JPH02140633U - - Google Patents
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- JPH02140633U JPH02140633U JP4921989U JP4921989U JPH02140633U JP H02140633 U JPH02140633 U JP H02140633U JP 4921989 U JP4921989 U JP 4921989U JP 4921989 U JP4921989 U JP 4921989U JP H02140633 U JPH02140633 U JP H02140633U
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- JP
- Japan
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- optical path
- light
- separating member
- focus
- optical
- Prior art date
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- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 40
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Optical Head (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図はその変形例を示す構成図である。 １…フオーカス光学系アクチユエータ部、２…
フオーカス制御用光源、４…第一光路分離部材、
５…第二光路分離部材、６…露光光入射光軸位置
検出手段、９，１０…1/4波長板、１１…対物レ
ンズ、１２…第三光路分離部材、１３…露光光反
射光軸検出手段、１６…シリンドリカルレンズ、
１７…第四光路分離部材、１８…露光光観察手段
、２１…フオーカス光検出手段、２４…光デイス
ク原盤、２５…露光用光源。
図はその変形例を示す構成図である。 １…フオーカス光学系アクチユエータ部、２…
フオーカス制御用光源、４…第一光路分離部材、
５…第二光路分離部材、６…露光光入射光軸位置
検出手段、９，１０…1/4波長板、１１…対物レ
ンズ、１２…第三光路分離部材、１３…露光光反
射光軸検出手段、１６…シリンドリカルレンズ、
１７…第四光路分離部材、１８…露光光観察手段
、２１…フオーカス光検出手段、２４…光デイス
ク原盤、２５…露光用光源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 フオーカス制御用光源と、露光光及び前記フオ
ーカス制御用光源から出射されたフオーカス光が
ミラー部材を介して同一光路に導かれた光路上に
設けられた第一光路分離部材と、この第一光路分
離部材を透過した光の光路上に設けられた第二光
路分離部材と、この第二光路分離部材により反射
された光の光路上に設けられた露光光入射光軸位
置検出手段と、前記露光光及び前記フオーカス光
が前記第二光路分離部材を透過した光の光路上に
設けられた露光用及びフオーカス用の２枚の1/4
波長板と、これら1/4波長板を透過した光路上に
設けられた対物レンズと、この対物レンズを介し
て光デイスク原盤により反射された前記露光光及
び前記フオーカス光が前記第二光路分離部材によ
り反射されることにより形成された前記露光光入
射光軸位置検出手段と反対側に位置する光路上に
設けられた第三光路分離部材と、この第三光路分
離部材により反射された光の光路上に設けられた
露光光反射光軸位置検出手段と、前記第三光路分
離部材を透過した光の光路上に設けられたシリン
ドリカルレンズと、このシリンドリカルレンズを
透過した光の光路上に配設された第四光路分離部
材と、この第四光路分離部材により反射された光
の光路上に設けられた露光光観察手段と、前記第
四光路分離部材を透過した光の光路上に設けられ
たフオーカス光検出手段とが一体化して構成され
たフオーカス光学系アクチユエータ部と、 このフオーカス光学系アクチユエータ部に前記
露光光を導く露光用光源と、前記対物レンズと対
向して配設された前記光デイスク原盤とよりなる
ことを特徴とする光デイスク原盤露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4921989U JPH02140633U (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4921989U JPH02140633U (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02140633U true JPH02140633U (ja) | 1990-11-26 |
Family
ID=31566718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4921989U Pending JPH02140633U (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02140633U (ja) |
-
1989
- 1989-04-26 JP JP4921989U patent/JPH02140633U/ja active Pending
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