより、測定光の入射範囲を従来からある後置視野
絞りに対応して絞ることができるため、厚い試料であっ
ても狭い領域について分光測定を行うことができる。
絞りに対応して絞ることができるため、厚い試料であっ
ても狭い領域について分光測定を行うことができる。
以下、図面を用いて本発明を詳説する。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例を示す光学図であり、第３図
と同一の構成要素には同一番号が付されている。この第
１図の光学系が第３図の従来の光学系と異なるのは、照
射測定光の光路上に前置視野絞り５を配置し、集光鏡２
によりこの前置視野絞り５の像が試料の測定光入射面上
に結像されるように構成したことである。
と同一の構成要素には同一番号が付されている。この第
１図の光学系が第３図の従来の光学系と異なるのは、照
射測定光の光路上に前置視野絞り５を配置し、集光鏡２
によりこの前置視野絞り５の像が試料の測定光入射面上
に結像されるように構成したことである。
このようになせば、第２図に示すように、試料の測定光
入射面（第２図では下面）に前置視野絞り５の像５′が
結像され、一方、その裏面即ち試料の測定光出射面（第
２図では上面）には従来通り視野絞り（後置視野絞り）
４の像４′が結像される。その結果、視野絞り４を通過
する出射測定光は、第２図において斜線を施した部分を
通過しその部分の情報を持ったものとなる。この斜線を
施した領域は、第４図（ｂ）の従来例の場合に比べ明ら
かに狭くなっており、従って、本発明では、厚い試料で
あっても狭い領域について分光測定を行うことが可能で
ある。
入射面（第２図では下面）に前置視野絞り５の像５′が
結像され、一方、その裏面即ち試料の測定光出射面（第
２図では上面）には従来通り視野絞り（後置視野絞り）
４の像４′が結像される。その結果、視野絞り４を通過
する出射測定光は、第２図において斜線を施した部分を
通過しその部分の情報を持ったものとなる。この斜線を
施した領域は、第４図（ｂ）の従来例の場合に比べ明ら
かに狭くなっており、従って、本発明では、厚い試料で
あっても狭い領域について分光測定を行うことが可能で
ある。
尚、２つの視野絞りの像を試料の上面と下面に夫々結像
させるためには、一方の視野絞りと集光手段と試料との
相対関係を調節して一方の面に視野絞りの像を結像させ
、その条件を保持したまま他方の視野絞りと集光手段と
の相対関係を調節して他方の面に他方の視野絞りの像を
結像させ得るような試料及び光学系移動機構が必要であ
る。
させるためには、一方の視野絞りと集光手段と試料との
相対関係を調節して一方の面に視野絞りの像を結像させ
、その条件を保持したまま他方の視野絞りと集光手段と
の相対関係を調節して他方の面に他方の視野絞りの像を
結像させ得るような試料及び光学系移動機構が必要であ
る。
上記実施例ではカセグレン型集光鏡を用いたが、他の方
式の集光鏡や集光レンズを集光手段として用いることも
可能である。ただし、通常、出射側の集光手段は、測定
領域を観察するための可視光領域の集光手段としても使
用されるので、色収差がないカセグレン型集光鏡が有利
であり、他の集光手段を使用する場合には、その点を配
慮する必要がある。
式の集光鏡や集光レンズを集光手段として用いることも
可能である。ただし、通常、出射側の集光手段は、測定
領域を観察するための可視光領域の集光手段としても使
用されるので、色収差がないカセグレン型集光鏡が有利
であり、他の集光手段を使用する場合には、その点を配
慮する必要がある。
［効果］
以上詳述した如く、本発明によれば、厚い試料であって
も狭い領域について分光測定を行うことが可能な顕微分
光装置の光学系が実現される。
も狭い領域について分光測定を行うことが可能な顕微分
光装置の光学系が実現される。
第１図は本発明の一実施例を示す光学図、第２図は本発
明において試料の上面と下面に結像される視野絞りの像
及び測定領域を説明するための図、第３図は従来の光学
系を示す図、第４図は従来例において試料上に結像され
る視野絞りの像と測定領域を説明するための図である。 １：試料 ２，３：カセグレン型集光鏡４：視野絞
り ５：前置視野絞り （α） かり Ｃしつ
明において試料の上面と下面に結像される視野絞りの像
及び測定領域を説明するための図、第３図は従来の光学
系を示す図、第４図は従来例において試料上に結像され
る視野絞りの像と測定領域を説明するための図である。 １：試料 ２，３：カセグレン型集光鏡４：視野絞
り ５：前置視野絞り （α） かり Ｃしつ
Claims (1)
- 試料表面へ測定光を収束照射するための第１の集光手段
と、該照射測定光の光路上に配置される前置視野絞りと
、該試料を透過し裏面から出射した出射測定光を集光す
るための第２の集光手段と、該出射測定光の光路上に配
置される後置視野絞りとを備え、前記第１の集光手段に
より前記前置視野絞りの像が試料の表面状に結像され、
かつ前記第２の集光手段により前記後置視野絞りの像が
試料の裏面に結像されるように構成したことを特徴とす
る顕微分光装置の光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16466888A JPH0213831A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 顕微分光装置の光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16466888A JPH0213831A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 顕微分光装置の光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0213831A true JPH0213831A (ja) | 1990-01-18 |
Family
ID=15797557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16466888A Pending JPH0213831A (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | 顕微分光装置の光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0213831A (ja) |
-
1988
- 1988-07-01 JP JP16466888A patent/JPH0213831A/ja active Pending
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