JPH02140490A - 圧力制御機構 - Google Patents
圧力制御機構Info
- Publication number
- JPH02140490A JPH02140490A JP63293607A JP29360788A JPH02140490A JP H02140490 A JPH02140490 A JP H02140490A JP 63293607 A JP63293607 A JP 63293607A JP 29360788 A JP29360788 A JP 29360788A JP H02140490 A JPH02140490 A JP H02140490A
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- Japan
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- pressure control
- pressure
- turbo
- turbo pump
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体製造装置などの、高真空室を必要とす
る装置において、真空室内の圧力を制御するための装置
に関するものである。
る装置において、真空室内の圧力を制御するための装置
に関するものである。
［従来の技術］
例えば、半導体製造用のドライエツチング工程を行う反
発子においては、１０パスカル以下の反応プロセス圧力
を必要とする。通常、このような高真空室を実現する場
合は、大容量のポンプを１基使用している。
発子においては、１０パスカル以下の反応プロセス圧力
を必要とする。通常、このような高真空室を実現する場
合は、大容量のポンプを１基使用している。
第２図は、このような圧力制御装置を示す図であり、１
至の反発子（真空室）１１に、１基のターボポンプ１２
が取付（プられ、このターボポンプ１２に、圧力制御用
のコンダクタンス可変機構１３が取付けられている。
至の反発子（真空室）１１に、１基のターボポンプ１２
が取付（プられ、このターボポンプ１２に、圧力制御用
のコンダクタンス可変機構１３が取付けられている。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、第２図に示すような構成の圧力制御装置
には、次のような欠点がある。
には、次のような欠点がある。
まず、１基のターボポンプ１２のみを使用しているため
、大容量のターボポンプが必要となり、取付は寸法が大
きくなる。従って、装置全体が、大型・大重量化してし
まい、大きな配置スペースを要し、配置構成が制限され
る上、設置時やメンテナンス時に当たって、多くの労力
及び治具か必要となるなど各種の不都合を生ずる。
、大容量のターボポンプが必要となり、取付は寸法が大
きくなる。従って、装置全体が、大型・大重量化してし
まい、大きな配置スペースを要し、配置構成が制限され
る上、設置時やメンテナンス時に当たって、多くの労力
及び治具か必要となるなど各種の不都合を生ずる。
また、例えば、半導体製造用のドライエツチング工程に
おいては、極めて精度の高い圧力調整が要求されるが、
前記のようにターボポンプ１２か大容量であると、コン
ダクタンス可変１Ｆ！１１３の圧力制御範囲が広くなり
、微小圧力変動の補正か困難となるため、精度面での要
求に応えられなくなる場合がおる。
おいては、極めて精度の高い圧力調整が要求されるが、
前記のようにターボポンプ１２か大容量であると、コン
ダクタンス可変１Ｆ！１１３の圧力制御範囲が広くなり
、微小圧力変動の補正か困難となるため、精度面での要
求に応えられなくなる場合がおる。
なお、以上のような欠点は、半導体製造装置に使用され
る圧力制御装置に限定されるものではなく、低圧ＲＩＥ
など、１０パスカル以下の圧力を必要とする各種の装置
に使用される圧力制御装置一般に存在している。
る圧力制御装置に限定されるものではなく、低圧ＲＩＥ
など、１０パスカル以下の圧力を必要とする各種の装置
に使用される圧力制御装置一般に存在している。
本発明は、このような従来技術の課題を解決するために
提案されたものであり、その目的は、小型・軽量で、し
かも微小圧力制御を高精度に行えるような圧力制御装置
を提供することである。
提案されたものであり、その目的は、小型・軽量で、し
かも微小圧力制御を高精度に行えるような圧力制御装置
を提供することである。
［課題を解決するための手段］
本発明の圧力制′１ＸＶ装置は、真空下と、この真空下
に取付けられ、真窄至内の圧力を調整する複数基のター
ボポンプと、これらのターボポンプのうちの１基に取付
けられたコンダクタンス可変機構とを備えたことを特徴
としている。
に取付けられ、真窄至内の圧力を調整する複数基のター
ボポンプと、これらのターボポンプのうちの１基に取付
けられたコンダクタンス可変機構とを備えたことを特徴
としている。
［作用］
以上のような構成を有する本発明の作用は次の通りでお
る。
る。
即ち、ターボポンプに要求される容量を、複数基のター
ボポンプで分担することになるため、各ターボポンプと
して小型のターボポンプを使用できる。従って、取付は
寸法を小さくでき、装置全体を小型・軽量化できる。
ボポンプで分担することになるため、各ターボポンプと
して小型のターボポンプを使用できる。従って、取付は
寸法を小さくでき、装置全体を小型・軽量化できる。
また、ターボポンプを小容量化できることから、コンダ
クタンス可変機構の圧力制御範囲が狭められ、微小圧力
制御を高精度に行うことが可能となる。
クタンス可変機構の圧力制御範囲が狭められ、微小圧力
制御を高精度に行うことが可能となる。
ざらに、真空下の大気圧置換を行えない装置に本発明を
使用した場合、１基のターボポンプが万一故障しても、
残り１基のターボポンプで充分に真空下のベース圧力を
保持できるため、装置の稼働率を向上させられる利点も
ある。
使用した場合、１基のターボポンプが万一故障しても、
残り１基のターボポンプで充分に真空下のベース圧力を
保持できるため、装置の稼働率を向上させられる利点も
ある。
［実施例コ
以下に、本発明による圧力制御装置の一実施例を第１図
を参照して具体的に説明する。
を参照して具体的に説明する。
第１図に示す実施例において、反応至（真空下）１には
、２基のターボポンプ２が取付（ブられ、片側のターボ
ポンプ２にのみコンダクタンス可変機構３か取付けられ
ている。
、２基のターボポンプ２が取付（ブられ、片側のターボ
ポンプ２にのみコンダクタンス可変機構３か取付けられ
ている。
以上のような構成を有する本実施例によれば、使用する
ターボポンプの数は、従来の１基に比べ２塁と増加する
が、１基のポンプの大きさは、格段に小型化できる。例
えば、１０００１／ｓｅｃという大容量のターボポンプ
を１基使用した場合と同様の性能を、３００隻／ｓｅｃ
という小容量のターボポンプを２基使用することで得ら
れる。
ターボポンプの数は、従来の１基に比べ２塁と増加する
が、１基のポンプの大きさは、格段に小型化できる。例
えば、１０００１／ｓｅｃという大容量のターボポンプ
を１基使用した場合と同様の性能を、３００隻／ｓｅｃ
という小容量のターボポンプを２基使用することで得ら
れる。
この結果、装置全体を、従来よりも大幅に小型・軽量化
できるため、配置スペースを縮小でき、より柔軟な配置
構成が可能となると共に、大容量ポンプを使用していた
従来の装置において、設置時及びメンテナンス時に必要
でおった多くの労力及び治具も不要となる。
できるため、配置スペースを縮小でき、より柔軟な配置
構成が可能となると共に、大容量ポンプを使用していた
従来の装置において、設置時及びメンテナンス時に必要
でおった多くの労力及び治具も不要となる。
また、本実施例のように、小容量のターボポンプ２のう
ち１基のみをコンダクタンス可変機構３で制御した場合
、一種のバイパス制御方式となるため、大容量のターボ
ポンプを制御していた従来技術に比べてはるかに精度の
高い微小圧力制御を行える。例えば、第３図に示すよう
に、１０００、ｌ／Ｓ ｅ Ｃという大容量ターボポン
プを１基使用した装置においては、１１００８ＣＣのガ
ス流量で、１パスカルから８．８パスカルまでの、７゜
８パスカルの範囲（図中■）の圧力制御が可能であるの
に対し、３００ｉ／ＳｅＣ；という小容量ターボポンプ
を２基使用した装置においては、１１００３ＣＣのガス
流量で、１パスカルから１．５パスカルまでの０．５パ
スカルの範囲（図中■）の圧力制御が可能である。この
場合、コンダクタンス可変機構３により、１０％刻みで
制御可能であるとすると、従来の大容量ターボポンプを
２基使用した装置においては、０．７８パスカル刻みの
大まかな圧力制御しかできないのに対し、小容量ターボ
ポンプにおいては、０．０５パスカル刻みという極めて
微小な圧力制御を高精度に行える。
ち１基のみをコンダクタンス可変機構３で制御した場合
、一種のバイパス制御方式となるため、大容量のターボ
ポンプを制御していた従来技術に比べてはるかに精度の
高い微小圧力制御を行える。例えば、第３図に示すよう
に、１０００、ｌ／Ｓ ｅ Ｃという大容量ターボポン
プを１基使用した装置においては、１１００８ＣＣのガ
ス流量で、１パスカルから８．８パスカルまでの、７゜
８パスカルの範囲（図中■）の圧力制御が可能であるの
に対し、３００ｉ／ＳｅＣ；という小容量ターボポンプ
を２基使用した装置においては、１１００３ＣＣのガス
流量で、１パスカルから１．５パスカルまでの０．５パ
スカルの範囲（図中■）の圧力制御が可能である。この
場合、コンダクタンス可変機構３により、１０％刻みで
制御可能であるとすると、従来の大容量ターボポンプを
２基使用した装置においては、０．７８パスカル刻みの
大まかな圧力制御しかできないのに対し、小容量ターボ
ポンプにおいては、０．０５パスカル刻みという極めて
微小な圧力制御を高精度に行える。
また、３００１／Ｓｅｃ：という小容量ターボポンプを
２基使用した装置においても、１基のターボポンプのみ
で圧力制御を行う場合には、図中■として示すように、
圧力制御範囲が広くなるため、この場合には、従来と同
様の比較的大まかな圧力制御を行うことになる。
２基使用した装置においても、１基のターボポンプのみ
で圧力制御を行う場合には、図中■として示すように、
圧力制御範囲が広くなるため、この場合には、従来と同
様の比較的大まかな圧力制御を行うことになる。
さらに、真空室の大気圧置換を行えない装置に１基の大
容量のターボポンプを使用した場合には、このターボポ
ンプが万一故障してしまうと、装置の運転を停止しなけ
ればならず、稼働率が低い欠点を生ずるが、本実施例の
ように、２基のターボポンプを使用した場合には、１基
のターボポンプが万一故障しても、残り１基のターボポ
ンプで充分に真窄至のベース圧力を保持できるため、装
置の稼動率を向上させられる利点もある。
容量のターボポンプを使用した場合には、このターボポ
ンプが万一故障してしまうと、装置の運転を停止しなけ
ればならず、稼働率が低い欠点を生ずるが、本実施例の
ように、２基のターボポンプを使用した場合には、１基
のターボポンプが万一故障しても、残り１基のターボポ
ンプで充分に真窄至のベース圧力を保持できるため、装
置の稼動率を向上させられる利点もある。
なあ、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、
ターボポンプの数を３基以上とする偶成も同様に可能で
おる。また、本発明は、例えば、半導体製造装置の高真
空室に適用することが可能であるが、低圧ＲＩＥなど、
１０パスカル以下の圧力を必要とする各種の装置の圧力
制ｔｉＩｌＩ装置として広く通用可能である。
ターボポンプの数を３基以上とする偶成も同様に可能で
おる。また、本発明は、例えば、半導体製造装置の高真
空室に適用することが可能であるが、低圧ＲＩＥなど、
１０パスカル以下の圧力を必要とする各種の装置の圧力
制ｔｉＩｌＩ装置として広く通用可能である。
［発明の効果１
以上説明したように、本発明においては、１至の反応至
に対して従来１基だけ取付けていたターボポンプを複数
基とし、このうちの１基のターボポンプにコンダクタン
ス可変機構を取付けるという簡単な構成の改良により、
小型・軽量で、しかも微小圧力制御を高精度に行えるよ
うな、優れた圧力制御装置を提供でき、その効果は大き
い。
に対して従来１基だけ取付けていたターボポンプを複数
基とし、このうちの１基のターボポンプにコンダクタン
ス可変機構を取付けるという簡単な構成の改良により、
小型・軽量で、しかも微小圧力制御を高精度に行えるよ
うな、優れた圧力制御装置を提供でき、その効果は大き
い。
第１図は本発明による圧力制御装置の一実施例を示す正
面図、第２図は従来の圧力制御装置の一例を示す正面図
、第３図は圧力制御装置の圧力制御可能範囲を示す図で
ある。 １・・・反応至、２・・・ターボポンプ、３・・・コン
ダクタンス可変機構。
面図、第２図は従来の圧力制御装置の一例を示す正面図
、第３図は圧力制御装置の圧力制御可能範囲を示す図で
ある。 １・・・反応至、２・・・ターボポンプ、３・・・コン
ダクタンス可変機構。
Claims (1)
- 真空室と、この真空室に取付けられ、真空室内の圧力を
調整する複数基のターボポンプと、これらのターボポン
プのうちの１基に取付けられたコンダクタンス可変機構
とを備えたことを特徴とする圧力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63293607A JP2796321B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 圧力制御機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63293607A JP2796321B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 圧力制御機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02140490A true JPH02140490A (ja) | 1990-05-30 |
| JP2796321B2 JP2796321B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=17796902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63293607A Expired - Fee Related JP2796321B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 圧力制御機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2796321B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59126193U (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-24 | 日電アネルバ株式会社 | 真空排気装置 |
| JPS6162895U (ja) * | 1984-06-07 | 1986-04-28 | ||
| JPS6332177A (ja) * | 1986-07-26 | 1988-02-10 | Hitachi Ltd | 真空排気装置 |
-
1988
- 1988-11-22 JP JP63293607A patent/JP2796321B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59126193U (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-24 | 日電アネルバ株式会社 | 真空排気装置 |
| JPS6162895U (ja) * | 1984-06-07 | 1986-04-28 | ||
| JPS6332177A (ja) * | 1986-07-26 | 1988-02-10 | Hitachi Ltd | 真空排気装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2796321B2 (ja) | 1998-09-10 |
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Legal Events
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