JPH0465335B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0465335B2 JPH0465335B2 JP57118514A JP11851482A JPH0465335B2 JP H0465335 B2 JPH0465335 B2 JP H0465335B2 JP 57118514 A JP57118514 A JP 57118514A JP 11851482 A JP11851482 A JP 11851482A JP H0465335 B2 JPH0465335 B2 JP H0465335B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- light
- sample
- raman
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
- G01N2021/653—Coherent methods [CARS]
- G01N2021/656—Raman microprobe
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザ光源と、該レーザ光源を出た
レーザ光の進路を半透鏡によつて90°曲げ、対物
レンズを経て試料に照射し、かつレーザ光照射に
よつて前記試料から発生したラマン散乱光を前記
対物レンズで集光し、さらに前記半透鏡を経て試
料と対物レンズのなす光軸方向に取り出す光学顕
微鏡と、該光学顕微鏡から取り出されたラマン散
乱光を分光、検出するためのラマン分光光度計と
よりなるレーザ・ラマン・マイクロプローブに関
する。
レーザ光の進路を半透鏡によつて90°曲げ、対物
レンズを経て試料に照射し、かつレーザ光照射に
よつて前記試料から発生したラマン散乱光を前記
対物レンズで集光し、さらに前記半透鏡を経て試
料と対物レンズのなす光軸方向に取り出す光学顕
微鏡と、該光学顕微鏡から取り出されたラマン散
乱光を分光、検出するためのラマン分光光度計と
よりなるレーザ・ラマン・マイクロプローブに関
する。
従来の光学顕微鏡をレーザ照射、ラマン散乱光
集光に用いるレーザ・ラマン・マイクロプローブ
においては、レーザ光を半透鏡で90°方向に曲げ、
対物レンズを経て試料に照射し、同じ対物レンズ
でラマン散乱光を集光し、半透鏡を経てラマン散
乱光を取り出す構造のため、試料からのレーザ反
射光とラマン散乱光は同一光路を通る。このため
試料の状態変化やレーザ照射点のずれをモニタす
るには、半透鏡を経て取り出したレーザ反射光お
よびラマン散乱光の一部をビーム・スプリツタ等
で分割して取出し、プロジエクタ、テレビカメラ
などで顕微鏡像を観察するが、ラマン分光光度計
へ導入するラマン散乱光量がモニタ用に分割した
分だけ減少するため、検出感度が低下する欠点が
あつた。またラマン分光光度計へはレーザ反射光
もラマン散乱光と同一光路を通つて同時に導入さ
れるため分光光度計内で迷光となり、特にレーザ
波長に近い低波数領域でのラマン散乱光測定の妨
害が著しい欠点があつた。
集光に用いるレーザ・ラマン・マイクロプローブ
においては、レーザ光を半透鏡で90°方向に曲げ、
対物レンズを経て試料に照射し、同じ対物レンズ
でラマン散乱光を集光し、半透鏡を経てラマン散
乱光を取り出す構造のため、試料からのレーザ反
射光とラマン散乱光は同一光路を通る。このため
試料の状態変化やレーザ照射点のずれをモニタす
るには、半透鏡を経て取り出したレーザ反射光お
よびラマン散乱光の一部をビーム・スプリツタ等
で分割して取出し、プロジエクタ、テレビカメラ
などで顕微鏡像を観察するが、ラマン分光光度計
へ導入するラマン散乱光量がモニタ用に分割した
分だけ減少するため、検出感度が低下する欠点が
あつた。またラマン分光光度計へはレーザ反射光
もラマン散乱光と同一光路を通つて同時に導入さ
れるため分光光度計内で迷光となり、特にレーザ
波長に近い低波数領域でのラマン散乱光測定の妨
害が著しい欠点があつた。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をな
くし、ラマン散乱光測定時、ラマン散乱光の損失
が少い状態で常時試料状態のモニタができかつレ
ーザ反射光に基づく分光光度計内での迷光を減少
できるレーザ・ラマン・マイクロプローブを提供
することである。
くし、ラマン散乱光測定時、ラマン散乱光の損失
が少い状態で常時試料状態のモニタができかつレ
ーザ反射光に基づく分光光度計内での迷光を減少
できるレーザ・ラマン・マイクロプローブを提供
することである。
上記目的を達成するために、冒頭に述べた種類
のレーザ・ラマン・マイクロプローブは、試料と
対物レンズのなす光軸上の半透鏡後方に、前記光
軸に対し所定の角度をなすように設けられたレー
ザ発振波長光のみ透過し、レーザ発振波長と異な
る波長の光を反射する干渉フイルタと、該干渉フ
イルタ後方に設けられたレーザ波長での顕微鏡像
モニタとからなる試料モニタを備えることを要旨
とする。すなわち、本発明では、対物レンズで集
光され、半透鏡を経て取り出したレーザ反射光と
ラマン散乱光を、レーザ反射光のみを透過し、レ
ーザ反射光と波長の異なるラマン散乱光を反射す
る干渉フイルタによつてラマン散乱光の進路を変
えることにより分割して、別々に取り出し、レー
ザ反射光光路上に配置されたレーザ波長での顕微
鏡像モニタによりラマン散乱光測定中試料状態を
観察するとともに、レーザ反射光の混入しないラ
マン散乱光を効率良く分光光度計に導入できる。
のレーザ・ラマン・マイクロプローブは、試料と
対物レンズのなす光軸上の半透鏡後方に、前記光
軸に対し所定の角度をなすように設けられたレー
ザ発振波長光のみ透過し、レーザ発振波長と異な
る波長の光を反射する干渉フイルタと、該干渉フ
イルタ後方に設けられたレーザ波長での顕微鏡像
モニタとからなる試料モニタを備えることを要旨
とする。すなわち、本発明では、対物レンズで集
光され、半透鏡を経て取り出したレーザ反射光と
ラマン散乱光を、レーザ反射光のみを透過し、レ
ーザ反射光と波長の異なるラマン散乱光を反射す
る干渉フイルタによつてラマン散乱光の進路を変
えることにより分割して、別々に取り出し、レー
ザ反射光光路上に配置されたレーザ波長での顕微
鏡像モニタによりラマン散乱光測定中試料状態を
観察するとともに、レーザ反射光の混入しないラ
マン散乱光を効率良く分光光度計に導入できる。
以下、附図を参照しながら、実施例を用いて本
発明を一層詳しく説明するが、それらは例示に過
ぎず、本発明の枠を越えることなしにいろいろな
変形や改良を加え得ることは勿論である。
発明を一層詳しく説明するが、それらは例示に過
ぎず、本発明の枠を越えることなしにいろいろな
変形や改良を加え得ることは勿論である。
図においてラマン散乱光励起用レーザ光１は、
集光レンズ２を経て顕微鏡の半透鏡３に入射す
る。半透鏡３で入射方向に対し90°曲げられたレ
ーザ光は対物レンズ４により試料５の上に焦点を
結ぶ。試料５から発生したレーザ反射光６および
ラマン散乱光７は対物レンズ４によつて集光さ
れ、半透鏡３を経て対物レンズ４と半透鏡３のな
す光軸に対し45°の角をなすように配置された干
渉フイルタ８に入射する。干渉フイルタ８の特性
によつて透過したレーザ反射光は集光レンズ９、
減光フイルタ１０を経てレーザ反射光による顕微
鏡像モニタ１１に入射し、試料状態をモニタす
る。また干渉フイルタ８の特性によつて対物レン
ズ４と半透鏡３のなす光軸に対し90°方向に曲げ
られたラマン散乱光は集光レンズ１２を経て、分
光光度計入射スリツト１３上に結像する。
集光レンズ２を経て顕微鏡の半透鏡３に入射す
る。半透鏡３で入射方向に対し90°曲げられたレ
ーザ光は対物レンズ４により試料５の上に焦点を
結ぶ。試料５から発生したレーザ反射光６および
ラマン散乱光７は対物レンズ４によつて集光さ
れ、半透鏡３を経て対物レンズ４と半透鏡３のな
す光軸に対し45°の角をなすように配置された干
渉フイルタ８に入射する。干渉フイルタ８の特性
によつて透過したレーザ反射光は集光レンズ９、
減光フイルタ１０を経てレーザ反射光による顕微
鏡像モニタ１１に入射し、試料状態をモニタす
る。また干渉フイルタ８の特性によつて対物レン
ズ４と半透鏡３のなす光軸に対し90°方向に曲げ
られたラマン散乱光は集光レンズ１２を経て、分
光光度計入射スリツト１３上に結像する。
このように構成することによつて、従来の顕微
鏡を用いたレーザ・ラマン・マイクロプローブに
おいて、ラマン散乱光測定時の試料状態の同時モ
ニタをする場合でも、ラマン散乱光の損失を少な
くでき、また同時に分光光度計内で迷光の原因と
なるレーザ反射光を除去できる効果がある。
鏡を用いたレーザ・ラマン・マイクロプローブに
おいて、ラマン散乱光測定時の試料状態の同時モ
ニタをする場合でも、ラマン散乱光の損失を少な
くでき、また同時に分光光度計内で迷光の原因と
なるレーザ反射光を除去できる効果がある。
以上説明した通り本発明によれば、試料の検出
感度を損うことなく測定中の試料状態のモニタが
可能となり、試料の状態変化、照射点のずれなど
を迅速に知ることができ、また特にレーザ波長に
近い低波数領域でのラマン散乱光の測定が感度良
く、容易に行なえるという利点が得られる。
感度を損うことなく測定中の試料状態のモニタが
可能となり、試料の状態変化、照射点のずれなど
を迅速に知ることができ、また特にレーザ波長に
近い低波数領域でのラマン散乱光の測定が感度良
く、容易に行なえるという利点が得られる。
図は本発明によるレーザ・ラマン・マイクロプ
ローブを模式的に示す構成図である。 １……ラマン散乱光励起用レーザ光、２……集
光レンズ、３……半透鏡、４……対物レンズ、５
……試料、６……レーザ反射光、７……ラマン散
乱光、８……干渉フイルタ、９……集光レンズ、
１０……減光フイルタ、１１……顕微鏡像モニ
タ、１２……集光レンズ、１３……分光光度計入
射スリツト。
ローブを模式的に示す構成図である。 １……ラマン散乱光励起用レーザ光、２……集
光レンズ、３……半透鏡、４……対物レンズ、５
……試料、６……レーザ反射光、７……ラマン散
乱光、８……干渉フイルタ、９……集光レンズ、
１０……減光フイルタ、１１……顕微鏡像モニ
タ、１２……集光レンズ、１３……分光光度計入
射スリツト。
Claims (1)
- １ レーザ光源と、該レーザ光源を出たレーザ光
の進路を半透鏡によつて90°曲げ、対物レンズを
経て試料に照射し、かつレーザ光照射によつて前
記試料から発生したラマン散乱光を前記対物レン
ズで集光し、さらに前記半透鏡を経て試料と対物
レンズのなす光軸方向に取り出す光学顕微鏡と、
該光学顕微鏡から取り出されたラマン散乱光を分
光、検出するためのラマン分光光度計とよりなる
レーザ・ラマン・マイクロプローブにおいて、試
料と対物レンズのなす光軸上の半透鏡後方に、前
記光軸に対し所定の角度をなすように設けられ、
レーザ発振波長光のみを透過し、レーザ発振波長
と異なる波長の光を前記ラマン分光光度計方向に
反射する干渉フイルタと、光軸上の前記干渉フイ
ルタ後方に設けられたレーザ波長での顕微鏡像モ
ニタとからなる試料モニタを備えることを特徴と
するレーザ・ラマン・マイクロプローブ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11851482A JPS5910834A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ |
| US06/510,912 US4586819A (en) | 1982-07-09 | 1983-07-05 | Laser Raman microprobe |
| FR8311469A FR2530024B1 (fr) | 1982-07-09 | 1983-07-08 | Microsonde a effet raman a laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11851482A JPS5910834A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5910834A JPS5910834A (ja) | 1984-01-20 |
| JPH0465335B2 true JPH0465335B2 (ja) | 1992-10-19 |
Family
ID=14738510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11851482A Granted JPS5910834A (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5910834A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010517043A (ja) * | 2007-01-29 | 2010-05-20 | カンブリアス，インコーポレイテッド | 工業プロセス制御用の化学分析装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07156B2 (ja) * | 1990-07-23 | 1995-01-11 | 株式会社東芝 | 脱水兼用洗濯機 |
| FR2681941B1 (fr) * | 1991-10-01 | 1994-07-29 | Dilor | Dispositif de spectrometrie dispersive a filtrage de bande spectrale. |
| JP2707399B2 (ja) * | 1993-07-31 | 1998-01-28 | 森村興産株式会社 | 球形状の中空ポーラス体の製造方法 |
| JPH0915156A (ja) * | 1995-06-28 | 1997-01-17 | Kdk Corp | 分光測定方法及び測定装置 |
| US6819484B2 (en) | 2001-11-06 | 2004-11-16 | Olympus Optical Co., Ltd. | Total internal reflection illumination apparatus and microscope using this total internal reflection illumination apparatus |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2253410A5 (ja) * | 1973-12-03 | 1975-06-27 | Inst Nat Sante Rech Med | |
| US4081215A (en) * | 1976-05-18 | 1978-03-28 | General Electric Company | Stable two-channel, single-filter spectrometer |
-
1982
- 1982-07-09 JP JP11851482A patent/JPS5910834A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010517043A (ja) * | 2007-01-29 | 2010-05-20 | カンブリアス，インコーポレイテッド | 工業プロセス制御用の化学分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5910834A (ja) | 1984-01-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0127361B2 (ja) | ||
| JP2010117226A (ja) | ラマン分光測定装置および測定法 | |
| JPH0465335B2 (ja) | ||
| JPS62121335A (ja) | フイルムまたはコ−テイングの厚さ、含水量、その他のパラメ−タの測定装置 | |
| US20210131957A1 (en) | Far-Infrared Spectroscopic Device and Far-Infrared Spectroscopic Method | |
| JPH0465336B2 (ja) | ||
| WO2021235127A1 (ja) | 熱輻射光検出装置及びレーザ加工装置 | |
| CN105758842B (zh) | 一种激光诱导击穿光谱分析仪的滤波系统 | |
| JPH01188816A (ja) | 分光型走査顕微鏡 | |
| JPS63308543A (ja) | 散乱光測光装置 | |
| JPH07139931A (ja) | レーザ走査顕微鏡のレーザ照射装置 | |
| JP2971003B2 (ja) | レーザリペア装置のレンズの汚れを検出する装置 | |
| KR920006391B1 (ko) | 레이저 가공기에서 레이저와 가공물체간의 상호작용 상태에 대한 실시간(real time)감시 장치 | |
| JPH02304332A (ja) | 粒子計測装置 | |
| EP0162973A1 (en) | Distance measuring device | |
| JPS59107243A (ja) | レ−ザ・ラマン・マイクロプロ−ブ | |
| JPS59220634A (ja) | レ−ザラマンマイクロプロ−ブ用レ−ザ光照射装置 | |
| JP2895021B2 (ja) | 光源変化監視方法および装置 | |
| JPS58154642A (ja) | レ−ザラマンマイクロプロ−ブ用光学装置 | |
| JP2558202Y2 (ja) | 顕微赤外スペクトル測定装置 | |
| JPH0419457Y2 (ja) | ||
| JPH1090114A (ja) | レンズ評価装置 | |
| JP2000321200A (ja) | 共焦点顕微分光装置 | |
| JP2023071069A (ja) | 光干渉光学系および光干渉測定システム | |
| JPS62245942A (ja) | 粒子解析装置 |