JPH02139202A - グリーンシートの打抜き方法、グリーンシートの打抜き装置および孔付グリーンシート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ＩＣパッケージ笠に利用される積層セラミッ
ク基板の製造−［程におけるグリーンシーｌ−の打抜き
方法に関する。

［従来の技術］ 積層セラミック基板では、搭載される集積回路の配線に
合わゼて、多数の孔を設ける必要があり、セラミック基
板の製造工程にある焼成前のグリーンシートに、あらか
じめ打抜きして孔を開けてから積層セラミック基板を製
造している。

このグリーンシートへの打抜きは、従来では、第４図に
示すとおり、所定の配置で複数の孔５１が形成された下
型５２と、丁型５２の各孔５１に対応した複数のポンチ
５３を備えた上を５４とからなる打抜き装置５０によっ
て、グリーンシート６０に複数の孔６１を同時に打抜く
方法と、主に試１ヤ晶の場合等に用いられる方法として
、ＮＣ制御によるＬ作−装置を使用して、１個のポンチ
によって、必要な位置に孔を１個ずつ次々に打抜く方法
とがある。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、前者の方法では、互いに対応する２つの型５２
．５４を作らなければならないため、型の製作費用がか
かるとともに、納期までに時間がかかる。

また後者の方法では、設ける孔の数が多いと、打抜きの
加工時間がかかり、また高価なＮＣ制御の工作装置をグ
リーンシートの打抜きに使用することになるため、加工
能率が悪いという問題がある。

本発明は１、短い加工時間で多数の孔を打抜きすること
ができるとともに、杓抜きのための型の制作費用を削減
できるグリーンシートの打抜き方法、グリーンシートの
打抜き装置および孔付グリーンシートを提供することを
目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明の方法は、孔が形成された型部材の表面にグリー
ンシートを配し、該グリーンシートを介してゴムを前記
型部材に押圧して、前記グリーンシートに貫通孔を設け
る。

また、本発明の打抜き装置は、孔が形成された表面にグ
リーンシートが配される型部材と、前記型部材の表面に
前記グリーンシートを介して載置されるゴムと、該ゴム
を加圧する加圧手段とからなる技術的手段を採用する。

さらに、本発明の孔付グリーンシートは、孔が形成され
た型部材の表面に配され、その上面に配され前記型部材
に対して加圧されるゴムにより前記型部材の前記孔に対
応して貫通孔が形成される。

［作用〕 本発明の方法、打抜き装置および孔付グリーンシートで
は、型部材の表面に配されたグリーンシートを介してゴ
ムが押圧されると、ゴムに加えられた圧力は型部材の孔
へ集中して、圧力を低下させようとするため、型部材の
孔に対応する部分では、グリーンシートが孔から押し出
される。このため、型部材とゴムとの間に配されたグリ
ーンシートには、型部材の孔の位置に合わせて貫通孔が
形成される。

［発明の効果］ 本発明によれば、型部材が・一方のみであるため、型部
材の製造経費を削減させるとともに、型部材の納期を短
縮させることができる。

また型部材に多数の孔を設けることができるため、グリ
ーンシートに多数の孔を同時に設けることができ、生！
ｊ性が向」・、する。

［実施例］ 次に本発明のグリーンシートの打抜き方法、打抜き装置
および孔付グリーンシートを、図に示す実施例に基づい
て説明する。

第１図は本発明方法を実施するためのグリーンシートの
打抜き装置１の主要部を示す。

この口抜き装置１は、ベース１０、加工部２０、加圧部
３０からなる。

ベース１０は鋼材によって形成され、ベース１０の上面
には、ベース１０を繰り抜い゛ζ形成された凹部１１が
設けられ、その底部１２は平面を呈し、ベース１０の内
部には、加熱用のヒータ１３が設けられ、図示しない温
度制御装置によっ“Ｃ加工温度が約５０°Ｃに保たれる
。

四部１１内には、加”［部２０が設けられる。

加工部２０は、型板２１と口ち抜き用のシリコンゴム２
２と、樹脂板２３とからなる。

型＆２１は、打抜かれるグリーンシー１〜Ａよりやや厚
い厚みを有する鋼欠で、第２図に示すとおり、グリーン
シートＡの口抜き箇所に貫通したテーパー孔２１ａが形
成されている。テーパー孔２１ａは、ここでは、エツチ
ングによってテーパー状に形成されたもので、型板２１
は、テーパー孔２１ａの小径側の面が十、側にされ、グ
リーンシートＡは、型板２１の上面に配される。

打抜き用のシリコンゴム２２は、型板２１の上面に配さ
れたグリーンシートＡの上に載せられ、加圧されたとき
グリーンシートＡを打抜く。

シリコンゴム２２は、ここでは硬度１８°の軟質のもの
が使用されている。

樹脂板２３は、型板２１の下側に設けられるもので、打
抜きによって生じる打抜きかすａを付着させて、打抜き
かすａの後処理を簡単にする。

加圧部３０は、加圧機３１．加圧型３２、シリコンゴム
３３からなる。

加圧機３１は、図示しない加圧装置の一部で、約２５０
ｋｇ／−の圧力を下方へ与える。

加圧型３２は、圧力枠３２ａと、圧力枠３２ａ内を摺動
して加圧機３１と一体に加圧する摺動部３２ｂとからな
り、加圧機３１の作動に応じて、圧力枠３２ａ内に設け
られるシリコンゴム３３に圧力を与える。圧力枠３２ａ
と摺動部３２ｂとは、ばね３２ｃによって一体化されて
おり、加圧機３１から圧力が与えられいない場合には、
摺動部３２ｂは上方へ押し上げられる。

シリコンゴム３３は、加工部２０のシリコンゴム２２へ
圧力を与えるためのもので、加圧時には、圧力枠３２ａ
内で摺動部３２ｂによって圧力が与えられる。

シリコンゴム３３は、シリコンゴム２２より硬い硬度４
０°のものを用いている。

以上の構成からなる本実施例のグリーンシートの打抜き
装置１では、次のように、打抜きが行われる。

ベース１０の凹部１１の底部１２に、樹脂板２３を敷き
、その上に型板２１をテーパー孔２１ａの小径側が上方
になるように設け、型板２１９上面にグリーンシートＡ
を型板２１に合わせて置き、さらにシリコンゴム２２を
、グリーンシートＡを覆うようにして重ねる。

一方、ベース１０内のヒータ１３を通電して、約５０゛
Ｃになるように維持する。

その後、加圧１１３１を作動させて、加圧型３２を下方
へ移動させる。

加圧型３２は、始め圧力枠３２ａと摺動部３２ｂが一体
に下降して、圧力枠３２ａがベース１０の上面まで下降
すると、その後は、摺動部３２ｂのみが下降し、シリコ
ンゴム３３は、シリコンゴム２２を押さえ付ける。

シリコンゴム３３は、周囲が圧力枠３２ａによって囲ま
れているため、摺動部３２ｂの下降によってその圧力が
高くなり、シリコンゴム２２をさらに加圧する。

シリコンゴム２２が加圧されると、その圧力は、テーパ
ー孔２１ａ部分に集中するため、グリーンシートＡはテ
ｉパー孔２１ａの位置が打抜かれ、１１通孔Ｂが設けら
れる。

ここでは、加工条件として、圧力２５０ｋｌｌｒ／ｃＪ
、温度５０°Ｃ１加圧時間３０秒で加工した。

上記の力ＩＬｆｌによって、シリコンゴム２２は、第２
図に示すとおり、加えられた圧力によって、型板２１の
テーパー孔２１ａ部分にあるグリーンシー）−Ａを杓抜
いて、貫通孔Ｂを形成する。

また、加工によって押し出された打抜きかすａは、型板
２１の下側の樹脂板２３に押し付けられて付着する。

加工後、加圧機３１の圧力を下げて、加圧型３２を１・
、方へ移動させ、シリコンゴム２２、グリーンシートＡ
および型板２１を凹部１１から取り出すと、打抜きかす
ａが付着した樹脂板２３が残る。

従って、樹脂板２３を取り出して打抜きかすａを清掃す
れば、再び打抜きを行うことができる。

グリーンシー１−Ａの厚みに対Ｖる、グリーンシートＡ
に設けることが用油な貫通孔Ｂの最小径の関係は、第３
図の斜線領域に示すとおり決定され、例えばグリーンシ
ートＡの厚み０．２５ｍｍに対して、打抜き可能な貫通
孔Ｂの大きさは、直径０゜１５ｍｍであり、グリーンシ
ー１−Ａの厚み０．５＋ｎｍに対して、打抜き可能な貫
通孔Ｂの大きさは、直径０．３０ｍｍであった。

以上のとおり、本発明によれば、多数の貫通孔を同時に
グリーンシートに形成することができるとともに、従来
の打抜き方法と比較して、型の製造費用を削減させるこ
とができ、型の製造時間を短縮することができる。

また、本実施例のように、型板をエツチング加工によっ
て形成した場合には、型の製造費用をさらに削減できる
とともに、型の製造時間をさらに９！ｉ縮することがで
き、特に限られた時間内にある程度多くの試作品が必要
な場合には、従来の方法と比歓して、製造時間を大きく
短縮することができる。

本実施例では、型板の孔をエツチング加［によってテー
パー形状に形成したが、ドリルやポンチによって一定径
にしたものでもよい。但し、型板の孔は本実施例のよう
に小径側が上、方となるようなテーパー形状のほうが打
抜きが容易である。

また加工条件として、軟質のシリコンゴムの硬度は５〜
５０°、圧力は５０−１０００　ｋｇ／　ｃｒＡ、温風
は常温〜１００°Ｃ１加工時間は５へ一１２０秒の範囲
で、それぞれ変更してもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の打抜き方法を実施するための杓抜き装
置の主要部を示す断面図、第２図は本発明による打抜き
状態３示すグリーンシートの打抜き部の部分拡大図、第
３図は本発明によるグリーンシートの厚みと貫通孔の径
との力旧［特性を示す特性図、第４図は従来のｔ］抜き
方法を示す概略図である。 図中、２１・・型板（型部材＞、２１ａ・・・テーパー
孔（孔）、２２・・・シリコンゴム（ゴム）、Ａ・グリ
ーンシー１〜、Ｂ・・・貫通孔。 第２図 第３図 グリーンシートの厚み ０．５ 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）孔が形成された型部材の表面にグリーンシートを配
   し、該グリーンシートを介してゴムを前記型部材に押圧
   して、前記グリーンシートに貫通孔を設けることを特徴
   とするグリーンシートの打抜き方法。 ２）孔が形成された表面にグリーンシートが配される型
   部材と、 前記型部材の表面に前記グリーンシートを介して載置さ
   れるゴムと、 該ゴムを加圧する加圧手段と からなるグリーンシートの打抜き装置。 ３）孔が形成された型部材の表面に配され、その上面に
   配され前記型部材に対して加圧されるゴムにより前記型
   部材の前記孔に対応して貫通孔が形成されたことを特徴
   とする孔付グリーンシート。