JPH0213835A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、例えば、半導体集積回路の製造過程における
ウェハ等の検査に好適な検査装置に関する。

［従来の技術］ 一般に、半導体集積回路の製造過程において、ウェハを
検査する場合には、先ず、光学顕微鏡によって検査を行
い、光学顕微鏡で判別できないような微細なパターンの
場合には、さらに、走査型電子顕微鏡を用いて検査を行
っている。

すなわち、第３図に示されるように、検査すべきウェハ
５を光学顕微鏡２゜にセットし、オペレータＩＯが目視
検査を行う。この光学顕微鏡２゜では、集積回路パター
ンのサイズが、２μｍ程度以下になると、解像度や焦点
深度の狭さなどのために、ウェハ５上の欠陥の形状等の
判別が困難である。

かかる場合には、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）３ｏによ
って検査を行うことになるが、この走査型電子顕微鏡３
゜は、検査できる領域が、数十ミクロン角程度と光学顕
微鏡２゜に比べて狭く、このため、走査型電子顕微鏡３
゜で検査しようとする場合には、光学顕微鏡２゜での検
査の際に、予め、走査型電子顕微鏡３゜で検査しようと
するウェハ５上の位置を、つ、エバ５上の基準となる位
置からの座標などとしてチエツクしておく。

その後、ウェハ５を予備排気室７゜を介して走査型電子
顕微鏡３゜の本体９゜の試料ステージにセットする。そ
して、オペレータＩＯは、ウェハ５上の前記基準となる
位置を探し、さらに、この位置を基準として予めチエツ
クしておいた座標によって検査位置を順次探してその部
分を詳細に検査することになる。

［発明が解決しようとする課題］ このように従来では、走査型電子顕微鏡におけ之検査で
は、予め、光学顕微鏡でチエツクしておいたウェハ上の
検査位置をオペレータが一々探して検査しなければなら
ず、このため、作業時間を要し、手間がかかるという問
題がある。

本発明は、上述の点に鑑みて為されたものであって、走
査型電子顕微鏡における検査位置を、オペレータが探す
手間を省き、効率よく検査できるようにすることを目的
とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明では、上述の目的を達成するために、光学顕微鏡
と走査型電子顕微鏡とを備える検査装置において、前記
光学顕微鏡から入力されるデータを記憶する記憶手段が
設けられ、前記光学顕微鏡には、試料上の検査すべき位
置を指定する前記データを人力するための人力手段が設
けられ、前記走査型電子顕微鏡には、前記記憶手段の前
記データに基づいて、前記試料上の検査すべき位置が、
電子ビームが照射される所定の位置になるように試料ス
テージを駆動制御する駆動制御手段が設けられている。

［作用］ 上記構成によれば、光学顕微鏡による検査の際に、走査
型電子顕微鏡で検査しようとする位置を指定するデータ
を入力して記憶手段に予め記憶させておく、ことにより
、走査型電子顕微鏡の検査においては、前記記憶手段の
データによって試料ステージが駆動されて自動的に検査
しようとする位置が、電子ビームが照射される所定の位
置に設定されることになり、従来例のように、オペレー
タが一々検査しようとする位置を探す必要がなくなる。

［実施例］ 以下、図面によって本発明の実施例について、゛詳細に
説明する。

第１図は、本発明の一実施例の検査装置の概略構成図で
あり、第３図の従来例に対応する部分には、同一の参照
符を付す。

この実施例の検査装置１は、光学顕微鏡２と、この光学
顕微鏡２に一体化された走査型電子顕微鏡３と、光学顕
微鏡２から入力されたデータを記憶し、必要に応じてこ
のデータを走査型電子顕微鏡３に転送する記憶手段とし
てのホストコンピュータ４とから構成されている。

この検査装置ｌにおいては、従来と同様に、先ず、光学
顕微鏡２によって、試料、例えば、ウェハ５を目視検査
し、光学顕微鏡２で判別できないような微細なパターン
の場合には、さらに、走査型電子顕微鏡３によりその部
分を詳細に検査するものである。

光学顕微鏡２には、走査型電子顕微鏡３によって検査し
ようとするウェハ５上の検査位置を、座標データとして
人力するための入力手段６が設けられており、さらに、
光学顕微鏡２での検査が終了した後に、ウェハ５を走査
型電子顕微鏡３の予備排気室７に搬送するための図示し
ない搬送手段が設けられている。

光学顕微鏡２で入力された座標データは、ホストコンピ
ュータ４に転送されて該コンピュータ４の記憶部に記憶
される。

走査型電子顕微鏡３の本体９には、検査の際に、ホスト
コンピュータ４から転送される座標データに基づいて、
ウェハ５上の検査すべき位置が、電子ビームが照射され
る所定の位置になるように図示しない試料ステージを駆
動制御する駆動制御手段８が設けられている。

上記構成を有する検査装置ｌによる検査の手順を説明す
る。

先ず、検査すべきウェハ５を光学顕微鏡２にセットし、
オペレータＩＯが目視検査を行う。このときに、集積回
路パターンのサイズが、２μｍ程度以下であるために、
欠陥の形状等の判別が困難である部分があり、この部分
を走査型電子顕微鏡３によって詳細に検査しようとする
場合には、その部分の位置を、基準となる位置とともに
、座標データとして入力手段６から人力してホストコン
ピュータ４に記憶させる。

例えば、第２図に示されるように、ウェハ５上の０点に
光学顕微鏡２では判別できないようなパターンがあり、
この０点を走査型電子顕微鏡３によって詳細に検査しよ
うとする場合には、オペレータＩＯは、予め決められて
いる基準となる位置、例えば、Ａ点およびＢ点の座標を
入力手段６から入力するとともに、このＡ点、Ｂ点を基
準としたときの０点の位置に対応する座標データを入力
手段６より入力する。

このようにして光学顕微鏡２による座標データの入力お
よび目視検査が終了すると、ウェハ５は、搬送手段によ
って走査型電子顕微鏡３の予備排気室７に自動的に搬送
され、この予備排気室７内が真空にされた後に、走査型
電子顕微鏡３の本体９内に搬送されてセットされる。

走査型電子顕微鏡３による検査においては、オペレータ
１０は、基準となる位置、すなわち、Ａ点およびＢ点を
、従来と同様に、順次、電子ビームが照射される所定の
位置になるように調整する。

すなわち、最初に、基準となるＡ点、Ｂ点の位置合わせ
を行う。その後、走査型電子顕微鏡３の駆動制御手段８
は、ホストコンピュータ４から転送された座標データに
基づいて、試料ステージを駆動制御して検査すべき０点
が電子ビームが照射される所定の位置になるように自動
的に調整する。

このようにして走査型電子顕微鏡３では、オペレータ１
０が基準となる位置を合わせることにより、以後は、検
査すべき位置が自動的に所定の位置になるように試料ス
テージが駆動されることになる。したがって、検査すべ
き位置が多数ある場合には、従来では、−々検査すべき
位置をオペレータ１０が探していたけれども、かかる操
作が不要となり、効率よく検査が行われることになる。

また、この実施例では、走査型電子顕微鏡３による０点
の検査の後に、再びウェハ５を光学顕微鏡２に搬送し、
０点を中心にマクロ的な検査を行ってもよい。

上述の実施例では、ホストコンピュータ４を設けたけれ
ども、本発明の他の実施例として、座標データをフロッ
ピーディスク等の記憶媒体に書き込み、走査型電子顕微
鏡３では、この記憶媒体からのデータを読み出して試料
ステージの駆動制御を行ってもよい。

また、上述の実施例では、ウェハを検査する場合につい
て説明したけれども、本発明はウェハに限るものではな
く、他の試料にも適用できるのは勿論である。

［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、走査型電子顕微鏡で検査
しようとする試料上の位置を示すデータを予め記憶させ
ておき、検査の際には、前記データに基づいて、試料ス
テージが駆動制御されて前記検査しようとする位置が自
動的に所定の位置になるようにしているので、従来例の
ように、オペレータが一々検査しようとする位置を探す
必要がなくなり、効率よく検査を行うことが可能となる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の概略構成図、第２図は座標
データの入力を説明するためのウェハの　　□平面図、
第３図は従来例の概略構成図である。 ■・・・検査装置、 ２．２ｏ・・・光学顕微鏡、 ３．３ｏ・・・走査型電子顕微鏡、 ４・・・ホストコンピュータ（記憶手段）、５・・・ウ
ェハ、 ６・・・入力手段、 ８・・・駆動制御手段、 １０・・・オペレータ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）光学顕微鏡と走査型電子顕微鏡とを備える検査装
   置において、 前記光学顕微鏡から入力されるデータを記憶する記憶手
   段が設けられ、 前記光学顕微鏡には、試料上の検査すべき位置を指定す
   る前記データを入力するための入力手段が設けられ、 前記走査型電子顕微鏡には、前記記憶手段の前記データ
   に基づいて、前記試料上の検査すべき位置が、電子ビー
   ムが照射される所定の位置になるように試料ステージを
   駆動制御する駆動制御手段が設けられることを特徴とす
   る検査装置。