JPH0524203Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0524203Y2 JPH0524203Y2 JP1986175030U JP17503086U JPH0524203Y2 JP H0524203 Y2 JPH0524203 Y2 JP H0524203Y2 JP 1986175030 U JP1986175030 U JP 1986175030U JP 17503086 U JP17503086 U JP 17503086U JP H0524203 Y2 JPH0524203 Y2 JP H0524203Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- light
- slit plate
- visible light
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案は、試料の微細部分に赤外光等を照射
し、該微細部分の赤外吸収スペクトル等を得るよ
うにした顕微分光装置に関する。
し、該微細部分の赤外吸収スペクトル等を得るよ
うにした顕微分光装置に関する。
［従来の技術］
例えば、顕微赤外分光計においては、試料に細
く絞つた赤外光を照射し、試料の微細部分を透過
あるいは反射した赤外光を検出し、該微細部分の
赤外スペクトルを得るようにしている。この場
合、単に赤外光を細く絞るだけではなく、微細部
分からの赤外光を検出器に導くため、スリツト板
で赤外光を制限している。
く絞つた赤外光を照射し、試料の微細部分を透過
あるいは反射した赤外光を検出し、該微細部分の
赤外スペクトルを得るようにしている。この場
合、単に赤外光を細く絞るだけではなく、微細部
分からの赤外光を検出器に導くため、スリツト板
で赤外光を制限している。
［考案が解決しようとする問題点］
顕微赤外分光計は、試料上の微細分析部分を選
択するため、試料上に可視光を照射し、試料の顕
微鏡像を観察するようにしている。しかしなが
ら、試料からの可視光は上記したスリツト板によ
つて遮蔽されてしまい、試料の全体像を見ながら
分析位置の選択を行うことができない。
択するため、試料上に可視光を照射し、試料の顕
微鏡像を観察するようにしている。しかしなが
ら、試料からの可視光は上記したスリツト板によ
つて遮蔽されてしまい、試料の全体像を見ながら
分析位置の選択を行うことができない。
本考案は、上述した点に鑑みてなされたもの
で、試料の観察を充分に行うことができる顕微分
光装置を提供することを目的としている。
で、試料の観察を充分に行うことができる顕微分
光装置を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
本考案に基づく顕微分光装置は、移動ステージ
上の試料に可視光以外の波長領域の光L1を照射
する光学系と、該試料を透過あるいは反射した光
L1を検出する検出器と、該検出器に向う光L1を
制限するスリツト板と、該試料に可視光L2を照
射するための光源と、該試料から放射され前記ス
リツト板を介して取り出された可視光L2が導入
される観察系とを備え、前記スリツト板により選
択された試料上の微細分析部分からの光L1のみ
が前記検出器へ導入されるようにした顕微分光装
置において、該スリツト板を該可視光以外の波長
領域の光L1を遮蔽し、可視光L2を透過する材料
によつて形成したことを特徴としている。
上の試料に可視光以外の波長領域の光L1を照射
する光学系と、該試料を透過あるいは反射した光
L1を検出する検出器と、該検出器に向う光L1を
制限するスリツト板と、該試料に可視光L2を照
射するための光源と、該試料から放射され前記ス
リツト板を介して取り出された可視光L2が導入
される観察系とを備え、前記スリツト板により選
択された試料上の微細分析部分からの光L1のみ
が前記検出器へ導入されるようにした顕微分光装
置において、該スリツト板を該可視光以外の波長
領域の光L1を遮蔽し、可視光L2を透過する材料
によつて形成したことを特徴としている。
［実施例］
以下本考案一実施例を添附図面に基づいて詳述
する。
する。
第１図は顕微赤外分光計の光学系を示してお
り、１は分光器、２，３は凹面鏡、４，５，６は
反射鏡、７は分析試料、８は試料ステージ、９は
ステージ移動機構、１０は可視光源、１１，１２
は半透明鏡、１３はスリツト板、１４は検出器、
１５は観察光学系である。
り、１は分光器、２，３は凹面鏡、４，５，６は
反射鏡、７は分析試料、８は試料ステージ、９は
ステージ移動機構、１０は可視光源、１１，１２
は半透明鏡、１３はスリツト板、１４は検出器、
１５は観察光学系である。
上述した構成において、分光器１において分光
された特定波長の赤外光L1は、反射鏡４，凹面
鏡２，反射鏡５によつて反射集光され、試料７の
微細部分に照射される。該試料７を透過した赤外
光L1は、反射鏡６，凹面鏡３によつて反射され、
半透明鏡１１を透過し、半透明鏡１２によつて反
射された後、検出器１４によつて検出される。こ
こで、該分光器１において分光波長を変化させれ
ば、次々と異なつた波長の赤外光を試料に照射す
ることができ、特定波長範囲の試料の赤外吸収ス
ペクトルを得ることができる。該半透明鏡１１と
１２との間には、スリツト板１３が配置されてい
るが、第１図において試料上の１点から放射され
た光がスリツト板１３の位置で収束していること
から分るように、スリツト板１３は試料像結像位
置に配置され、これにより試料上の微細分析部分
を選択することができる。該スリツト板１３は、
２段構成となつており、第２図にその平面図を示
すように、４枚のスリツト板１３ａ，１３ｂ，１
３c.１３ｄより成つている。スリツト板１３ａと
１３ｂとの間隔、および、スリツト板１３ｃと１
３ｄとの間隔は調整可能となつており、その結
果、図中斜線を施した４枚のスリツト板で囲まれ
た範囲Ｓのみ赤外光が該スリツトを透過し、検出
器１４によつて検出されることになる。該スリツ
ト板を調整し、該範囲Ｓを狭くすれば、試料７の
より微細な部分からの赤外光のみを検出器に導く
ことができ、該微細部分の赤外分光を行うことが
でき、逆に、該範囲Ｓを比較的広くすれば、比較
的広い試料部分の赤外分光を行うことができる。
された特定波長の赤外光L1は、反射鏡４，凹面
鏡２，反射鏡５によつて反射集光され、試料７の
微細部分に照射される。該試料７を透過した赤外
光L1は、反射鏡６，凹面鏡３によつて反射され、
半透明鏡１１を透過し、半透明鏡１２によつて反
射された後、検出器１４によつて検出される。こ
こで、該分光器１において分光波長を変化させれ
ば、次々と異なつた波長の赤外光を試料に照射す
ることができ、特定波長範囲の試料の赤外吸収ス
ペクトルを得ることができる。該半透明鏡１１と
１２との間には、スリツト板１３が配置されてい
るが、第１図において試料上の１点から放射され
た光がスリツト板１３の位置で収束していること
から分るように、スリツト板１３は試料像結像位
置に配置され、これにより試料上の微細分析部分
を選択することができる。該スリツト板１３は、
２段構成となつており、第２図にその平面図を示
すように、４枚のスリツト板１３ａ，１３ｂ，１
３c.１３ｄより成つている。スリツト板１３ａと
１３ｂとの間隔、および、スリツト板１３ｃと１
３ｄとの間隔は調整可能となつており、その結
果、図中斜線を施した４枚のスリツト板で囲まれ
た範囲Ｓのみ赤外光が該スリツトを透過し、検出
器１４によつて検出されることになる。該スリツ
ト板を調整し、該範囲Ｓを狭くすれば、試料７の
より微細な部分からの赤外光のみを検出器に導く
ことができ、該微細部分の赤外分光を行うことが
でき、逆に、該範囲Ｓを比較的広くすれば、比較
的広い試料部分の赤外分光を行うことができる。
さて、試料７上の分析位置を選択するために、
本実施例においては、光源１０からの可視光L2
が半透明鏡１１によつて反射され、反射鏡６，凹
面鏡３によつて反射され試料７の表面に導かれ、
該可視光によつて試料表面の照明を行つている。
本実施例においては、光源１０からの可視光L2
が半透明鏡１１によつて反射され、反射鏡６，凹
面鏡３によつて反射され試料７の表面に導かれ、
該可視光によつて試料表面の照明を行つている。
該試料表面からの可視光L2は、赤外光L1と同
じ経路を通りスリツト板１３及び半透明鏡１２を
介して観察光学系１５に導かれる。該観察光学系
１５は顕微鏡の接眼レンズ系、あるいは、テレビ
カメラであり、該光学系１５によつて試料像を観
察することができる。ここで、試料７と該観察光
学系との間に配置されたスリツト板１３の材料
は、赤外光は遮断するものの可視光は透過する特
性の材料、例えば、KDPやガラス等によつて形
成されている。従つて、試料表面からの可視光
は、スリツト板１３に影響されず、観察光学系１
５に導かれることから、試料の幅広い範囲の光学
像を観察することができる。この光学像は、スリ
ツト板１３を構成するスリツト板１３ａ〜１３ｄ
により若干の減衰を受けた暗い周辺領域と、スリ
ツト板１３の開口部に相当する減衰を受けない明
るい中央領域とから構成される。この明るい中央
領域が試料上の微細分析領域に相当することは言
うまでもない。従つて、オペレータは、該試料の
広い範囲の光学像を観察しながら、分析箇所を選
択することができ、選択した分析箇所が画面の中
央に配置されるようにステージ移動機構９を操作
してステージを移動させれば、所望微細部分の分
析を行うことができる。
じ経路を通りスリツト板１３及び半透明鏡１２を
介して観察光学系１５に導かれる。該観察光学系
１５は顕微鏡の接眼レンズ系、あるいは、テレビ
カメラであり、該光学系１５によつて試料像を観
察することができる。ここで、試料７と該観察光
学系との間に配置されたスリツト板１３の材料
は、赤外光は遮断するものの可視光は透過する特
性の材料、例えば、KDPやガラス等によつて形
成されている。従つて、試料表面からの可視光
は、スリツト板１３に影響されず、観察光学系１
５に導かれることから、試料の幅広い範囲の光学
像を観察することができる。この光学像は、スリ
ツト板１３を構成するスリツト板１３ａ〜１３ｄ
により若干の減衰を受けた暗い周辺領域と、スリ
ツト板１３の開口部に相当する減衰を受けない明
るい中央領域とから構成される。この明るい中央
領域が試料上の微細分析領域に相当することは言
うまでもない。従つて、オペレータは、該試料の
広い範囲の光学像を観察しながら、分析箇所を選
択することができ、選択した分析箇所が画面の中
央に配置されるようにステージ移動機構９を操作
してステージを移動させれば、所望微細部分の分
析を行うことができる。
以上本考案の一実施例を詳述したが、本考案は
この実施例に限定されず幾多の変形が可能であ
る。例えば、赤外分光計を例に説明したが、紫外
分光度計にも本考案を適用し得る。又、試料に分
光された赤外光を照射したが、赤外干渉光を照射
し、検出信号をフーリエ変換して赤外スペクトル
を得るようにした分光装置にも本考案を適用する
ことができる。更に、試料を透過した光を検出す
るようにしたが、試料に赤外光を照射し、該試料
から反射した光を検出するように構成しても良
い。更に又、スリツト板の挿入位置は第１図の光
学系に限定されない。
この実施例に限定されず幾多の変形が可能であ
る。例えば、赤外分光計を例に説明したが、紫外
分光度計にも本考案を適用し得る。又、試料に分
光された赤外光を照射したが、赤外干渉光を照射
し、検出信号をフーリエ変換して赤外スペクトル
を得るようにした分光装置にも本考案を適用する
ことができる。更に、試料を透過した光を検出す
るようにしたが、試料に赤外光を照射し、該試料
から反射した光を検出するように構成しても良
い。更に又、スリツト板の挿入位置は第１図の光
学系に限定されない。
［効果］
本考案では、分析光を制限するスリツト板の材
料として、可視光は透過するが、該分析光は遮蔽
する特性を有した材料を用いたので、分析箇所の
選択を極めて容易に行うことができる。
料として、可視光は透過するが、該分析光は遮蔽
する特性を有した材料を用いたので、分析箇所の
選択を極めて容易に行うことができる。
第１図は本考案の一実施例である顕微赤外分光
計を示す光学図、第２図は第１図の装置に使用さ
れたスリツト板の平面図である。 １……分光器、２，３……凹面鏡、４，５，６
……反射鏡、７……分析試料、８……試料ステー
ジ、９……ステージ移動機構、１０……可視光
源、１１，１２……半透明鏡、１３……スリツト
板、１４……検出器、１５……観察光学系。
計を示す光学図、第２図は第１図の装置に使用さ
れたスリツト板の平面図である。 １……分光器、２，３……凹面鏡、４，５，６
……反射鏡、７……分析試料、８……試料ステー
ジ、９……ステージ移動機構、１０……可視光
源、１１，１２……半透明鏡、１３……スリツト
板、１４……検出器、１５……観察光学系。
Claims (1)
- 移動ステージ上の試料に可視光以外の波長領域
の光L1を照射する光学系と、該試料を透過ある
いは反射した光L1を検出する検出器と、該検出
器に向う光L1を制限するスリツト板と、該試料
に可視光L2を照射するための光源と、該試料か
ら放射され前記スリツト板を介して取り出された
可視光L2が導入される観察系とを備え、前記ス
リツト板により選択された試料上の微細分析部分
からの光L1のみが前記検出器へ導入されるよう
にした顕微分光装置において、該スリツト板を該
可視光以外の波長領域の光L1を遮蔽し、可視光
L2を透過する材料によつて形成したことを特徴
とする顕微分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986175030U JPH0524203Y2 (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986175030U JPH0524203Y2 (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6381245U JPS6381245U (ja) | 1988-05-28 |
| JPH0524203Y2 true JPH0524203Y2 (ja) | 1993-06-21 |
Family
ID=31113974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986175030U Expired - Lifetime JPH0524203Y2 (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0524203Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001201690A (ja) * | 2000-01-18 | 2001-07-27 | Olympus Optical Co Ltd | 赤外顕微鏡及びそれに用いる観察鏡筒 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2572767Y2 (ja) * | 1991-01-25 | 1998-05-25 | 日本分光株式会社 | 顕微赤外スペクトル測定装置 |
| JP2575981B2 (ja) * | 1991-12-28 | 1997-01-29 | 株式会社島津製作所 | 赤外顕微鏡 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5713816B2 (ja) * | 1972-03-15 | 1982-03-19 | ||
| JPS5144942A (ja) * | 1974-10-16 | 1976-04-16 | Nippon Kogaku Kk | Keikosotsukokenbikyo |
| JPS5256067U (ja) * | 1975-10-21 | 1977-04-22 |
-
1986
- 1986-11-14 JP JP1986175030U patent/JPH0524203Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001201690A (ja) * | 2000-01-18 | 2001-07-27 | Olympus Optical Co Ltd | 赤外顕微鏡及びそれに用いる観察鏡筒 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6381245U (ja) | 1988-05-28 |
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