JPH02138452U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02138452U JPH02138452U JP4696089U JP4696089U JPH02138452U JP H02138452 U JPH02138452 U JP H02138452U JP 4696089 U JP4696089 U JP 4696089U JP 4696089 U JP4696089 U JP 4696089U JP H02138452 U JPH02138452 U JP H02138452U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical axis
- mirror
- light receiving
- total reflection
- displacement detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す側面図、第２図
は要部のブロツク図、第３図は従来例を示す側面
図である。 ２……レーザチユーブ、３……ハーフミラー、
５……全反射ミラー、８……イオンレーザ装置、
９〜１１……ミラー支持手段、１３ａ〜１３ｄ…
……受光素子、１４……光軸変位検出手段、１５
……光軸補正手段。
は要部のブロツク図、第３図は従来例を示す側面
図である。 ２……レーザチユーブ、３……ハーフミラー、
５……全反射ミラー、８……イオンレーザ装置、
９〜１１……ミラー支持手段、１３ａ〜１３ｄ…
……受光素子、１４……光軸変位検出手段、１５
……光軸補正手段。
Claims (1)
- レーザチユーブの前端部にハーフミラーが配置
されて後端部に全反射ミラーが配置されたイオン
レーザ装置において、ハーフミラーと全反射ミラ
ーとのうち少なくとも一方を変位自在に支持して
位置決め固定するミラー支持手段を設け、放射状
に配置した複数個の受光素子からなる光軸変位検
出手段をレーザチユーブの出射光軸上に設け、こ
の光軸変位検出手段の各受光素子の検出値の差に
基づいて前記ミラー支持手段をフイードバツク制
御する光軸補正手段を設けたことを特徴とするイ
オンレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4696089U JPH02138452U (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4696089U JPH02138452U (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02138452U true JPH02138452U (ja) | 1990-11-19 |
Family
ID=31562479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4696089U Pending JPH02138452U (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02138452U (ja) |
-
1989
- 1989-04-21 JP JP4696089U patent/JPH02138452U/ja active Pending