JPH02140852U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02140852U JPH02140852U JP4933189U JP4933189U JPH02140852U JP H02140852 U JPH02140852 U JP H02140852U JP 4933189 U JP4933189 U JP 4933189U JP 4933189 U JP4933189 U JP 4933189U JP H02140852 U JPH02140852 U JP H02140852U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafers
- recessed portion
- transporting
- tray
- view
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案に係る搬送用トレーの一部断面
概略斜視図、第２図は正規の形状の半導体ウエー
ハを収納したときの平面図、第３図は同じく縦断
面図、第４図は不定形な半導体ウエーハを収納し
たときの平面図、第５図は同じく縦断面図である
。第６図は従来の搬送用トレーの斜視図、第７図
は正規の形状の半導体ウエーハを収納したときの
平面図、第８図は不定形な半導体ウエーハを収納
したときの平面図である。 ４……凹陥部、４ａ……周縁、５……窪部、Ｗ
，ｗ……半導体ウエーハ。
概略斜視図、第２図は正規の形状の半導体ウエー
ハを収納したときの平面図、第３図は同じく縦断
面図、第４図は不定形な半導体ウエーハを収納し
たときの平面図、第５図は同じく縦断面図である
。第６図は従来の搬送用トレーの斜視図、第７図
は正規の形状の半導体ウエーハを収納したときの
平面図、第８図は不定形な半導体ウエーハを収納
したときの平面図である。 ４……凹陥部、４ａ……周縁、５……窪部、Ｗ
，ｗ……半導体ウエーハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 多数枚の半導体ウエーハを水平状態で搬送する
薄型平板状の搬送用トレーであつて、 半導体ウエーハの外径より若干大きな内径の凹
陥部を上面に凹設し、前記凹陥部の周縁より平坦
なままの上面に跨がつて前記凹陥部よりも深い凹
曲面状窪部を凹設したことを特徴とする半導体ウ
エーハの搬送用トレー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4933189U JPH02140852U (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4933189U JPH02140852U (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02140852U true JPH02140852U (ja) | 1990-11-26 |
Family
ID=31566924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4933189U Pending JPH02140852U (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02140852U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002231795A (ja) * | 2001-02-05 | 2002-08-16 | Sony Corp | サセプタ |
-
1989
- 1989-04-25 JP JP4933189U patent/JPH02140852U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002231795A (ja) * | 2001-02-05 | 2002-08-16 | Sony Corp | サセプタ |