JPH0289413U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第一実施例を示す説明図。第
２図は本考案の第二実施例を示す説明図。第３図
は従来例を示す説明図。第４図はその検出原理の
説明図。 １……赤外半導体レーザ、２……ビームスプリ
ツタ、３……１／４波長板、４……対物レンズ、
５，１３……集光レンズ、６……ナイフエツジ、
７……２分割デイテクタ、９……加算回路、１０
，１１……差動増幅器、１２……ハーフミラー、
１４……デイテクタ、１５，１５ａ……制御回路
、１６……アクチユエータ、１７……コリメータ
レンズ、１８……試料表面、１８ａ……試料、１
９……増幅器、２０，２１，２２……制御信号、
２３……光スポツト、２４……暗部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 光ビームを射出する手段と、 射出された光ビームを対物レンズを通して試料
   表面に集光する手段と、 前記試料表面と前記対物レンズとの位置を制御
   信号に従い移動させる駆動手段と、 前記試料表面からの反射光を集光する集光レン
   ズを含み、前記試料表面と前記対物レンズとの位
   置を合焦状態に保つように前記制御信号を発生す
   る制御手段と を備えたオートフオーカス装置において、 前記制御手段は、 前記集光レンズによつて集光される反射光を前
   記試料表面が前記対物レンズの焦点位置にない場
   合に、反射光の一部を遮るように前記集光レンズ
   の像側焦点位置に設置されたナイフエツジと、 このナイフエツジによつて遮られる前記反射光
   の有無を検出し合焦の判定基準となる第一の制御
   信号を発生する第一の制御手段と、 前記ナイフエツジを通過する前記反射光を検出
   し前記試料表面が前記対物レンズの焦点位置の前
   にあるか後にあるかを示す第二の制御信号を発生
   する第二の制御手段と、 前記第一および第二の制御信号を入力し所定の
   基準に従い前記制御信号を発生する第三の制御手
   段と を含むことを特徴とするオートフオーカス装置。